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公开(公告)号:CN101788767B
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN201010104136.9
申请日:2010-01-27
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法。即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法,该感射线性树脂组合物也能显示出优良的膜厚均一性,并且具有高的射线敏感度,在显影工序中,具有即使超出最佳显影时间仍能够形成良好的图案形状的显影裕度;该层间绝缘膜具有高耐热性、高耐溶剂性、高透光率、低介电常数等各种优良的性能。上述感射线性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)1,2-醌二叠氮化合物和(C)具有硅氧烷链的特定聚合物。层间绝缘膜由上述感射线性树脂组合物形成。
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公开(公告)号:CN102053497A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN201010531407.9
申请日:2010-10-26
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。该正型放射线敏感性树脂组合物的放射线灵敏度、显影裕度高,而且可以形成耐热性、耐溶剂性、低介电性、光线透过率、耐光性、耐干蚀性优异的层间绝缘膜。该正型放射线敏感性树脂组合物包含[A]具有受阻胺结构和/或受阻酚结构的碱可溶性树脂,以及[B]1,2-醌二叠氮化合物。[A]成分优选为由(a1)包含选自不饱和羧酸或不饱和羧酸酐中的一种以上的单体,以及(a2)包含选自下述式(1)所示的化合物、下述式(2)所示的化合物或下述式(3)所示的化合物中的一种以上的单体得到的共聚物。[A]成分可以是由除了上述(a1)和(a2)的化合物以外,还包含(a3)含环氧基的不饱和化合物的单体得到的共聚物。
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公开(公告)号:CN102043339A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN201010522556.9
申请日:2010-10-20
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法。目的在于提供一种正型放射线敏感性树脂组合物,其即使用狭缝涂布法作为涂布方法时,也能显示优良的涂布性乃至膜厚均匀性,且能缩短涂布膜的干燥时间,放射线敏感度等也优良。本发明的正型放射线敏感性树脂组合物含有[A]硅氧烷聚合物、[B]醌二叠氮基化合物和[C]式(1)表示的溶剂,式(1)中,R1和R2分别独立地表示碳原子数为1~6的直链状或支链状的烷基,R1和R2的任何之一为碳原子数为1~4时,另一个碳原子数为5或6。R1-O-R2 (1)。
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公开(公告)号:CN101059651A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200610074467.6
申请日:2006-04-21
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种适合用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物。为了解决上述问题,本发明提供一种用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物,其特征在于:包括,[A]下述(a1)~(a4)的共聚物,其中(a1)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,(a2)是含有环氧基的不饱和化合物,(a3)是下式(1)所示的不饱和化合物,和(a4)是(a1)、(a2)和(a3)以外的烯烃类不饱和化合物,(式中,R1表示氢原子或甲基,R2、R3和R4各自独立地表示氢原子、羟基或碳原子数为1~6的烷基或烷氧基,n是0~6的整数);以及[B]1,2-醌二叠氮化合物。
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公开(公告)号:CN102023480B
公开(公告)日:2013-11-13
申请号:CN201010277210.7
申请日:2010-09-08
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , G02F1/1339 , G02F1/1333 , G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物、作为显示元件用保护膜、绝缘膜或分隔物的固化物及其形成方法,该树脂组合物灵敏度优异,而且可以形成膜厚均匀性和对紫外线等的耐光性优异,而且具有作为一般要求性质的耐磨性、压缩性能(恢复率和柔软性)等的作为显示元件用保护膜、绝缘膜或分隔物的固化物。一种放射线敏感性树脂组合物,该放射线敏感性树脂组合物用于形成作为显示元件用的保护膜、绝缘膜或分隔物的固化物,其特征在于:包含,(A)具有羧基的聚合物,(B)聚合性不饱和化合物,(C)放射线敏感性聚合引发剂以及(D)感热色素。
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公开(公告)号:CN101646718B
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN200880010115.1
申请日:2008-03-21
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C09D183/10
Abstract: 本发明涉及固化性树脂组合物,该组合物含有:含有具选自环氧乙基、氧杂环丁基和烯丙基的至少一种官能基团的聚合性不饱和化合物的聚合物,以及含有可通过热与该聚合物发生交联反应的官能基团的滤色器保护膜用硅氧烷低聚物。该组合物即使是表面平整性低的基体,也可以在该基体上形成平整性高的固化膜,并且用于形成透明性和表面硬度高,耐热耐压性、耐酸性、耐碱性、耐溅射性等各种耐性优异的光学装置用保护膜。
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公开(公告)号:CN102087473A
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN201010576964.2
申请日:2010-12-02
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法,该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状,同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN1854895A
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200610066634.2
申请日:2006-04-13
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/028 , G02F1/1339 , G02F1/1333 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/40
Abstract: 本发明的课题在于提供一种适合用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物。为了解决上述问题,本发明提供一种用于形成垂直取向型液晶显示元件的突起和/或分隔物的放射线敏感性树脂组合物,其特征在于:包括,[A]下述(a1)~(a3)形成的共聚物,其中(a1)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,(a2)是含有至少1种选自四氢呋喃骨架、呋喃骨架、四氢吡喃骨架、吡喃骨架、内酯骨架、重复单元为2~10的氧乙烯骨架和重复单元为2~10的氧丙烯骨架的不饱和化合物,以及(a3)是(a1)和(a2)以外的烯烃类不饱和化合物;以及[B]1,2-醌二叠氮化合物。
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公开(公告)号:CN1757670A
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN200510105711.6
申请日:2005-09-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物,能够制造膜厚度、分辨率、图案形状、耐热性、透明性、耐热变色性、耐溶剂性等方面优良的微型透镜,且保存稳定性也良好。射线敏感性树脂组合物特征在于包括(A)使10~50重量%的(a)含酸性官能团的聚合性不饱和化合物、20~60重量%的(b)含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物以及5~40重量%的(c)其它聚合性不饱和化合物(其中,(a)+(b)+(c)=100重量%)聚合所得的碱可溶性共聚物;(B)以含脂环状烃基而无酸性官能团的聚合性不饱和化合物为必需成分的聚合性不饱和化合物;以及(C)光聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN1598695A
公开(公告)日:2005-03-23
申请号:CN200410064064.4
申请日:2004-07-14
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G03F7/001 , G03F7/0007 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供可以容易地形成由2种折射率不同的区域组成的图案的方法。本发明提供一种形成折射率不同的2种区域的方法,其中:使用感辐射性树脂组合物形成具有疏水·疏油性部位的图案,并在其上涂布使用对疏水·疏油性部位润湿性小的溶剂的高折射率树脂溶液。
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