具有工作温度实时监控功能的高温三维霍尔传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN110911548B

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN201911201576.3

    申请日:2019-11-29

    发明人: 黄火林 张卉

    摘要: 具有工作温度实时监控功能的高温三维霍尔传感器及其制作方法,属于半导体传感器领域。技术方案:衬底上依次生长缓冲层、外延层和势垒层,所述外延层异质结界面处的势阱中存在高密度由极化电荷诱导产生的二维电子气;所述衬底下表面设有用于感测平行于器件表面磁场的垂直型霍尔传感器,所述势垒层上表面设置有用于感测垂直于器件表面磁场的“十”字水平型霍尔传感器。有益效果是:本发明采用适应高温环境的完全宽禁带材料,可以在高温下测量空间任意方向的磁场,同时具有尺寸小、灵敏度高等特点,可以在不影响传感器正常工作的前提下进行精确磁场测量和实时工作温度监测,未来有望广泛应用于各种军事、航空航天、医学、微型和纳米型传感器中。

    集成背面垂直型和正面水平型三维磁场探测功能的高温霍尔传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN110890457B

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN201911203680.6

    申请日:2019-11-29

    发明人: 黄火林 张卉

    摘要: 一种集成背面垂直型和正面水平型三维磁场探测功能的高温霍尔传感器及其制作方法,属于半导体传感器领域。技术要点:包括衬底、缓冲层、异质结结构层,所述衬底上依次生长缓冲层和异质结结构层,所述异质结结构层中存在二维电子气;所述衬底下表面设有用于感测平行于器件表面磁场的垂直型霍尔传感器,所述异质结结构层上表面设有用于感测垂直于器件表面磁场的“十”字水平型霍尔传感器。有益效果:本发明采用适应高温环境的完全宽禁带材料,所述的集成背面垂直型和正面水平型三维磁场探测功能的高温霍尔传感器既可以在高温下稳定的工作,又测量空间任意方向磁场,同时在测量X,Y,Z三个方向的磁场时具有较大的灵敏度。

    基于拓扑绝缘体材料和自旋轨道转矩效应的磁子阀结构

    公开(公告)号:CN113257992B

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202110702629.0

    申请日:2021-06-24

    摘要: 本发明提供了一种基于拓扑绝缘体材料和自旋轨道转矩效应的磁子阀结构,包括:拓扑绝缘体层、磁子阀部件及金属电极由下至上依次位于衬底上;磁子阀部件由下至上依次包括:第一铁磁绝缘体层、反铁磁层及第二铁磁绝缘体层,或磁子阀部件由下至上依次包括:第一铁磁绝缘体层、非铁磁层及第二铁磁绝缘体层;所述第一铁磁绝缘体层和第二铁磁绝缘体层具有相同或者相反的磁矩方向;磁子阀结构的逆自旋霍尔电压在所述拓扑绝缘体层通入电流前后电平状态会改变。本发明利用拓扑绝缘体的高自旋霍尔角和高电导率特性,提升电流翻转磁矩的效率,可以将该磁子阀结构作为一种高效率、低损耗的新型存储器件结构。

    霍尔元件
    99.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108075035B

    公开(公告)日:2021-08-20

    申请号:CN201711145587.5

    申请日:2017-11-17

    IPC分类号: H01L43/06 H01L43/04

    摘要: 本发明提供一种在磁感应部上具有球部的霍尔元件。本发明提供一种霍尔元件,其中,该霍尔元件包括:基板;磁感应部,其形成于基板上;绝缘膜,其形成于磁感应部上;电极部,其形成于绝缘膜上;以及球部,其设置于电极部上,该球部与电极部电连接,在俯视状态下,球部的投影面积占磁感应部的投影面积的10%以上。而且,球部的投影面积可以占磁感应部的投影面积的20%以上。此外,该霍尔元件还可以包括接合线,该接合线与球部电连接,且自球部沿着与电极部的上表面垂直的方向延长。

    化合物半导体霍尔元件
    100.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113241403A

    公开(公告)日:2021-08-10

    申请号:CN202110559427.5

    申请日:2021-05-21

    发明人: 胡双元 朱忻

    摘要: 本发明的实施例公开了一种化合物半导体霍尔元件。该化合物半导体霍尔元件包括基板、粘结层、磁感应部和电极部。该粘结层位于基板的表面上。该磁感应部通过粘结层键合到基板上。该电极部位于磁感应部的周边并且与磁感应部形成欧姆接触。该磁感应部的迁移率高和方块电阻高,从而该化合物半导体霍尔元件的灵敏度高和功耗低。