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公开(公告)号：CN107367250A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201610311986.3
申请日：2016-05-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/02
CPC classification number: G01B21/02
Abstract: 宏微结合的电感位移传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，直流电机与滚珠丝杠作为宏动驱动元件，双V型槽导轨作为宏动导向元件，电容传感器与双频激光干涉仪作为宏动反馈元件进行宏动粗定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，补偿宏动定位误差。利用四个电涡流传感器补偿宏微定位平台运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
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公开(公告)号：CN105426565A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510664083.9
申请日：2015-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 基于概率密度技术的大型高速回转装备形位公差分配方法属于机械公差分配技术；分析大型高速回转装备的径向和轴向测量面的定位及定向公差在装配中的传递过程，确定n级装备装配后的圆心坐标的传递关系，得到装配后装备偏心与各级装备定位、定向公差和旋转角度之间的关系；依据同轴度公差的目标函数，得到n级装备同轴度公差的概率密度，最终得到各级大型高速回转装备的径向偏心及轴向垂直度公差与最终多级装备同轴度公差的概率关系，实现大型高速回转装备公差的分配。
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公开(公告)号：CN105423881A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510664092.8
申请日：2015-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大型高速回转装备蜂窝面圆柱形测头测量及数据处理方法属于机械装配测量技术领域。蜂窝表面测量数据按以下步骤获取：1、将待测件固定到精密转台上，调整好基准；2、通过测杆将圆柱形测头的电感传感器正对着待测面，微调传感器位置使其进入量程范围内；3、手动转动转台，根据精密转台中圆光栅的角度值进行等间隔采样，采样点数应满足每圈1000～2000个点；其数据处理方法有以下两种：1、分段多次采用离群值的判断和处理方法；2、采用中值滤波结合离群值的判断和处理方法。本发明有效解决了大型高速回转装备蜂窝表面形位公差测量数据处理的问题，完善了大型高速回转装备的测量技术，保证了装配过程中的可预知性。
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公开(公告)号：CN103062309B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210575196.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16F6/00 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103064431B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210574058.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12 , F16F15/02 , F16F15/023 , G01B11/00
Abstract: 基于气浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103790884B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410051866.5
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: F16K31/0603 , F15B1/265 , F15B21/048 , F16K11/02 , Y10T137/87169 , Y10T137/87917
Abstract: 一种四状态可调节式气路结构属于储气式气动执行机构；气源经由单向阀分别与贮气罐和二位三通电磁阀A的a1端口连通，所述的二位三通电磁阀A的c1端口和b1端口分别与二位三通电磁阀B的c2端口和排气孔连通，所述的二位三通电磁阀B的a2端口和b2端口分别与二位三通电磁阀C的b3端口和节流阀一端口连通，所述节流阀的另一端口与二位三通电磁阀C的a3端口连通，所述的二位三通电磁阀C的c3端口与气罐连通。本结构以空气为介质，利用空气的可压缩性，实现集中供气，大大简化了机械结构的加工及维护，且可实现工作速率的智能控制，具有结构简单、制造成本低廉、作业安全可靠、使用寿命长、适合远距离传输等优点。
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公开(公告)号：CN103062585B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210572838.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于磁浮零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由磁浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103047338B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210574195.1
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 双层气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨解耦，角运动自由度通过二维柔性铰链解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN103075618B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210574056.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103064432B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210574146.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由磁浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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