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公开(公告)号：CN119043534A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411167381.2
申请日：2024-08-23
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种基于阶梯式硅岛放大横向位移的双膜差压谐振式压力传感器，涉及压力传感器。该传感器采用静电激励压阻检测，包括上层膜、上层硅岛、氧化层、谐振层及下层膜岛。除氧化层外，其余均采用硅材料制作。上层膜承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动上层硅岛产生位移，上层硅岛结构呈阶梯式，通过沿着支点旋转产生的位移，将该横向位移放大并传递至谐振器层，进而使谐振层上的谐振梁产生轴向内应力，使谐振器谐振频率发生变化从而实现差压的测量。下层膜岛结构为一体化结构，可将谐振器进行真空封装。该传感器的下层膜岛结构与上层膜及上层硅岛结构共同平衡静压，实现高静压背景下的应用。
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公开(公告)号：CN109159930B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN201811155781.6
申请日：2018-09-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 微颗粒装填密度提升装置，涉及填料装填技术领域。设有激振器、放大器、固定夹具、升降台、固定杆、行程开关、机械手、丝杆、电动机和控制系统；装有固定夹具的激振器安装在升降台上，激振器与放大器相连，激振器的上方悬挂安装机械手，机械手与电动机相连；升降台由电动机、丝杠、行程开关和固定杆控制升降，固定杆上安装行程开关和电动机，丝杆一端与电动机相连，丝杆另一端与升降台连接，控制系统实现整个装置的自动控制。同时采用振动技术和旋转技术对填料盒进行处理，振动技术可以使较小颗粒填充于较大颗粒的间隙，从而减小孔隙率；旋转技术可以使微颗粒间呈规律性排列，从而减小颗粒间的空隙度，进一步提高装填率。
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公开(公告)号：CN118730380A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410859347.5
申请日：2024-06-28
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提出一种利用放大横向位移的杠杆传递结构。该传感器采用静电激励压阻检测，包括上下感压膜层、上下玻璃层、结构层、衬底层以及杠杆层，其中感压层、衬底层、结构层采用硅材料制作，衬底层由BF33硼硅玻璃制作；感压层由主要用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动感压膜片上的硅岛产生位移，硅岛通过连接的杠杆结构将横向位移放大并传递至谐振器层，进而使谐振层上的谐振梁产生轴向内应力，使谐振器谐振频率发生变化从而对压力进行表征，玻璃层作为封装层，用于形成高真空密封空腔。
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公开(公告)号：CN117446746A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311416907.1
申请日：2023-10-30
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种应用于多传感器集成的逐级真空封装方法，涉及微器件真空封装。玻璃圆片上表面加工锥形孔，以锥形孔为中心加工微流道垂直贯穿玻璃圆片；玻璃圆片下表面加工两个微腔，两侧预留键合区各加工一台阶，微流道通过两侧台阶分别与两个微腔连通；锥形孔侧壁溅射凸点下金属层，作为垂直互连的通孔内电镀铜；器件晶圆上加工传感器A和B，金属引线及电极；玻璃圆片与器件晶圆键合，抽真空至M Pa，金锡焊料熔滴落在与微腔A连通的微流道顶端锥形孔内实现传感器A封装；继续抽真空至N Pa(N
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公开(公告)号：CN106556440B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201710059438.0
申请日：2017-01-24
Applicant: 厦门大学
IPC: G01F1/66
Abstract: 一种时差法超声波流量计，涉及超声波流量计。提供不仅能提高超声波流量计数据采集率，还能改善数据采集同步性，提高测量精度的一种时差法超声波流量计设有超声波换能器、超声波接收器、管道；超声波换能器作为超声波发射器，超声波接收器设在超声波换能器两侧。超声波换能器设有锥形匹配层、绝缘胶、压电片、尾质量块、预应力螺钉和导线。压电片、锥形匹配层、尾质量块通过预应力螺钉连接。通过改变超声波流量计安装方式，将具有锥形匹配层的超声波换能器作为超声波发射器，使得顺流采样和逆流采样具有同步性，提高测量精度，并且可提高超声波流量计采样率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109896497A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910097427.0
