公开(公告)号：CN116096937A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180054207.5

申请日：2021-08-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 詹妮弗·Y·孙 ,  仁观·段 ,  加亚特里·纳图 ,  金泰远 ,  黄际勇 ,  尼廷·迪帕克 ,  保罗·布里尔哈特 ,  张林 ,  陈奕凯 ,  桑尼·辛尼卡·塞帕拉 ,  加内什·巴拉萨布拉曼尼恩 ,  胡安·卡洛斯·罗奇 ,  尚卡•文卡塔拉曼 ,  凯瑟琳·伊丽莎白·沃

IPC: C23C16/44

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及制品、经涂布的腔室部件，以及通过保护涂层涂布腔室部件的方法，所述保护涂层包括具有选自由M1xFw、M1xM2yFw及M1xM2yM3zFw6组成的组的式的至少一种金属氟化物，其中M1、M2或M3中的至少一者为镁或镧。可通过原子层沉积、化学气相沉积、电子束离子辅助沉积或物理气相沉积来沉积保护涂层。