供液系统、供液方法及涂布装置

    公开(公告)号:CN102039258A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN201010229593.0

    申请日:2010-07-13

    Abstract: 本发明提供一种安全性、经济性、生产率优良的涂布装置的供液系统等。用于向涂布装置(100)的涂布部(120)供给药液的供液系统(1)具备用于储存药液的缓冲罐(3);管路(5-1);与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给药液的管路(5-2);与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给加压用气体的管路(5-4);与缓冲罐(3)以及喷出部(13)、涂布喷嘴(14)等涂布部(120)连接,用于自缓冲罐(3)向涂布部(120)供给液体的管路(5-5)。管路(5-1)、管路(5-2)能够可拆卸地与树脂制容器(17)连接,管路(5-1)能够向连接的树脂制容器(17)供给气体。

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