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公开(公告)号：CN119678369A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202380059162.X
申请日：2023-08-24
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化并且能够扩宽通带的带宽。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：压电膜，包括压电层（14），压电层（14）包括压电体；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）上，具有第1汇流条（22）和一端分别连接于第1汇流条（22）的多个第1电极指（25），连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）上，具有第2汇流条（23）和一端分别连接于第2汇流条（23）的多个第2电极指（26），连接于输出电位，多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；和第3电极（19），具有多个第3电极指（27）和将相邻的第3电极指（27）彼此连接的连接电极（第3汇流条（24）），连接于与第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）不同的电位，多个第3电极指（27）分别设置在压电层（14）上，使得在俯视时，在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上，与第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下，是将第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）设为1个周期的顺序。在将相邻的第1电极指（25）和第3电极指（27）的中心间距离、以及相邻的第2电极指（26）和第3电极指（27）的中心间距离之中最长的距离设为p的情况下，在将压电膜的厚度设为d的情况下，d/p为0.05以上。
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公开(公告)号：CN119605083A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202380056687.8
申请日：2023-08-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供能够推进滤波器装置的小型化、并且能够抑制滤波器特性的劣化的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：压电层（14），包含铌酸锂；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）上，具有第1汇流条（22）和一端分别与第1汇流条（22）连接的多个第1电极指（25），连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）上，具有第2汇流条（23）和一端分别与第2汇流条（23）连接的多个第2电极指（26），连接于输出电位，多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；和基准电位电极（19），具有多个第3电极指（27）和将相邻的第3电极指（27）彼此连接的连接电极（第3汇流条（24）），连接于基准电位，多个第3电极指（27）分别设置在压电层（14）上，使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上，与第1电极指（25）以及第2电极指（26）并排。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下，是以第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）为1个周期的顺序。在第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）中，相邻的第1电极指（25）以及第2电极指（26）的中心间距离是固定的。在基准电位电极（19）中，多个第3电极指（27）以等间隔配置，并且相邻的第1电极指（25）和第3电极指（27）的中心间距离、以及相邻的第2电极指（26）和第3电极指（27）的中心间距离不固定。
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公开(公告)号：CN119605082A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202380056634.6
申请日：2023-08-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供能够实现滤波器装置的小型化、扩大通带的带宽的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置（10）具备包含铌酸锂的压电层（14）、设置在压电层（14）的第1主面（14a）且具有彼此相互交错对插的多个第1、第2电极指（25、26）且分别连接于输入、输出电位的第1、第2梳形电极（17、18）、和连接于不同的电位使得在俯视时与所述第1电极指（25）以及第2电极指（26）并排的第3电极（19），以将第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）设为一个周期的顺序排列，在一组电极指各自中，满足0.65≤de/d≤1.15且me/pa≤0.5、以及de/d≤0.25、或者0.7≤de/d≤1.5且me/pa≤0.15。
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公开(公告)号：CN117256099A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202280031225.6
申请日：2022-06-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种不易产生高阶模的弹性波装置。弹性波装置(1)在能量封闭层上层叠有压电膜(3)，在压电膜(3)的第1主面(3a)上层叠有IDT电极(4)以及第1电介质膜(7)，在第2主面(3b)上层叠有第2IDT电极(5)以及第2电介质膜(8)，在第2主面(3b)侧的第2电介质膜(8)的密度与膜厚之积比第1主面(3a)侧的第1电介质膜(7)大的情况下，被第1电介质膜(7)被覆的第1IDT电极(4)的电极指的密度与膜厚之积的总和被设得小于第2IDT电极(5)的电极指的密度与膜厚之积的总和。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111446942B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202010061671.4
申请日：2020-01-15
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制由反射镜模式引起的寄生。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声反射膜(7)；设置在声反射膜(7)上且具有第一主面(4a)和第二主面(4b)的压电体层(4)；设置在压电体层(4)的第一主面(4a)上及第二主面(4b)上的第一平板电极(5)及第二平板电极(6)(激励电极)。声反射膜(7)具有交替层叠的高声阻抗层和低声阻抗层。高声阻抗层及低声阻抗层中的至少一层是纵波声阻抗及横波声阻抗中的至少一方实质上相同的第一材料层(12A)及第二材料层(12B)的层叠体。在第一材料层(12A)及第二材料层(12B)之间的界面(12c)设置有凹凸。
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公开(公告)号：CN115699573A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180040136.3
申请日：2021-06-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，设置有压电膜(2)，在压电膜(2)上设置有IDT电极(10)，IDT电极(10)具有第1汇流条(5)以及第2汇流条(6)、至少一根第1电极指(3)、和至少一根第2电极指(4)，在将第1电极指(3)、第2电极指(4)在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述的那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜25μm、ya＜25μm、xb＜25μm、yb＜25μm、xc＜25μm、yc＜25μm、xd＜25μm、yd＜25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。
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公开(公告)号：CN114467257A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066155.9
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在谋求小型化的同时还能够提高Q值且能够增大电容的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)以及第2电极(52)。第1电极(51)以及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料是铌酸锂或钽酸锂。第1电极(51)以及第2电极(52)各自的至少一部分埋入到压电体层(4)。
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公开(公告)号：CN114424456A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080066319.8
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种即使在推进了小型化的情况下也能提高Q值且能调整谐振频率的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)及第2电极(52)。第1电极(51)及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。弹性波装置(1)具备第1谐振器及第2谐振器。第1谐振器及第2谐振器各自具有第1电极(51)及第2电极(52)、和压电体层(4)之中包含设置了第1电极(51)及第2电极(52)的设置区域的设置部位(400)。第1谐振器及第2谐振器各自的厚度是除去了该谐振器所包含的第1电极(51)及第2电极(52)的厚度之后的厚度。第1谐振器的厚度和第2谐振器的厚度不同。
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公开(公告)号：CN113692706A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202180002548.8
申请日：2021-03-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明提供一种在支承基板设置有空洞部的情况下不易产生构造上的脆弱性的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，具有空洞部(10)；压电膜(3)，设置在支承基板(2)上，使得覆盖空洞部(10)；功能电极(4)，设置在压电膜(3)上，使得在俯视下与空洞部(10)重叠；以及支承构件(5)，配置在支承基板(2)的空洞部(10)，对压电膜(3)进行支承。功能电极(4)具有在与压电膜(3)的厚度方向交叉的方向上排列的多个电极。多个电极包含：第1电极(6)以及第2电极(7)，在与压电膜(3)的厚度方向交叉的方向上对置，且与相互不同的电位连接。从与第1电极(6)延伸的方向正交的方向观察，相邻的电极重叠的区域为交叉区域(A)。在俯视下，交叉区域(A)和支承构件(5)重叠。
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