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公开(公告)号：CN105387852B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201510671505.5
申请日：2015-10-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明为一种微半球陀螺谐振子的自对准技术制备方法，具体是以刻蚀有环形凹槽和圆形凹槽的硅片为硅衬底，在玻璃薄片上利用溅射金属的方法，形成所需要制备的图形和导线，利用高温下玻璃在熔融状态易被吹起的特性，使其形成空球壳和空环形壳体，通过腐蚀玻璃的方法，使没有溅射上金属的空壳部分被腐蚀掉，最终形成类“伞型”、“Y型”半球陀螺谐振子和与其近似平行的检测电极和激励电极。本发明谐振子的表面光滑并且完全对称，利用玻璃上的金属做掩膜，省去了激光切割技术，降低了成本同时提高了精度；本发明谐振子的谐振频率、品质因数等参数更优秀，同时制备出的激励电极和检测电极能够更完美的平行于谐振子，而且减少了工艺步骤。
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公开(公告)号：CN107218932A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710410258.2
申请日：2017-06-03
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构，解决了平台振动对海洋湍流探测干扰极大等技术瓶颈问题。本发明包括底座、湍流传感器和补偿传感器，湍流传感器由第一中空壳体、第一传感芯片、保护罩和保护柱组成；补偿传感器由第二中空壳体、第二传感芯片和密封导流罩组成，并且第一中空壳体、第一传感芯片与第二中空壳体、第二传感芯片完全相同。本发明采用具有共模抑制的振动补偿方法，在不改动湍流传感器结构的基础上，利用补偿传感器的对照效果，实现了消除平台振动信号的目的，具有较高的准确性和可行性。
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公开(公告)号：CN107321808B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201710544672.2
申请日：2017-06-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种反挤压均匀变形模具，涉及金属塑性成形领域。凸模主体的凸模头部中间设置有沟槽，沟槽的中部设置有一拱形结构，该拱形结构的截面为弧形；所述的沟槽的长度与凸模头部的直径相等；所述的拱形结构高度与沟槽深度相同。本发明大大减小凸模与坯料间的摩擦力，促进金属的均匀流动。
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公开(公告)号：CN107321808A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710544672.2
申请日：2017-06-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种正挤压均匀变形模具，涉及金属塑性成形领域。凸模主体的凸模头部中间设置有沟槽，沟槽的中部设置有一拱形结构，该拱形结构的截面为弧形；所述的沟槽的长度与凸模头部的直径相等；所述的拱形结构高度与沟槽深度相同.本发明大大减小凸模与坯料间的摩擦力，促进金属的均匀流动。
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公开(公告)号：CN107218932B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201710410258.2
申请日：2017-06-03
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构，解决了平台振动对海洋湍流探测干扰极大等技术瓶颈问题。本发明包括底座、湍流传感器和补偿传感器，湍流传感器由第一中空壳体、第一传感芯片、保护罩和保护柱组成；补偿传感器由第二中空壳体、第二传感芯片和密封导流罩组成，并且第一中空壳体、第一传感芯片与第二中空壳体、第二传感芯片完全相同。本发明采用具有共模抑制的振动补偿方法，在不改动湍流传感器结构的基础上，利用补偿传感器的对照效果，实现了消除平台振动信号的目的，具有较高的准确性和可行性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106568569B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201610876594.1
申请日：2016-10-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及海洋湍流探测领域，具体是一种MEMS二维湍流传感器结构及其制备方法，包括SOI基片，SOI基片的顶层硅被刻蚀至埋氧层并被刻蚀成中心圆盘结构，埋氧层被刻蚀形成“田”字型结构，中心圆盘位于“田”字型结构的十字悬臂梁的交叉处，十字悬臂梁的四个梁臂上都设有硅纳米线，埋氧层上还设有金属引线，金属引线将硅纳米线连接由此形成惠斯通电桥，中心圆盘上集成有硅纤毛，底层硅被刻蚀至埋氧层并被刻蚀成方框状结构，“田”字型结构的四周支撑在方框状结构上。本发明针对海洋湍流探测维度、分辨率、灵敏度不够的技术问题，提出基于巨压阻效应的MEMS二维湍流传感器，利用纤毛‑十字梁结构和硅纳米线敏感单元实现湍流高灵敏度、高分辨、二维探测。
