半导体激光装置
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101257187B

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN200810081373.0

    申请日:2008-02-25

    CPC classification number: H01S5/028 H01S5/0287 H01S5/32341

    Abstract: 本发明提供一种即使用于构成在半导体激光器端面上形成的反射膜的电介质膜的膜厚和折射率发生变动也能够稳定地控制反射率的半导体激光装置。半导体激光装置具备折射率小于等于3.5的GaN基板(1)和层叠在基板(1)上的半导体层,同时,在与层叠方向垂直的方向上具有一对相向的共振器端面。一个共振器端面上设置有低反射膜(6),低反射膜(6)由第1电介质膜(8)、第2电介质膜(9)、第3电介质膜(10)和第4电介质膜(11)构成。如果将它们的折射率表示为n1、n2、n3、n4,则其满足n1=n3、n2=n4的关系。另外,在第1电介质膜(8)及第3电介质膜(10)、第2电介质膜(9)及第4电介质膜(11)之间,nd+n’d’=pλ/4(p:整数,λ:激光的振荡波长)的关系成立。

    端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法

    公开(公告)号:CN101483316A

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200810186306.5

    申请日:2008-12-15

    Inventor: 中川康幸

    CPC classification number: H01S5/028

    Abstract: 本发明提供一种端面处理用夹具以及使用该夹具的半导体激光装置的制造方法,该夹具能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化,并能够在半导体激光装置本体的端面上形成反射率控制膜。以氧化物和氮化物中的至少一方构成端面处理用夹具(3)的窗部(5),以使得端面从窗部(5)的窗口(4)露出的方式固定半导体激光条(1)。在此状态下,在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜,制造半导体激光装置。由此,因为能够防止金属被引入反射率控制膜中,从而防止被引入的金属导致的光吸收,所以能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化,并能够在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜。

    半导体激光器装置
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100411262C

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200610055079.3

    申请日:2004-03-26

    CPC classification number: H01S5/028 H01S5/0287

    Abstract: 低反射膜从与激光器芯片接触的一侧开始依次由折射率为n1及膜厚为d1的第1介质膜、折射率为n2及膜厚为d2的第2介质膜、折射率为n3及膜厚为d3的第3介质膜、折射率为n4及膜厚为d4的第4介质膜形成,具体地,第1介质膜上使用折射率n1=1.638的氧化铝Al2O3、在第2介质膜及第4介质膜上使用折射率n2=n4=1.489的氧化硅SiO2、在第3介质膜上使用折射率n3=2.063的氧化钽Ta2O5。从而,能够获得具有可稳定控制的反射率的半导体激光器。

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