超声换能器及其分割方法和分割器件的方法

    公开(公告)号:CN104415902A

    公开(公告)日:2015-03-18

    申请号:CN201410379432.8

    申请日:2014-08-04

    Inventor: 郑秉吉 洪硕佑

    CPC classification number: B81C1/00888 B06B1/0292 B81B2201/0271 H04R19/005

    Abstract: 本发明提供了一种电容式微机械加工的超声换能器(CMUT)及其分割方法。分割CMUT可以包括:在器件晶片的限定多个超声换能器结构的区域中形成第一沟槽,器件晶片包括多个超声换能器结构;通过接合供应电到多个超声换能器的电极垫晶片和器件晶片来形成具有多个超声换能器的超声换能器晶片;以及通过切割在第一沟槽上的多个超声换能器结构和在第一沟槽下面的电极垫晶片,将超声换能器晶片切割成块以形成多个超声换能器。

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