供液系统、供液方法及涂布装置

    公开(公告)号:CN102039258A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN201010229593.0

    申请日:2010-07-13

    Abstract: 本发明提供一种安全性、经济性、生产率优良的涂布装置的供液系统等。用于向涂布装置(100)的涂布部(120)供给药液的供液系统(1)具备用于储存药液的缓冲罐(3);管路(5-1);与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给药液的管路(5-2);与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给加压用气体的管路(5-4);与缓冲罐(3)以及喷出部(13)、涂布喷嘴(14)等涂布部(120)连接,用于自缓冲罐(3)向涂布部(120)供给液体的管路(5-5)。管路(5-1)、管路(5-2)能够可拆卸地与树脂制容器(17)连接,管路(5-1)能够向连接的树脂制容器(17)供给气体。

    测量系统
    7.
    发明公开
    测量系统 审中-实审

    公开(公告)号:CN117769637A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202280053775.8

    申请日:2022-07-19

    Abstract: 本发明提供一种标记容易制造且能够进行高精度的测量的测量系统。测量系统(500)所测量的标记(1)具备:基材层(10);第1层(20),其层叠在基材层(10)的一个面上,被观察为第1颜色;以及第2层(30),其局部地层叠在第1层(20)上,被观察为与第1颜色不同的第2颜色,并且局部地遮蔽第1层(20),第1层(20)在未层叠第2层(30)的区域中能够被观察到,第2层(30)由抗蚀剂材料构成。

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