公开(公告)号：CN104919189A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201280077979.1

申请日：2012-12-25

Applicant: 信越工程株式会社 ,  入江工研株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  佐藤谦司 ,  源浩 ,  青木一成 ,  信安勇二

IPC: F15B15/10 ,  G02F1/13

CPC classification number: F15B15/10 ,  F15B15/149 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。

公开(公告)号：CN104465454A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410462532.7

申请日：2014-09-12

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/50

CPC classification number: H01L21/67011 ,  H01L21/50 ,  H01L21/67126

Abstract: 本发明提供一种贴合器件的制造装置及制造方法。一对基板在减压至第二真空度的变压室内重叠后，使一方吸盘对一方基板的吸引压力从第一真空度向第二真空度上升，从而一方吸盘的吸引压力和变压室的内压成为均等的第二真空度，所以来自一方吸盘的吸盘面的压力差的对一方基板的真空吸附被解除。然后使变压室的内压和一方吸盘的吸引压力从第二真空度上升到第三真空度，从而利用变压室内的第三真空度与基板间的第二真空度的密封空间的压力差使未硬化密封材料压缩变形，一方基板的表面脱离一方吸盘的吸盘面。然后使变压室的内压和一方吸盘的吸引压力从第三真空度上升到大气压，从而基板借助压力差以所需间隙贴合。

公开(公告)号：CN104143499A

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201410191690.3

申请日：2014-05-08

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/6835 ,  H01L2221/68381

Abstract: 本发明提供一种贴合分离方法及分离装置，其通过真空破坏从支承基板毫不费劲地、轻松地分离薄板基板。在大气压气氛中，在贴合基板(4)的密封件(3)的至少一部分插入贯穿部件来开设出通孔，由此，在此之前密封件(3)的内侧被气密保持成真空状态的真空空间(S)的气密被破坏，并且空气或液体等流体一次性进入到真空空间(S)内而被大气开放。通过该大气开放，密封件(3)从外侧和内侧这两侧被由大气压产生的来自外侧的压力和进入真空空间(S)内的流体的压力按压，因此成为薄壁而无需使薄板基板(1)变形就能够从支承基板(2)毫不费劲地进行剥离。

公开(公告)号：CN103623972A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201310368612.1

申请日：2013-08-22

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种流体涂布装置，其能够相对于第一分割头及第二分割头轻松地装卸垫片且高精度地进行对位而安装。本发明的流体涂布装置在第一分割头（1）和第二分割头（2）分离移动以便插入空间（S）比垫片（3）的厚度更宽的状态下，朝向插入空间（S）插入垫片（3），由此垫片（3）的表背两面（3a、3b）不与第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）接触而被夹入。与此同时，使被设置于垫片（3）上的第一限位器（5）与第一分割头（1）或第二分割头（2）中的任意一方或者双方接触，由此凹部（3c）向垫片（3）的插入方向被定位。并且插入垫片（3）之后，使第一分割头（1）及第二分割头（2）接近移动以便插入空间（S）与垫片（3）的厚度成为相同尺寸，由此使第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）分别与垫片（3）的表背两面（3a、3b）密接，垫片（3）向其厚度方向被定位。

公开(公告)号：CN103201201A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201180053944.X

申请日：2011-02-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: B65G49/06 ,  C23C14/24 ,  H01L21/677 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L21/6838 ,  C23C14/042 ,  C23C14/50 ,  H01L21/67132 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/50

Abstract: 本发明的课题在于，将薄板状工件毫无破损地粘附保持来校正薄板状工件的自重挠曲。在被支承部件（1）支承一部分的薄板状工件（W）上，向与薄板状工件（W）交叉的方向靠近移动粘附构件（2）直到其粘附面（2a）的一部分相对于因其自重向下方挠曲变形的非支承部位（W1）接触，使粘附面（2a）的一部分与非支承部位（W1）的表面摸碰地接触，在进行粘附面（2a）的一部分与非支承部位（W1）的表面的局部粘附的时刻，停止粘附构件（2）的靠近移动，之后，使粘附面（2a）在相对于非支承部位（W1）摸碰的同时移动，使粘附面（2a）与非支承部位（W1）的接触面积逐渐增大。由此，粘附面（2a）仿效非支承部位（W1）的自重挠曲并隔着时间差逐渐局部接触，随此将相对于薄板状工件（W）的外在负载抑得非常小，并且，粘附面（2a）的大致整体与非支承部位（W1）接触而被粘附保持。之后，在粘附面（2a）的大致整体与非支承部位（W1）的表面接触的时刻，使粘附构件（2）向与所述靠近移动相反的方向移动至粘附面（2a）与薄板状工件（W）中被支承部件（1）支承的支承部位（W2）成为同一平面的位置。由此，非支承部位（W1）的自重挠曲减少，整个薄板状工件（W）被粘附保持成平面状。

