公开(公告)号：CN103594528A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201310351331.5

申请日：2013-08-13

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 刘泳祚 ,  金序炫 ,  朴峻亨 ,  白逸姬 ,  尹根尚 ,  李贤姬 ,  崔殷豪

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/02 ,  H01L31/18 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L21/64 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/24 ,  C03C2217/94 ,  C03C2217/944 ,  C03C2218/1525 ,  G02B5/0247 ,  G02B5/0278 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022475 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/022491 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/1884 ,  H01L33/405 ,  H01L33/42 ,  H01L51/442 ,  H01L51/447 ,  H01L51/5209 ,  H01L51/5215 ,  H01L51/5268 ,  H01L2251/305 ,  H01L2251/306 ,  Y02E10/549 ,  Y10T428/24562 ,  Y10T428/24997

Abstract: 本发明提供了可以提高陷光效率和光提取效率的金属氧化物薄膜基板、制造金属氧化物薄膜基板的方法和光伏电池以及包括光伏电池的有机发光装置（OLED）。金属氧化物薄膜基板包括基体基板和形成在基体基板上的金属氧化物薄膜。金属氧化物薄膜具有形成在金属氧化物薄膜的内部的用于散射光的空隙。