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公开(公告)号：CN106607468B
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201710024674.9
申请日：2017-01-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种镁合金高性能杯形件的差速挤压成形方法，涉及金属塑性加工成形技术领域；采用组合式凹模，包括“T”形上凹模和“U”形下凹模。“T”形上凹模内部为圆柱体型腔，“T”形上凹模安装在“U”形下凹模上，形成的回转体型腔的截面为“山”字形。“山”字形挤压腔的底部采用错位的“阶梯”式差速挤压台阶。经过三个阶段的变形：一是经过轴向类似圆柱墩粗变形阶段；二是径向挤压大变形阶段；三是转角挤压剪切变形阶段。采用“山”字形挤压腔及腔底错位的“阶梯”式差速挤压台阶来挤压镁合金杯形件，极大地提高镁合金材料成形能力，获得高致密结构，极大的塑性变形量，晶粒细化效果显著，消除杯形件筒壁的晶粒双模态分布效果明显，缩短了高性能镁合金杯形件制作流程。
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公开(公告)号：CN106607468A
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201710024674.9
申请日：2017-01-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种镁合金高性能杯形件的差速挤压成形方法，涉及金属塑性加工成形技术领域；采用组合式凹模，包括“T”形上凹模和“U”形下凹模。“T”形上凹模内部为圆柱体型腔，“T”形上凹模安装在“U”形下凹模上，形成的回转体型腔的截面为“山”字形。“山”字形挤压腔的底部采用错位的“阶梯”式差速挤压台阶。经过三个阶段的变形：一是经过轴向类似圆柱墩粗变形阶段；二是径向挤压大变形阶段；三是转角挤压剪切变形阶段。采用“山”字形挤压腔及腔底错位的“阶梯”式差速挤压台阶来挤压镁合金杯形件，极大地提高镁合金材料成形能力，获得高致密结构，极大的塑性变形量，晶粒细化效果显著，消除杯形件筒壁的晶粒双模态分布效果明显，缩短了高性能镁合金杯形件制作流程。
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公开(公告)号：CN106568569A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610876594.1
申请日：2016-10-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及海洋湍流探测领域，具体是一种MEMS二维湍流传感器结构及其制备方法，包括SOI基片，SOI基片的顶层硅被刻蚀至埋氧层并被刻蚀成中心圆盘结构，埋氧层被刻蚀形成“田”字型结构，中心圆盘位于“田”字型结构的十字悬臂梁的交叉处，十字悬臂梁的四个梁臂上都设有硅纳米线，埋氧层上还设有金属引线，金属引线将硅纳米线连接由此形成惠斯通电桥，中心圆盘上集成有硅纤毛，底层硅被刻蚀至埋氧层并被刻蚀成方框状结构，“田”字型结构的四周支撑在方框状结构上。本发明针对海洋湍流探测维度、分辨率、灵敏度不够的技术问题，提出基于巨压阻效应的MEMS二维湍流传感器，利用纤毛‑十字梁结构和硅纳米线敏感单元实现湍流高灵敏度、高分辨、二维探测。
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公开(公告)号：CN105387852A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510671505.5
申请日：2015-10-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5691 , B81C1/00198 , B81C1/00349 , G01C25/00
Abstract: 本发明为一种微半球陀螺谐振子的自对准技术制备方法，具体是以刻蚀有环形凹槽和圆形凹槽的硅片为硅衬底，在玻璃薄片上利用溅射金属的方法，形成所需要制备的图形和导线，利用高温下玻璃在熔融状态易被吹起的特性，使其形成空球壳和空环形壳体，通过腐蚀玻璃的方法，使没有溅射上金属的空壳部分被腐蚀掉，最终形成类“伞型”、“Y型”半球陀螺谐振子和与其近似平行的检测电极和激励电极。本发明谐振子的表面光滑并且完全对称，利用玻璃上的金属做掩膜，省去了激光切割技术，降低了成本同时提高了精度；本发明谐振子的谐振频率、品质因数等参数更优秀，同时制备出的激励电极和检测电极能够更完美的平行于谐振子，而且减少了工艺步骤。
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