公开(公告)号：CN102176637B

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201110027379.1

申请日：2011-01-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李伟 ,  车录锋 ,  王鹏 ,  王跃林

IPC: H02K35/04 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法。所述的电磁式振动能量采集器由中心质量块、外部支撑框架、二根折叠弹性梁、平面螺旋线圈、两块永磁体、上盖板及衬底等组成。所述的电磁式振动能量采集器利用体硅微机械加工技术的方法制作振动结构(包括中心质量块和折叠弹性梁)，利用表面微机械加工技术的方法制作平面螺旋线圈，平面螺旋线圈制作在中心质量块的上表面上，两块永磁体并列位于平面螺旋线圈的正上方。本发明的能量采集器可在较低的频率范围内工作，将环境中振动的机械能转化为电能，用于解决无线传感网络或微纳器件等依赖电池供电的问题，该能量采集器具有体积小、制作方法简单、易于批量制造等优点，应用前景广阔。

公开(公告)号：CN102176637A

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN201110027379.1

申请日：2011-01-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李伟 ,  车录锋 ,  王鹏 ,  王跃林

IPC: H02K35/04 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法。所述的电磁式振动能量采集器由中心质量块、外部支撑框架、二根折叠弹性梁、平面螺旋线圈、两块永磁体、上盖板及衬底等组成。所述的电磁式振动能量采集器利用体硅微机械加工技术的方法制作振动结构(包括中心质量块和折叠弹性梁)，利用表面微机械加工技术的方法制作平面螺旋线圈，平面螺旋线圈制作在中心质量块的上表面上，两块永磁体并列位于平面螺旋线圈的正上方。本发明的能量采集器可在较低的频率范围内工作，将环境中振动的机械能转化为电能，用于解决无线传感网络或微纳器件等依赖电池供电的问题，该能量采集器具有体积小、制作方法简单、易于批量制造等优点，应用前景广阔。