申请日：2019-01-31
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种面向MEMS封装的纳米玻璃粉回流工艺，涉及一种纳米玻璃粉的回流工艺。硅微腔刻蚀；纳米玻璃粉填充；纳米玻璃粉热熔回流；硅盖帽与MEMS器件基底键合。采用纳米玻璃粉代替块状玻璃进行玻璃回流工艺，能够有效的解决玻璃块与硅需要进行复杂的键合、玻璃回流时间长、易形成晶体、腔体边缘填充不足或内部容易形成空腔无法满足真空度要求等缺点，采用该工艺回流后的玻璃还能够具有商用玻璃的优良特性。此外，该工艺便捷高效，易于推广。
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公开(公告)号：CN109094750A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810833904.0
申请日：2018-07-26
Applicant: 厦门大学
IPC: B63B39/06
Abstract: 一种用于船舶减横摇的摇摆伸缩臂减摇装置，涉及游艇的减摇技术。设有底座、轴承组、伸缩臂、螺旋桨自旋传动链、伸缩臂摇摆传动链、轴承、电机支座和底座螺栓孔；所述底座与轴承组、电机支座和轴承相固接，底座上设有与船体甲板相固定的底座螺栓孔；所述螺旋桨自旋传动链设有自旋电机、电机锥齿轮、螺旋桨和伸缩臂锥齿轮，电机锥齿轮固定在自旋电机上，螺旋桨和伸缩臂锥齿轮固定在伸缩臂上，自旋电机与伸缩臂垂直设置；所述伸缩臂摇摆传动链设有外壳直齿轮、转体外壳、电机直齿轮和摇摆电机，外壳直齿轮与转体外壳固接，电机直齿轮与摇摆电机固接，所述自旋电机固定在转体外壳内。
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公开(公告)号：CN106637436B
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201611058683.1
申请日：2016-11-25
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 一种流体直写装置。设有喷头、喷头夹具、滑台、导管、旋转针芯、钻夹头、绝缘连接杆、伺服电机、固定板、直流电源、收集装置、对中块、毛细圆管；毛细圆管嵌入喷头的微孔中，在喷头的内腔加入纺丝液；对中块和喷头配合后嵌入导管，导管由喷头夹具固定，喷头夹具固定于滑台上，用于微调针尖伸出距离；滑台固定于固定板上；旋转针芯穿过毛细圆管并用钻夹头夹紧，钻夹头通过绝缘连接杆与伺服电机联接，伺服电机固定在固定板上；收集装置置于喷头下方，收集装置与地线连接；伺服电机带动旋转针芯转动，使溶液汇流于针尖上并在直流电源产生的电场力作用下产生射流，经溶剂挥发和固化沉积在收集装置上。实现流体连续、定量和快速响应，直写更精确稳定。
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公开(公告)号：CN106927452B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201710245590.8
申请日：2017-04-14
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00 , C01B32/184 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种激光诱导沉积制造图案化石墨烯的装置，涉及石墨烯。设有电纺直写前驱体平台、激光诱导石墨烯化平台和接收沉积石墨烯平台；所述电纺直写前驱体平台设有注射泵、注射器、直流电源；激光诱导石墨烯化平台设有CO2激光器和惰性气体保护系统；接收沉积石墨烯平台设有收集板和二维运动平台；所述注射器与注射泵连接，直流电源为注射器供电，CO2激光器的光束聚焦在注射器的泰勒锥射流出口上，收集板设在二维运动平台上并位于注射器的泰勒锥射流出口下方，惰性气体保护系统为接收沉积石墨烯平台提供惰性气体保护。具有可连续制造、成本低、环境及设备要求低等优势。
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公开(公告)号：CN106898434B
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201710110236.4
申请日：2017-02-28
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种导电加热透明电极的制造方法，涉及透明电极。将含苯环结构高聚物油墨沉积在基材上，形成图案化阵列线条结构或微纳米厚的薄层工作流体；将含苯环结构高聚物油墨的分子链中的含氧、氢等元素的官能团气化挥发，在分子链上留下C‑C、C＝C等官能团，完成含苯环结构聚合物的碳化改性，基材上的图案化阵列线条结构或微纳米厚的薄层工作流体成为透明电极的碳化电加热丝结构，再提升透明电极的碳化电加热丝结构在基材上的机械性能，将附着力提升后的透明电极的碳化电加热丝结构通过电源电气母线及连接端子完成导电结构的搭建，得导电加热透明电极。
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