多轴惯性力传感器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116457631A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202180074517.3

    申请日:2021-10-14

    Abstract: 多轴惯性力传感器包括安装件(101、159、172)、多个模块(102、103、129、130)及多个传感器(104、105、131、132)。各模块具有相对地确定与接触对象之间的位置的定位部(127)。各模块通过组装成基于定位部相互确定了相对位置的状态及各倾斜面(107、112、133、138)分别朝向不同的方向的状态来构成基座(128)。各传感器通过分别配置在基座的各倾斜面上而使主轴分别朝向不同的方向,且分别检测与主轴对应的惯性力的向量分量。

    角速度传感器及角速度传感器系统

    公开(公告)号:CN114599936A

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202080074706.6

    申请日:2020-10-28

    Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b),并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且,控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动,获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs),使第一谐振频率(fd)维持在一定的值,并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。

    角速度传感器及角速度传感器系统

    公开(公告)号:CN114599936B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202080074706.6

    申请日:2020-10-28

    Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b),并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且,控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动,获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs),使第一谐振频率(fd)维持在一定的值,并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。

Patent Agency Ranking