公开(公告)号：CN116096937A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180054207.5

申请日：2021-08-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 詹妮弗·Y·孙 ,  仁观·段 ,  加亚特里·纳图 ,  金泰远 ,  黄际勇 ,  尼廷·迪帕克 ,  保罗·布里尔哈特 ,  张林 ,  陈奕凯 ,  桑尼·辛尼卡·塞帕拉 ,  加内什·巴拉萨布拉曼尼恩 ,  胡安·卡洛斯·罗奇 ,  尚卡•文卡塔拉曼 ,  凯瑟琳·伊丽莎白·沃

IPC: C23C16/44

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及制品、经涂布的腔室部件，以及通过保护涂层涂布腔室部件的方法，所述保护涂层包括具有选自由M1xFw、M1xM2yFw及M1xM2yM3zFw6组成的组的式的至少一种金属氟化物，其中M1、M2或M3中的至少一者为镁或镧。可通过原子层沉积、化学气相沉积、电子束离子辅助沉积或物理气相沉积来沉积保护涂层。

公开(公告)号：CN113924387A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202080037702.0

申请日：2020-02-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 盛殊然 ,  林·张 ,  黄际勇 ,  约瑟夫·C·沃纳 ,  斯坦利·吴 ,  马赫什·阿迪纳特·卡纳瓦德 ,  陈奕凯 ,  宜兴·林 ,  英玛

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/44

Abstract: 本公开内容的多个实施方式一般涉及用于清洁处理腔室的设备和方法。在一个实施方式中，基板支承件盖包括用氟化物涂层涂布的块状构件。在清洁处理期间，基板支承件盖放置在布置在处理腔室中的基板支承件上。氟化物涂层不会与清洁物质反应。基板支承件盖保护基板支承件防止与清洁物质反应，导致降低在腔室部件上形成的凝结，进而导致降低在后续处理中基板的污染。