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公开(公告)号:CN102464984A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110103369.1
申请日:2011-04-18
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K19/56 , G02F1/1337
CPC classification number: C09K19/56
Abstract: 本发明公开了一种液晶取向剂、用所述液晶取向剂制造的液晶取向膜和液晶显示器装置。所述液晶取向剂包括选自聚酰胺酸、聚酰亚胺及它们的组合中的聚合物,所述聚酰胺酸包括化学通式1表示的重复单元,所述聚酰亚胺包括化学通式2表示的重复单元。
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公开(公告)号:CN104768912B
公开(公告)日:2017-11-14
申请号:CN201380056460.X
申请日:2013-03-19
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07C49/792 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/027 , C07C49/788 , C07C49/792 , C07C49/796 , C07C49/798 , C07C49/83 , C07C49/835 , G03F7/091 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/16 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的硬掩膜组成物用单体、一种含括所述单体的硬掩膜组成物,及一种使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法。由所述硬掩膜组成物形成的薄层具有对抗蚀刻气体的充分的耐蚀刻性且因而具有更低的蚀刻速率。
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公开(公告)号:CN104250228B
公开(公告)日:2019-05-10
申请号:CN201410163675.8
申请日:2014-04-22
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07D215/14 , C07D311/58 , C07D409/14 , C07D405/10 , C07D333/16 , C07C37/00 , C07C39/17 , C07C39/225 , C07C29/143 , C07C35/21 , C07C213/02 , C07C217/58 , C07C253/30 , C07C255/53 , C07C17/16 , C07C22/04 , C07C319/12 , C07C323/19 , H01L21/027
Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中,A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102559206A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110219968.X
申请日:2011-07-28
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K19/56 , G02F1/1337
CPC classification number: C09K19/56 , G02F1/133723
Abstract: 一种液晶取向剂,包括第一聚合物,所述第一聚合物包括含以下化学通式1所示的重复单元的聚酰胺酸、含以下化学通式2所示的重复单元的聚酰亚胺或它们的组合。本发明还提供了使用所述液晶取向剂制备的液晶取向膜和包括所述液晶取向膜的液晶显示器。
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公开(公告)号:CN104768912A
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201380056460.X
申请日:2013-03-19
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07C49/792 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/027 , C07C49/788 , C07C49/792 , C07C49/796 , C07C49/798 , C07C49/83 , C07C49/835 , G03F7/091 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/16 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的硬掩膜组成物用单体、一种含括所述单体的硬掩膜组成物,及一种使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法。
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公开(公告)号:CN104250228A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410163675.8
申请日:2014-04-22
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07D215/14 , C07D311/58 , C07D409/14 , C07D405/10 , C07D333/16 , C07C37/00 , C07C39/17 , C07C39/225 , C07C29/143 , C07C35/21 , C07C213/02 , C07C217/58 , C07C253/30 , C07C255/53 , C07C17/16 , C07C22/04 , C07C319/12 , C07C323/19 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/40 , C07C22/04 , C07C39/12 , C07C39/225 , C07C217/58 , C07C255/53 , C07C323/19 , C07C2601/14 , C07C2603/50 , C07C2603/52 , C07C2603/54 , C07D215/14 , C07D311/58 , C07D333/16 , C07D333/50 , G03F7/09 , G03F7/094 , C07C35/21 , C07C39/17 , C07D405/10 , C07D409/14 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中,A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN104253024B
公开(公告)日:2017-07-28
申请号:CN201410063061.2
申请日:2014-02-24
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/311 , C08G61/02
CPC classification number: G03F7/094 , G03F7/09 , G03F7/091 , G03F7/11 , G03F7/162 , G03F7/30 , G03F7/36 , G03F7/40
Abstract: 本发明公开了硬掩模组合物、使用其形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路装置,其中该硬掩模组合物包括由以下化学式1表示的单体、包含由以下化学式2表示的部分的聚合物、包含由以下化学式3表示的部分的聚合物、或者它们的组合,以及溶剂。在以下化学式1至3中,A、A′、A″、L、L′、X、X′、m、n、Ar、B、Xa以及Xb与具体实施方式中限定的相同。[化学式1][化学式2][化学式3]
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公开(公告)号:CN104253024A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410063061.2
申请日:2014-02-24
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/311 , C08G61/02
CPC classification number: G03F7/094 , G03F7/09 , G03F7/091 , G03F7/11 , G03F7/162 , G03F7/30 , G03F7/36 , G03F7/40 , G03F7/092 , C08G61/02 , C08G2261/314 , G03F7/00 , H01L21/0271
Abstract: 本发明公开了硬掩模组合物、使用其形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路装置,其中该硬掩模组合物包括由以下化学式1表示的单体、包含由以下化学式2表示的部分的聚合物、包含由以下化学式3表示的部分的聚合物、或者它们的组合,以及溶剂。在以下化学式1至3中,A、A′、A″、L、L′、X、X′、m、n、Ar、B、Xa以及Xb与具体实施方式中限定的相同。[化学式1][化学式2][化学式3]
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