公开(公告)号：CN117405090A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202311353834.6

申请日：2021-01-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 古川正 ,  大川晃次郎 ,  谷口幸夫 ,  藤崎英明 ,  鹿岛启二

IPC: G01C15/06 ,  G01C15/02 ,  G01B11/00 ,  G01B11/26 ,  G03F7/09 ,  G02B5/02 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供标记、标记的制造方法以及检测对象物。标记(1)具备：基材层(10)；第1层(20)，其层叠于基材层(10)的一个面上，被观察为第1颜色；以及第2层(30)，其部分地层叠于第1层(20)上，被观察为与第1颜色不同的第2颜色，并且局部遮蔽第1层(20)，第1层(20)能够在未层叠第2层(30)的区域内被观察到，第2层(30)由抗蚀剂材料构成。

公开(公告)号：CN117769637A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202280053775.8

申请日：2022-07-19

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 鹿岛启二 ,  古川正 ,  大川晃次郎 ,  谷口幸夫 ,  藤崎英明

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/26 ,  G01C15/06

Abstract: 本发明提供一种标记容易制造且能够进行高精度的测量的测量系统。测量系统(500)所测量的标记(1)具备：基材层(10)；第1层(20)，其层叠在基材层(10)的一个面上，被观察为第1颜色；以及第2层(30)，其局部地层叠在第1层(20)上，被观察为与第1颜色不同的第2颜色，并且局部地遮蔽第1层(20)，第1层(20)在未层叠第2层(30)的区域中能够被观察到，第2层(30)由抗蚀剂材料构成。

公开(公告)号：CN115066591A

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN202180012380.9

申请日：2021-01-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 古川正 ,  大川晃次郎 ,  谷口幸夫 ,  藤崎英明 ,  鹿岛启二

IPC: G01C15/06 ,  G01B11/00 ,  G01B11/26 ,  G01C15/02 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G02B5/02

Abstract: 本发明提供一种容易制造且高精度的标记。标记(1)具备：基材层(10)；第1层(20)，其层叠于基材层(10)的一个面上，被观察为第1颜色；以及第2层(30)，其部分地层叠于第1层(20)上，被观察为与第1颜色不同的第2颜色，并且局部遮蔽第1层(20)，第1层(20)能够在未层叠第2层(30)的区域内被观察到，第2层(30)由抗蚀剂材料构成。