公开(公告)号：CN100500303C

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200510081789.9

申请日：2005-05-20

Applicant: 东京応化工业株式会社 ,  龙云株式会社

Inventor： 山口和伸 ,  高濑真治 ,  谷本恒夫 ,  福留主计

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05B15/02

Abstract: 本发明提供了一种能有效对加注辊进行粗洗和精洗的狭缝涂布机预备排出装置。附着有涂布液的加注辊向顺时针方向旋转，淋洗嘴向加注辊表面供给循环液，再用涂刷器刮落，潜入储存的洗涤液中，用第二个涂刷器刮落顽固的附着物。最后，用新液淋洗嘴冲洗干净，在新液淋洗嘴的上方，从干燥气体喷嘴中吹出干燥气体，吹开洗涤液，使加注辊的表面干燥。因这时也进行排气，排气也能促进干燥。

公开(公告)号：CN100445816C

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200510078563.3

申请日：2005-06-17

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 高濑真治 ,  山口和伸 ,  升芳明

IPC: G02F1/133 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种能可靠地防止大型玻璃基板的端缘部的挠曲的基板端缘部覆膜的除去装置。使基板保持部(2)的轴(4)伸长来使夹具(3)上升，在该上升位置上接取基板(W)。在该状态下，由于自重，基板(W)的周边部向下方挠曲。接着，收缩轴(4)使夹具下降直到与杆部件(17)的上表面同面。于是，基板(W)的周缘部下表面由杆部件(17)支承，基板(W)保持在水平状态下。此时，在清洗组件(10)的狭缝(11)内，利用表面张力保持着清洗液(溶剂)。从这一状态开始，使左右的清洗组件(10)前进，将基板(W)的端缘部插入到清洗组件(10)的狭缝(11)内。

公开(公告)号：CN1806934B

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200610006134.X

申请日：2006-01-19

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 高濑真治 ,  山口和伸 ,  中西达彦 ,  楫间淳生

IPC: B05B1/04 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供一种缝隙嘴，该缝隙嘴可使在基板上形成的涂膜厚度均一。在嘴半体(1)的与嘴半体(2)相面对的面上形成有涂敷液的第1蓄留部(4)以及第2蓄留部(5)。第1蓄留部(4)按如下方式形成山形，即：宽度方向的中央部最高而两端变低，变得最高的中央部是与涂敷液供给孔(6)相连通的。此外，在变得最高的中央部上连通有排气孔(7)。在上述第1蓄留部(4)的下侧连续形成有第2蓄留部(5)，它的深度是以嘴半体(1)的厚度方向为基准而浅于上述第1蓄留部(4)。将该第2蓄留部(5)的下边设计成嘴半体(1)的宽度方向的中央部最低，随着向两端不断延伸而越来越高的V字状倾斜面(8)。

公开(公告)号：CN100553797C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200510097673.4

申请日：2005-08-31

Applicant: 东京応化工业株式会社 ,  龙云株式会社

Inventor： 楫间淳生 ,  山口和伸 ,  高濑真治 ,  谷本恒夫 ,  木山孝志

IPC: B05C5/02 ,  B05C13/02

Abstract: 提供一种基板载置台，能够不夹有气体地水平固定玻璃基板等，并且容易剥离。基板载置台(1)分成多个俯视时成同心状的区域(1a、1b、1c、1d、1e)，形成在最中心部区域(1a)上的吸引兼喷射孔(2)的密度比外侧区域(1b～1e)的密度要高，吸引兼喷射用喷嘴(4)插入上述各孔(2)中，该喷嘴(4)在基板载置台(1)的背面一侧与配管相连接。各配管经由未图示的切换阀有选择地连接在真空泵或气体管线上。本发明中按照各区域配置配管，能够按照各区域控制吸引或者喷射。

公开(公告)号：CN1799706A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200510003475.7

申请日：2005-11-29

Applicant: 东京応化工业株式会社 ,  龙云株式会社

Inventor： 高濑真治 ,  山口和伸 ,  楫间淳生 ,  谷本恒夫 ,  山本夕记

IPC: B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  B05B13/04 ,  G09F9/35

Abstract: 本发明提供一种在空间上是有利的，可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2)，在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3)，第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走，在该第1及第2门型移动机构(4、5)上可升降地保持有狭缝喷嘴(6、7)。

公开(公告)号：CN1714945A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510081770.4

申请日：2005-06-14

Applicant: 东京応化工业株式会社 ,  龙云株式会社

Inventor： 山口和伸 ,  高濑真治 ,  楫间淳生 ,  宇野宏 ,  山本夕记

IPC: B05C11/08 ,  G03F7/16

Abstract: 本发明提供即使内杯大直径化也能简单地调整旋转平衡的旋转涂敷装置。在内杯用盖体(14)的上表面上用小螺丝(18)固定有爪部件(17)。另一方面，在内杯(13)的外周面上，在对应上述爪部件(17)的位置上安装有爪承接部件(20)。爪承接部件(20)由卡合部(21)和平衡重插装部(22)构成，在卡合部(21)上形成有嵌入凹锥状的凹部(19)的凸锥状的凸部(23)，在平衡重插装部(22)上形成有插入平衡重(24)的孔(25)。