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公开(公告)号：CN103122453A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210467947.4
申请日：2012-11-19
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C07F3/06 , C23C16/08 , C23C16/407
Abstract: 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。卤素基团包括选自F、Br、Cl和I中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
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公开(公告)号：CN102820373A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210118631.4
申请日：2012-04-20
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: H01L31/18 , H01L31/0352
CPC classification number: H01L31/022483 , H01L31/02366 , H01L31/1888 , Y02E10/50
Abstract: 一种制造用于光伏电池的基板的方法，在所述基板内可在长波长范围内保持能用于光伏电池的高光学特性，并同时提高雾度值。所述方法包含在透明基板上形成掺有掺杂剂的氧化锌(ZnO)薄膜层的步骤，和通过使用氢等离子体蚀刻氧化锌薄膜层来控制氧化锌薄膜层的表面结构的步骤。
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公开(公告)号：CN102194902A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110042810.X
申请日：2011-02-21
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: H01L31/0392 , H01G9/20 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/022466 , H01L31/022425 , H01L31/1884 , Y02E10/50
Abstract: 光电池基板包括透明基板和掺杂有掺杂剂的氧化锌薄膜层。氧化锌薄膜层形成在透明基板上。根据X射线衍射(XRD)数据，氧化锌薄膜层具有(0002)晶体平面和占(0002)晶体平面的3％或更高的晶体平面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103730600A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310472578.2
申请日：2013-10-11
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
CPC classification number: H01L51/5262 , H01L51/5268 , H01L51/56
Abstract: 用于有机发光装置(OLED)的金属氧化物薄膜基板及其制造方法，所述金属氧化物薄膜基板呈现较好的光提取效率，并可易于低成本制造。所述用于OLED的金属氧化物薄膜基板包括基底基板和形成在所述基底基板上的金属氧化物薄膜，所述金属氧化物薄膜由具有不同折射率的至少两种金属氧化物的混合物制成。
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公开(公告)号：CN103668118A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310430091.8
申请日：2013-09-18
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: C23C16/455
CPC classification number: F16L41/02 , C23C16/45563 , C23C16/45578 , H01J37/3244 , Y10T137/85938
Abstract: 一种能以均匀的速度喷射的气体喷射器和一种用于该气体喷射器的喷射器管。所述气体喷射器包括：主体；形成在所述主体内部的气体流动通路，该气体流动通路在所述主体的纵向方向上从一端延伸到另一端；叶片，该叶片被形成在所述主体内部，并被连接到所述气体流动通路以喷射气体；和被插入到所述气体流动通路中的喷射器管。所述喷射器管从气体供应部接收所述气体，并通过多个孔将所述气体分配到所述气体流动通路。所述喷射器管的所述多个孔包括沿在所述喷射器管的纵向方向上延伸的两条平行线形成的多个第一孔和多个第二孔，所述第一孔与所述第二孔交替。
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公开(公告)号：CN103594528A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310351331.5
申请日：2013-08-13
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/02 , H01L31/18 , H01L51/52 , H01L51/56
CPC classification number: H01L21/64 , C03C17/245 , C03C2217/24 , C03C2217/94 , C03C2217/944 , C03C2218/1525 , G02B5/0247 , G02B5/0278 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/022483 , H01L31/022491 , H01L31/02366 , H01L31/1884 , H01L33/405 , H01L33/42 , H01L51/442 , H01L51/447 , H01L51/5209 , H01L51/5215 , H01L51/5268 , H01L2251/305 , H01L2251/306 , Y02E10/549 , Y10T428/24562 , Y10T428/24997
Abstract: 本发明提供了可以提高陷光效率和光提取效率的金属氧化物薄膜基板、制造金属氧化物薄膜基板的方法和光伏电池以及包括光伏电池的有机发光装置（OLED）。金属氧化物薄膜基板包括基体基板和形成在基体基板上的金属氧化物薄膜。金属氧化物薄膜具有形成在金属氧化物薄膜的内部的用于散射光的空隙。
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公开(公告)号：CN103490015A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310233676.0
申请日：2013-06-13
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
CPC classification number: H01L51/5268 , B32B3/30 , B32B5/145 , B32B7/005 , Y10T428/24273 , Y10T428/24355 , Y10T428/24521 , Y10T428/24545 , Y10T428/24595 , Y10T428/24612 , Y10T428/2462 , H01L51/5275
Abstract: 用于有机发光装置(OLED)的光提取基板及它的制造方法，所述用于有机发光装置的光提取基板通过改善光提取效率可改善应用OLED的显示器或照明系统的亮度。所述用于OLED的光提取基板包括形成在基板主体上的氧化物或氮化物薄膜。所述氧化物或氮化物薄膜包括形成在所述基板主体上的基层、形成在所述基层上的第一纹理和第二纹理，所述第一纹理具有多个从所述基层连续或不连续地伸出的第一突起物，所述第二纹理具有从所述第一突起物的每个外表面多个连续或不连续地伸出的第二突起物。
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公开(公告)号：CN103258866A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310055437.0
申请日：2013-02-21
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: C23C16/407 , B32B3/263 , H01L21/02554 , H01L21/02573 , H01L21/0262 , H01L31/022483 , H01L31/02366 , H01L31/1884 , Y02E10/50 , Y10T428/24355
Abstract: 一种导电膜基板、具有该基板的光伏电池及制造该基板的方法。该导电膜基板包括基底基板和在基底基板上形成的透明导电膜。该透明导电膜为具有同时形成于其表面上的第一纹理结构和第二纹理结构的氧化锌薄膜。第二纹理结构小于第一纹理结构。
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