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公开(公告)号:CN102798764A
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201110139419.1
申请日:2011-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R27/26
Abstract: 本发明提供一种利用电磁倏逝波的相位变化测量介质损耗的方法,其包括步骤:1)在预先给定频率的电磁波内确定待测介质折射率的实部,并把该待测介质定义为光疏介质;2)寻找一个折射率已知并且折射率实部大于待测介质的折射率实部的光密介质,并把光密介质和待测介质构成全反射系统;3)用预先给定频率的电磁波从光密介质向待测介质入射,并调节入射角度,使电磁波在光密介质和待测介质的界面处发生全反射,并在待测介质内部产生倏逝波;4)在待测介质中选择一个测量点,测量倏逝波相位的变化;并根据倏逝波相位的变化来计算待测介质折射率的虚部。该测量方法不仅能无损反复进行,还可实现超高精度的测量。
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公开(公告)号:CN101858929B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN201010181131.6
申请日:2010-05-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81B5/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角,与框架梁相连接的每根L梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用对称直梁、框架梁、L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构,具有高度对称性,可以显著减小传感器的交叉灵敏度,传感器采用微电子机械系统技术制作,是一种高灵敏度的电容式微加速度传感器。
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公开(公告)号:CN102569968A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201210009080.8
申请日:2012-01-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种电磁波束控制的方法,包括以下步骤:根据所需控制电磁波的工作频率,确定磁场的大小以及相应的旋磁媒质;根据电磁波要分束的数目和/或偏转方向确定磁畴的几何特征;根据所述磁畴的几何特征,通过磁场控制,在旋磁媒质中构造出磁畴,并控制电磁波模式的单向性传播方向。本发明还涉及一种电磁波束控制的方法制作的波束偏转器、波束分束器和分束器-偏转器转化开关。本发明对电磁波束的控制具有低损耗、抗无序、宽频、高效的特点,能广泛应用于全光控制芯片、光互联等领域。
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公开(公告)号:CN102176637A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201110027379.1
申请日:2011-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法。所述的电磁式振动能量采集器由中心质量块、外部支撑框架、二根折叠弹性梁、平面螺旋线圈、两块永磁体、上盖板及衬底等组成。所述的电磁式振动能量采集器利用体硅微机械加工技术的方法制作振动结构(包括中心质量块和折叠弹性梁),利用表面微机械加工技术的方法制作平面螺旋线圈,平面螺旋线圈制作在中心质量块的上表面上,两块永磁体并列位于平面螺旋线圈的正上方。本发明的能量采集器可在较低的频率范围内工作,将环境中振动的机械能转化为电能,用于解决无线传感网络或微纳器件等依赖电池供电的问题,该能量采集器具有体积小、制作方法简单、易于批量制造等优点,应用前景广阔。
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公开(公告)号:CN209433059U
公开(公告)日:2019-09-24
申请号:CN201822059191.5
申请日:2018-12-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种温度不敏感马赫曾德尔干涉仪,包括:第一模式转换器;第二模式转换器,位于第一模式转换器的一侧,且与第一模式转换器具有间距;连接臂,位于第一模式转换器与第二模式转换器之间,一端与第一模式转换器相连接,另一端与第二模式转换器相连接;连接臂包括直波导连接臂。本实用新型的温度不敏感马赫曾德尔干涉仪通过设置所述连接臂的宽度及厚度等参数可以实现对温度不敏感。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN209764294U
公开(公告)日:2019-12-10
申请号:CN201821826360.7
申请日:2018-11-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor: 李伟
IPC: G01K11/32
Abstract: 本实用新型涉及一种监测区域自动划分的长距电缆连续温度监测系统,包括相互连接的分布式测温设备和分布式测温光纤,所述分布式测温光纤环绕在被测电缆上,用于测量所述被测电缆表面温度信息;所述分布式测温设备的信号处理器用于接收整条分布式测温光纤的温度信息,以获取被测电缆上的光纤沿线每一点的温度信息,并依据光纤沿线所测温度信息及电缆长度、光纤长度和空间分辨率计算对所述被测电缆进行自动分区。本实用新型能够把光纤的测温位置和温度信息与电缆的实际位置和温度信息进行对应。
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公开(公告)号:CN208110093U
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201820361533.6
申请日:2018-03-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种弯曲波导结构及基于所述弯曲波导结构的偏振分束旋转器,弯曲波导结构包括:衬底;第一波导,弯曲设置于衬底上,包括第一耦合区;第二波导,弯曲设置于衬底上,第二波导包括与第一耦合区耦合的第二耦合区,第二波导与第一波导之间具有预设间距,第二耦合区包括下部波导及位于下部波导上方的上部波导,下部波导与上部波导的截面宽度不同。通过上述方案,本实用新型提供的弯曲波导结构,通过改进外部波导的结构,在整体波导结构中引入了非对称结构的设计,使得外部波导的耦合区的两端以及上下均具有不同的尺寸,该非对称性设计具有增大带宽的作用,解决了现有波导结构的对波长敏感问题,进一步拓宽了弯曲波导结构的实际应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207490105U
公开(公告)日:2018-06-12
申请号:CN201721007696.6
申请日:2017-08-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种电磁吸收超材料,其上表面处于工作环境中,包括周期性谐振单元阵列,所述电磁吸收超材料所述电磁吸收超材料上表面设有一层电介质复合薄膜,该薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加所述电介质复合薄膜的材料选自氧化硅、氮化硅、氧化铝、氟化镁或硅中的至少两种。本实用新型的电磁吸收超材料通过选取不同种类的介质薄膜,并把他们按照一定比例叠加,可以获得折射率在选取介质中最大与最小折射率之间的介质薄膜,从而实现表面晶格共振的更加灵活和可控的调制;电介质复合薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加,所以几乎可以在任意工作环境下工作,甚至是液态或运动的环境。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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