一种低成本低污染的氮化镓纳米线的制备生成方法

    公开(公告)号:CN102936006B

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201210410794.X

    申请日:2012-10-24

    Abstract: 一种低成本低污染的氮化镓纳米线的制备生成方法,属于无机化合物半导体材料领域。本发明步骤:(1)GaN粉体通过掺胶、研磨,压片,经过煅烧后,烧制成GaN靶;(2)将清洗烘干后的硅片在SBC-12小型离子溅射仪沉积30s-60s,得到表面有厚度为10nm-30nm金膜的衬底;(3)利用等离子体辅助热丝化学气象沉积法:在气压为1500Pa-2500Pa,衬底温度800℃-1000℃,偏压电流100mA-180m,通入氮气流速为10-50厘米3/分钟,通入氢气流速为10-50厘米3/分钟,沉积时间为5min~30min。本发明得到实心、线形氮化镓纳米线,产物形貌平直整齐、排列有序、均匀、成线性,光学、化学、物理性能稳定,制备流程短,产物生长快,直径达40-150nm,单根线平均长度为10-15μm。

    一种改进多晶硅基薄膜连续性和表面形貌的方法

    公开(公告)号:CN103280490A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310193772.7

    申请日:2013-05-23

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种改进多晶硅基薄膜连续性和表面形貌的方法,属于晶硅薄膜太阳能电池领域。首先,分别采用磁控溅射法和等离子增强型化学气相沉积法,制备铝薄膜和非晶硅薄膜,通过控制铝层/非晶硅层厚度比例在0.5-1之间,叠层薄膜总厚度在100-400nm之间,能够有效优化多晶硅薄膜的连续性。本发明中还提出了新的薄膜腐蚀工艺,与传统腐蚀工艺相比,不但可以移除退火后薄膜内的铝,还能够起到消除多晶硅薄膜表面“硅岛”结构的作用。采用本发明的方法,能够获得表面平滑且连续性良好的高质量多晶硅薄膜。

    一种低成本高效多晶硅基薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN103266352A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201310163296.4

    申请日:2013-05-06

    Abstract: 一种低成本高效多晶硅基薄膜的制备方法,属于晶硅薄膜太阳能电池领域。其工艺流程包括薄膜沉积和固相晶化两部分。首先,采用等离子增强型化学气相沉积法,在玻璃衬底上生长500-2000nm的前驱体硅基薄膜,通过调节反应气体中硅烷与氢气的比例,在薄膜内部引入不同含量的结晶成分;随后,将薄膜样品在500-600℃下退火处理4-12小时,薄膜内的非晶成分逐渐晶化,最终得到结晶性良好的多晶硅薄膜材料。本发明中,由于在前驱体硅基薄膜内引入结晶成分,固相晶化过程中不需要形核,有效降低了薄膜的晶化温度,缩短了晶化所需时间。

    一种微波法制备铜锌锡硫薄膜的方法

    公开(公告)号:CN103050575A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201210546605.1

    申请日:2012-12-15

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种微波法制备铜锌锡硫薄膜的方法属于功能薄膜材料的制备技术领域。本发明在较短的范围内,使用乙二醇作为溶剂,其制备方法简单,降低了成本。本发明步骤:称取二水氯化铜、氯化锌、五水氯化锡和硫脲或硫代乙酰胺之一,其摩尔比为2:1:1:8;在乙二醇中依次加入二水氯化铜、氯化锌、五水氯化锡和硫脲或硫代乙酰胺之一,持续搅拌溶液,搅拌均匀后,将FTO导电玻璃倾斜置于溶液中,然后将其置于微波炉(微波工作频率2.45GHZ,额定输出功率700W)低火微波1h,之后随炉冷却至室温;取出薄膜,依次用乙醇和蒸馏水清洗,即制得铜锌锡硫薄膜。该方法工艺简单,成本低廉,具有大规模生产的潜力。

    一种低成本低污染的氮化镓纳米线的制备生成方法

    公开(公告)号:CN102936006A

    公开(公告)日:2013-02-20

    申请号:CN201210410794.X

    申请日:2012-10-24

    Abstract: 一种低成本低污染的氮化镓纳米线的制备生成方法,属于无机化合物半导体材料领域。本发明步骤:(1)GaN粉体通过掺胶、研磨,压片,经过煅烧后,烧制成GaN靶;(2)将清洗烘干后的硅片在SBC-12小型离子溅射仪沉积30s-60s,得到表面有厚度为10nm-30nm金膜的衬底;(3)利用等离子体辅助热丝化学气象沉积法:在气压为1500Pa-2500Pa,衬底温度800℃-1000℃,偏压电流100mA-180m,通入氮气流速为10-50厘米3/分钟,通入氢气流速为10-50厘米3/分钟,沉积时间为5min~30min。本发明得到实心、线形氮化镓纳米线,产物形貌平直整齐、排列有序、均匀、成线性,光学、化学、物理性能稳定,制备流程短,产物生长快,直径达40-150nm,单根线平均长度为10-15μm。

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