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公开(公告)号：CN119858892A
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202411797897.5
申请日：2024-12-09
Applicant: 无锡北微传感科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种MEMS器件架构，包括盖帽层、器件层和衬底层，盖帽层和器件层键合，键合完成后的整体和衬底层键合，盖帽层基于第一硅基板制造而成，盖帽层底部设置有空腔结构，盖帽层内设置有高深槽结构，高深槽结构的槽壁设置有二氧化硅薄膜，高深槽结构内沉积填充有多晶硅，第一硅基板上表面设置有二氧化硅层；器件层基于SOI晶圆制作而成，包括由顶层硅组成的第一硅结构层、埋氧化层和由背衬底硅组成的第二硅结构层；衬底层包括第二硅基板，第二硅基板顶面设置有底层空腔，第二硅基板底面开设有排气孔。本发明结合深槽刻蚀、多晶硅填槽和键合技术，利用SOI晶圆和聚酰亚胺层等先进材料，实现了卓越的信号隔离和多种MEMS IMU应用的灵活性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115783303B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202211522259.3
申请日：2022-11-30
Applicant: 无锡北微传感科技有限公司
IPC: B64F5/60
Abstract: 本发明公开了一种飞行器多舵面高精度动态测量实时监测系统，该系统包括：测试单元和上位机；测试单元包括传感器组件、电源模块、AD数模转换模块、RS485通信模块、无线通信模块、单片机(MCU)和电源。将惯性传感器贴装于飞行器的各个被测舵面上，通过无线或者有线的方式，实现传感器与主控界面的通信。不用采用任何外部设备，仅仅转动被测舵面到三个任意静止的角度，然后进行误差运算。本发明操作简单，偏转任意角度即可得到安装误差，可以界面显示，测量精度高，重复性好。
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公开(公告)号：CN117272593B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311070852.3
申请日：2023-08-24
Applicant: 无锡北微传感科技有限公司
IPC: G06F30/20 , G01M9/08 , G06F17/11 , G06F119/08 , G06F119/14 , G06F111/10
Abstract: 本发明涉及风洞试验的技术领域，公开了一种风洞试验数据分析处理方法，所述方法包括：采集风洞试验数据并进行数据修正，构建风洞试验目标刚体定位模型并定位得到风洞试验目标的三维坐标点；构建风洞试验姿态估计模型并进行无约束优化求解；利用最优风洞试验姿态估计模型得到风洞试验目标在三维坐标下的姿态估计参数。本发明基于动力学系数与环境雷诺数的拟合关系式确定不同环境下的校正参数，有效对风洞试验过程中产生的雷诺数效应进行修正，更为准确地对不同环境下风洞试验目标的结构变化进行判断，构建拍摄相机对风洞试验目标坐标系的旋转矩阵参数实现姿态估计，结合校正后的动力学系数对风洞试验目标的姿态初始估计结果进行进一步修正。
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公开(公告)号：CN117272593A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311070852.3
申请日：2023-08-24
Applicant: 无锡北微传感科技有限公司
IPC: G06F30/20 , G01M9/08 , G06F17/11 , G06F119/08 , G06F119/14 , G06F111/10
Abstract: 本发明涉及风洞试验的技术领域，公开了一种风洞试验数据分析处理方法，所述方法包括：采集风洞试验数据并进行数据修正，构建风洞试验目标刚体定位模型并定位得到风洞试验目标的三维坐标点；构建风洞试验姿态估计模型并进行无约束优化求解；利用最优风洞试验姿态估计模型得到风洞试验目标在三维坐标下的姿态估计参数。本发明基于动力学系数与环境雷诺数的拟合关系式确定不同环境下的校正参数，有效对风洞试验过程中产生的雷诺数效应进行修正，更为准确地对不同环境下风洞试验目标的结构变化进行判断，构建拍摄相机对风洞试验目标坐标系的旋转矩阵参数实现姿态估计，结合校正后的动力学系数对风洞试验目标的姿态初始估计结果进行进一步修正。
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公开(公告)号：CN115878939A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211578713.7
申请日：2022-12-05
Applicant: 无锡北微传感科技有限公司
Abstract: 本发明公开了基于飞行器舵面偏转的高精度动态测量方法，该方法包括：高精度姿态融合算法、温度时间漂移补偿算法及安装误差修正算法。多种算法的共同使用来保证飞行器静态及动态检测的精度。本发明提供的基于飞行器舵面偏转的高精度动态测量方法，设计定位定姿算法架构，分级解决误差影响，综合分析位置解算和姿态解算转换关系，以互补方式解决微惯导系统自身误差和漂移的问题。操作简单，精度高，重复性好，具有极高的工程应用价值。
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公开(公告)号：CN115783303A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211522259.3
申请日：2022-11-30
Applicant: 无锡北微传感科技有限公司
IPC: B64F5/60
Abstract: 本发明公开了一种飞行器多舵面高精度动态测量实时监测系统，该系统包括：测试单元和上位机；测试单元包括传感器组件、电源模块、AD数模转换模块、RS485通信模块、无线通信模块、单片机(MCU)和电源。将惯性传感器贴装于飞行器的各个被测舵面上，通过无线或者有线的方式，实现传感器与主控界面的通信。不用采用任何外部设备，仅仅转动被测舵面到三个任意静止的角度，然后进行误差运算。本发明操作简单，偏转任意角度即可得到安装误差，可以界面显示，测量精度高，重复性好。
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