-
公开(公告)号:CN102472608A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN200980159740.7
申请日:2009-09-11
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01B9/02 , G01B11/24 , G01N21/956
CPC classification number: G01B9/02032 , G01B9/02007 , G01B9/0209 , G01B9/04 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01N21/9501 , G02B21/0016
Abstract: 在向晶片等试样照射激光,并利用干涉仪观察并检查试样的表面内部的干涉显微镜和测定装置中,在分光器和参照镜之间设置用于引导光的参照光路,同时在分光器和试样之间设置用于引导光的测定光路,在参照光路和测定光路中设置光学光程差。而且,通过使参照镜发生微小量的倾斜,在检测单元形成干涉条纹。通过简单的结构,仅通过使参照镜稍微倾斜,测量晶片等试样(被测物)的表面形状,可以限定灰尘和磁极片等的准确坐标位置。
-
公开(公告)号:CN100589753C
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200710112561.0
申请日:2007-06-21
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: A61B3/102
Abstract: 本发明提供一种眼科装置,该眼科装置不必将点状微小区域的检测光束特别投影在眼底上而使该投影后的微小区域的检测光束在眼底上进行扫描,即使是一般广范围的眼底照明光也能准确检测视线方向,使高速且高精度的追踪、以及高分辨率的眼底摄影成为可能。本发明的眼科装置具有基于来自受检眼的眼底的反射光束、将受检眼的眼底图像形成于摄像装置上的眼底摄影系统;跟踪检测部,其具有接受在眼底上照明的照明区域中的一部分反射区域所反射的光束的受光元件、和在照明区域内以规定轨迹扫描反射区域的扫描单元;以及眼底跟踪控制部,其利用跟踪检测部检测受检眼的视线方向并使眼底摄影系统追踪视线方向。
-
公开(公告)号:CN101103902A
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200710112561.0
申请日:2007-06-21
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: A61B3/102
Abstract: 本发明提供一种眼科装置,该眼科装置不必将点状微小区域的检测光束特别投影在眼底上而使该投影后的微小区域的检测光束在眼底上进行扫描,即使是一般广范围的眼底照明光也能准确检测视线方向,使高速且高精度的追踪、以及高分辨率的眼底摄影成为可能。本发明的眼科装置具有基于来自受检眼的眼底的反射光束、将受检眼的眼底图像形成于摄像装置上的眼底摄影系统;跟踪检测部,其具有接受在眼底上照明的照明区域中的一部分反射区域所反射的光束的受光元件、和在照明区域内以规定轨迹扫描反射区域的扫描单元;以及眼底跟踪控制部,其利用跟踪检测部检测受检眼的视线方向并使眼底摄影系统追踪视线方向。
-
-