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公开(公告)号：CN118192439A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410400185.9
申请日：2024-04-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/416
Abstract: 本发明公开了一种基于延时脉冲整形的S曲线规划系统及其参数整定方法，所述系统由轨迹生成器、电控系统ECS、柔性系统和实际输出组成，其中：轨迹生成器的输出为连续参考S曲线，连续参考S曲线经电控系统ECS获得参考输入，参考输入经柔性系统获得实际系统输出，且电控系统ECS的离散采样时间、柔性系统的共振频率、阻尼系数以及实际系统输出的残余振动的信息共同提供给轨迹生成器，以修正连续参考S曲线。本发明解决了传统S曲线最高阶延时脉冲叠加规划时未考虑被控系统柔性模态信息，容易激励柔性结构振动模态造成残余振动甚至物理损伤的问题，同时解决了传统柔性结构残余振动抑制需添加额外的减震装置，重量增加和经济成本较高的问题。
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公开(公告)号：CN116560305B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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公开(公告)号：CN116382154B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310216700.3
申请日：2023-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种基于事件触发的指定时间高精度控制方法，所述方法包括如下步骤：步骤1：设计基于参量Lyapunov方程的指定时间高精度控制器；步骤2：设计基于参量Lyapunov方程的事件触发机制去决定控制器的更新时间ti；步骤3：根据步骤2中设计的事件触发机制，计算得到最小触发时间间隔的表达式。该方法不仅可以在任意的指定时间实现系统的高精度控制目标，而且减少了系统执行器的更新次数，使得系统的执行器损耗极大的减少，具有重要的工程应用价值。
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公开(公告)号：CN116560305A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310698169.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115857407A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211575174.1
申请日：2022-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种多自由度冗余驱动运动台动态出力分配方法，涉及一种运动台动态出力分配方法。建立运动台基于模态表达的数学模型G(s)；设置时延间隔参数Δτ和指令整形器阶数nCS，计算各脉冲时延参数τi；计算矩阵Tb和Vb；初始化q＝1；定义Hq；计算中间变量βq；计算Hq的估计值得到指令整形器幅值q＝q+1，直至所有逻辑轴通道计算完毕；利用计算α(s)；得到动态出力分配矩阵Tf(s)。能够解决在执行器冗余度有限的情况下实现所有可控柔性模态的零残余振动抑制。
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公开(公告)号：CN115167284B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202210927833.7
申请日：2022-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明公开了一种基于数据驱动的精密运动台静态解耦矩阵校正方法，所述方法包括如下步骤：一：基于机械设计参数得到初始静态解耦矩阵；二：由轨迹生成器生成精密运动台各自由度运动的参考信号；三：针对精密运动台各自由度的名义模型，设计各自由度的控制器；四：将参考信号，控制器，初始静态解耦矩阵K作用到精密运动台；五：测量精密运动台的实际位置信号，当前施加到执行器的控制量；六：将测量数据通过滤波器，得到虚拟参考输入信号；七：将虚拟参考输入信号与精密运动台的实际位置信号作差，得到虚拟误差信号；八：最小化目标函数，得到静态解耦矩阵最优估计结果。该方法提高了参数精度，简化了校正过程，减少了时间花费。
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公开(公告)号：CN115167284A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210927833.7
申请日：2022-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明公开了一种基于数据驱动的精密运动台静态解耦矩阵校正方法，所述方法包括如下步骤：一：基于机械设计参数得到初始静态解耦矩阵；二：由轨迹生成器生成精密运动台各自由度运动的参考信号；三：针对精密运动台各自由度的名义模型，设计各自由度的控制器；四：将参考信号，控制器，初始静态解耦矩阵K作用到精密运动台；五：测量精密运动台的实际位置信号，当前施加到执行器的控制量；六：将测量数据通过滤波器，得到虚拟参考输入信号；七：将虚拟参考输入信号与精密运动台的实际位置信号作差，得到虚拟误差信号；八：最小化目标函数，得到静态解耦矩阵最优估计结果。该方法提高了参数精度，简化了校正过程，减少了时间花费。
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公开(公告)号：CN114625008A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210266457.1
申请日：2022-03-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种自整定非线性迭代学习控制方法，属于超精密运动控制领域。所述方法的主要特征在于在已有鲁棒逆模型迭代学习控制方法的学习增益中额外添加一个自整定非线性学习系数。本发明相对于现有技术的有益效果为：对比鲁棒逆模型迭代学习控制方法，本发明公开方法能够更好地抑制非重复性误差的累积；对比卡尔曼滤波迭代学习控制方法，本发明公开方法中的非线性学习系数与误差相关，提升了学习效率；另外，对比传统非线性迭代学习方法，本发明公开方法采用自整定方法确定噪声‑不确定性的联合定界，避免了定界过高或过低引起的控制性能下降的问题。
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公开(公告)号：CN113555197B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202110863862.7
申请日：2021-07-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种动磁钢式自驱动磁浮导轨装置及其控制方法，属于高端装备技术领域。四个导套支撑框架组合构成方形套，四个导套支撑框架的中部分别封装有I型电磁铁，永磁体封装在位于上方的导套支撑框架内；导轴支撑框架为长方体框架，导轴支撑框架的四个侧面沿长度方向均封装有多个E形组件；封装于导轴支撑框架上下两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架左右两侧面的多个E形组件对称设置，封装于导轴支撑框架的四个侧面的多个E形组件与封装于四个导套支撑框架中部的I型电磁铁分别相对设置，线圈绕组封装在导轴支撑框架上侧并位于E型组件的一侧，线圈绕组与永磁体相对设置。本发明用于超精密系统中。
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