公开(公告)号：CN102649336A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201110305214.6

申请日：2011-09-30

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: B32B37/00 ,  B32B38/10 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种工作粘附卡盘装置及工件贴合机，其容易构成粘附部件与剥离部件的单元化的同时，提高剥离性能。本发明中，将剥离部件(2)的安装凸部(2c)以无法向变形部(2a)的变形方向移动的方式夹入支承部件(3)的侧面(3b)与环状部件(4)的卡止凹部(4a)之间，并且将粘附部件(1)与变形部(2a)的外边邻接而安装于环状部件(4)的安装面(4b)，从而通过环状部件(4)被一体地组装剥离部件(2)、支承部件(3)及粘附部件(1)。而且，由于变形部(2a)和粘附面(1a)相互邻接而非常靠近地配置，因此在通过变形部(2a)的变形来剥离被粘附保持于粘附面(1a)的板状工件(W)时，可以得到较大的剥离力，且剥离时在板状工件(W)中产生的挠曲被抑制到最小限度。

公开(公告)号：CN101379606B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200780000138.X

申请日：2007-01-31

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  横田道也

IPC: H01L21/683 ,  B65G49/06

CPC classification number: B65G49/069 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132

Abstract: 通过配置粘接部件(2)使得每单位面积的粘接力向伴随剥离装置(3)的工作的工件(A)相对粘接部件(2)的剥离进行方向增加，从而伴随剥离装置(3)的工作以较小的剥离力从粘接部件(2)开始剥离工件(A)，其剥离顺利进行，并向与该剥离进行方向不同的方向进行剥离时，需要比由该剥离装置(3)的工作的剥离力远远大的力。因此，可以向由剥离装置的剥离进行方向容易剥离工件。

公开(公告)号：CN100533513C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200580023347.7

申请日：2005-09-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  大谷义和

IPC: G09F9/00 ,  G02F1/1333

CPC classification number: H01L21/6875 ,  G02F1/136277 ,  H01J2209/00 ,  H01L21/68757

Abstract: 本发明提供一种基板保持结构，即使作为弹性材料使用橡胶时也能够达到所要求的保持面侧的平面度。在保持面(1)上分散地凹入设置多个空隙部(2)，将这些空隙部(2)的开口分别用固定板(3)覆盖，在各固定板(3)的大致中央，朝向基板(D)突出而安装比上述空隙部(2)的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板(4)，使这些两者成为一体，通过使如此分散配置的平面承接板(4)分别抵接在基板(D)上以平坦状进行平面承接并进行保持，从而，在由弹性材料构成的平面承接板(4)的厚度尺寸上发生偏差时，随着厚度尺寸大的平面承接板(4′)与基板(D)接触，其固定板(3)或该平面承接板(4′)朝向空隙部(2)弹性变形，使该弹性变形逃脱到空隙部(2)，由此，厚度尺寸大的平面承接板(4′)沉入到空隙部(2)侧，从而与其他的平面承接板(4)形成平坦化。

公开(公告)号：CN101449201A

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN200780004633.8

申请日：2007-03-20

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: G02F1/1339

CPC classification number: G02F1/133351

Abstract: 本发明提供一种显示装置的制造方法，此方法，在由大气压力而形成间隙时，以节省空间来确保减压面积，并提高主密封件的耐力。在贴合两基板(1、5)时，由于通过压力调整阀机构(7)，间隙形成空间(6)被真空减压，因此，两基板(1、5)在大气压被压缩并使晶胞间隙均等化，封装材料(4)随其扩散伸展，大气压开放的设定时间经过后，该封装材料(4)的伸展端到达至主密封件(2)的内侧面，且其伸展压力起作用，此时，通过压力调整阀机构(7)，大气压被导入至间隙形成空间(6)的真空部并转换为大气压或与其相近的状态，因此，与封装材料(4)的伸展压力取得压力平衡，主密封件(2)不破裂。

公开(公告)号：CN101379606A

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：CN200780000138.X

申请日：2007-01-31

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  横田道也

IPC: H01L21/683 ,  B65G49/06

CPC classification number: B65G49/069 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67132

Abstract: 通过配置粘接部件(2)使得每单位面积的粘接力向伴随剥离装置(3)的作动的工件(A)相对粘接部件(2)的剥离进行方向增加，从而伴随剥离装置(3)的作动以较小的剥离力从粘接部件(2)开始剥离工件(A)，其剥离顺利进行，并向与该剥离进行方向不同的方向进行剥离时，需要比由该剥离装置(3)的作动的剥离力远远大的力。因此，可以向由剥离装置的剥离进行方向容易剥离工件。