一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106756835B

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201611253178.2

    申请日:2016-12-30

    Abstract: 本发明涉及一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法,以氧化还原石墨片为石墨烯溅射的靶材元素,借助双阴极辉光等离子放电作用在不同基体表面溅射沉积石墨烯薄膜的方法。本发明中石墨烯在溅射成膜过程中由于两个阴极的等离子同时产生作用,增强了体系的辉光放电成膜效率。因此,所得石墨烯薄膜质量较好,性能较为稳定。本发明对基体的材料及形状具有较大的选择性,可以在不同形状及不同材料的基体上制备石墨烯薄膜,所制备的石墨烯薄膜较为均匀,而且可以大面积量制备。

    一种氧化物透明电极薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106756792A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611253177.8

    申请日:2016-12-30

    Abstract: 本发明涉及一种氧化物透明电极薄膜的制备方法,在石英片上利用双层辉光等离子溅射反应成膜的方法实现低熔点氧化锌透明电极薄膜的制备。本发明以低熔点金属元素为靶材,为了提高元素及氧元素反应的供应量和供应效率,在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电,成膜仅需要10‑30min。本发明通过低熔点金属元素和氧元素的溅射反应形成大面积高质量的氧化物透明薄膜电极,薄膜的厚度在5‑10微米。本发明得到的薄膜表面质量高,具有高度的c轴(002)取向,在可见光波段平均透过率能够达到80%以上,并且薄膜能有效的屏蔽紫外光。该方法所制备的氧化物薄膜表面质量高、工艺可控性好、制备快速、成本低,尤其适合大面积快速制备。

    一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106939405B

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201710176713.7

    申请日:2017-03-23

    Abstract: 本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗,高压氮气烘干处理;高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源,用丙酮进行清洗,同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件;将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内,采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。

    一种氧化物透明电极薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106756792B

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201611253177.8

    申请日:2016-12-30

    Abstract: 本发明涉及一种氧化物透明电极薄膜的制备方法,在石英片上利用双层辉光等离子溅射反应成膜的方法实现低熔点氧化锌透明电极薄膜的制备。本发明以低熔点金属元素为靶材,为了提高元素及氧元素反应的供应量和供应效率,在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电,成膜仅需要10‑30min。本发明通过低熔点金属元素和氧元素的溅射反应形成大面积高质量的氧化物透明薄膜电极,薄膜的厚度在5‑10微米。本发明得到的薄膜表面质量高,具有高度的c轴(002)取向,在可见光波段平均透过率能够达到80%以上,并且薄膜能有效的屏蔽紫外光。该方法所制备的氧化物薄膜表面质量高、工艺可控性好、制备快速、成本低,尤其适合大面积快速制备。

    一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106756835A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611253178.2

    申请日:2016-12-30

    CPC classification number: C23C14/34 C23C14/0605

    Abstract: 本发明涉及一种石墨烯透明电极薄膜的制备方法,以氧化还原石墨片为石墨烯溅射的靶材元素,借助双阴极辉光等离子放电作用在不同基体表面溅射沉积石墨烯薄膜的方法。本发明中石墨烯在溅射成膜过程中由于两个阴极的等离子同时产生作用,增强了体系的辉光放电成膜效率。因此,所得石墨烯薄膜质量较好,性能较为稳定。本发明对基体的材料及形状具有较大的选择性,可以在不同形状及不同材料的基体上制备石墨烯薄膜,所制备的石墨烯薄膜较为均匀,而且可以大面积量制备。

    一种多功能落球法冲击试验机

    公开(公告)号:CN207570940U

    公开(公告)日:2018-07-03

    申请号:CN201721651725.2

    申请日:2017-12-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种多功能落球法冲击试验机,包括立杆,三脚支架,夹板,可拆卸组合板,电磁铁吸球器,钢球,光电门,电脑计时器;所述立杆底端连接在三角支架上,立杆顶端设有电磁铁吸球器,电磁铁吸球器用于吸引钢球不掉落,电磁铁吸球器下方立杆上依次设有上方光电门、可拆卸组合板和下方光电门、网篓;所述可拆卸组合板为两块大小形状相同的支撑板,两块板对称安装在立杆两侧,所述夹板用来夹紧试样,然后置于组合板上,所述下方光电门紧挨着可拆卸组合板;所述光电门,电磁铁吸球器与电脑计时器连接,并通过电脑计时器控制电磁铁吸球器开关控制钢球降落,同时记录实验数据。

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