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公开(公告)号：CN105024496B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410151851.6
申请日：2014-04-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K15/00
Abstract: 本发明公开一种磁阵列装配装置，其特征在于，包括一承载底板，所述承载底板上放置磁体替代块、磁体定位装置、磁预置槽、阻尼滑块、推力转接件，导向装置和推力装置，所述磁体替代块用于定位所述磁体定位装置，所述磁体定位装置用于定位磁铁的放置位置，所述磁预置槽用于放置所述磁铁，所述阻尼滑块用于消除相邻所述磁铁间斥力，所述阻尼滑块和所述磁预置槽沿所述导向装置移动，所述推力装置用于将所述推力转接件移动至预定位置，所述推力转接件安装于所述磁体定位装置之间，若干所述磁铁被放置后形成所述磁阵列。
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公开(公告)号：CN105024519B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410171838.7
申请日：2014-04-25
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种无铁芯直线电机，包括定子和动子，定子包括上背铁、下背铁、固定在上背铁内表面的上排磁铁阵列和固定在下背铁内表面的下排磁铁阵列；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列均为交替设置的S极磁铁、海尔贝克磁铁和N极磁铁；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列位置相对的磁铁的极性相同；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列之间形成气隙；动子在气隙的长度方向作直线运动，动子包括冷却机构以及缠绕在冷却机构上的动子线圈；动子线圈所在平面与动子的直线运动方向垂直。本发明所提供的无铁芯直线电机输出功率大；电机结构紧凑，适合高速、高加速度运行；冷却速度快，效率高，节省空间；由于散热效果更好，所以可以通较大的电流，进而提高电机输出功率。
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公开(公告)号：CN104847825B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201410051753.5
申请日：2014-02-14
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种阵列式高输出磁浮重力补偿器，包括两个定子结构和一个动子结构，两个所述定子结构分别从所述动子结构的上、下两侧对所述动子结构施加磁吸力和磁斥力，实现所述动子结构的重力补偿，且使得所述定子结构对所述动子结构所施加的水平向分力均抵消。本发明提出了一种新结构，首先利用两个定子从上、下两侧对动子施加磁力，进而利用该磁力形成悬浮力，起到了补偿重力的作用；其次，通过合理设置磁钢阵列，消除或减小一般磁浮重力补偿器固有的水平向寄生拉力和水平向刚度；再次，使得动子结构垂向受力恒定，垂向力输出增加，从而减少垂向刚度；最后，本发明中的阵列式磁浮重力补偿器磁钢均为长方体，大大改善了安装难度和精度情况。
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公开(公告)号：CN105207445B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410225655.9
申请日：2014-05-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明涉及一种多自由度直线电机，包括沿第一方向依序平行设置的第一磁铁阵列、第二磁铁阵列、第三磁铁阵列以及第四磁铁阵列，所述第一磁铁阵列与第二磁铁阵列之间形成第一磁场，所述第三磁铁阵列与第四磁铁阵列之间形成第二磁场，所述第一磁场与第二磁场的极性相反；以及U型的线圈阵列，所述，所述U型线圈阵列的两端分别插置于所述第一、第二磁场中。本发明中，在不增加线圈数量的同时，使直线电机具有x方向、y方向的推力，甚至具有Rz方向的转矩，实现直线电机多自由度运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106936337B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201511026025.X
申请日：2015-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种磁浮平面旋转电机及光刻装置，该磁浮平面旋转电机包括：背铁、安装在所述背铁上的磁钢阵列和与所述磁钢阵列对应设置的线圈阵列；其中，所述磁钢阵列包括若干辐射状环形布置的扇形磁体，所述线圈阵列包括3n个空心扇形的单相线圈。本发明既有磁浮直线、平面电机的高精度，又能实现平面任意角度旋转的功能。而对某两个或是某几个一定排布的单相线圈单独通电，可以实现磁浮平面旋转电机六个自由度的不同运动控制。
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公开(公告)号：CN105990998B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201510041577.1
申请日：2015-01-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K55/02
Abstract: 本发明公开一种超导音圈电机，该音圈电机包括：线圈单元和超导平面体，该线圈单元通入电流，产生主动磁场；该超导平面体位于该主动磁场影响范围内，该超导平面体因受主动磁场影响而产生感应电流，该感应电流会产生被动磁场：当该线圈单元中通入电流由小变大时，该被动磁场会与该主动磁场方向向反，该主、被动磁场间产生斥力；当该线圈单元中通入电流由大变小时，该被动磁场会与该主动磁场方向向同，该主、被动磁场间产生吸力。
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公开(公告)号：CN105281530B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201410329560.1
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明公开一种具有重力补偿功能的圆筒型音圈电机，所述音圈电机自内向外依次包括：一内背铁、内磁铁阵列、线圈、外磁铁阵列以及外背铁；所述内背铁外侧与内磁铁阵列固定；所述线圈包括上端线圈和下端线圈，所述上端线圈和下端线圈通过一不导磁结构件连接，所述不导磁结构件内置重力补偿磁铁；所述重力补偿磁铁为1个以上，均匀的分布在所述不导磁结构件上。
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公开(公告)号：CN104682656B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201310612815.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
CPC classification number: H02K41/0356 , H02K1/17 , H02K1/34 , H02K7/09
Abstract: 本发明提供了一种平板音圈电机，包括线圈单元和两个主磁极单元，两个所述主磁极单元对所述线圈单元施加安培力，所述线圈单元内包括弱磁性小磁铁，所述两个主磁极单元对所述弱磁性小磁铁作用合力为竖直向上。本发明在线圈单元中设置了弱磁性小磁铁，通过所述弱磁性小磁铁与主磁极单元之间的磁斥力或者磁吸力始终为线圈单元提供竖直向上的力，从而实现了重力的补偿，且该结构的设置是将线圈单元中的部分构件换做了弱磁性磁铁，既不会影响线圈单元中的线圈所受到的安培力，也不会因结构的增加而产生增加电机发热这样的不利后果。
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公开(公告)号：CN105322831B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410331702.8
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及一种六自由度线缆拖动装置，包括X向电机、Y向电机及连接机构，连接机构的一端延伸至平面电机定子的底部，另一端延伸至平面电机定子的上方；X向电机包括X向电机定子线圈、X向电机动子磁铁及X向电机动子导轨，X向电机定子线圈与X向电机动子导轨均沿X方向固定于连接机构上，X向电机动子磁铁限位于X向电机动子导轨内，与线缆固接；Y向电机包括Y向电机动子线圈和Y向电机定子磁钢，Y向电机定子磁钢固定于平面电机定子的底部，Y向电机动子线圈与连接机构固接，并在Y向电机定子磁钢上运动，线缆与Y向电机动子线圈连接端固接。利用X向电机拖动线缆沿X向同步跟随；Y向电机通过连接机构拖动线缆沿Y向同步跟随。
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