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1.

发明授权
感光性粘合剂组合物、感光性粘合剂膜和使用它们的半导体装置有权

公开(公告)号：CN102985505B

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201180033589.X

申请日：2011-06-10

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 松村和行 , 杉本香菜子 , 仁王宏之 , 稻垣力

IPC: C09J179/08 , C09J7/00 , C09J11/06 , C09J163/00 , H01L21/301 , H01L21/60 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18

CPC classification number: G03F7/031 , C08G59/68 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/1053 , C08G73/106 , C08L79/08 , C08L2312/06 , C09J163/00 , H01L21/563 , H01L23/293 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2221/68327 , H01L2224/0401 , H01L2224/05644 , H01L2224/13144 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/274 , H01L2224/27436 , H01L2224/29 , H01L2224/29101 , H01L2224/2919 , H01L2224/2929 , H01L2224/29386 , H01L2224/29388 , H01L2224/73104 , H01L2224/73204 , H01L2224/75 , H01L2224/81204 , H01L2224/83204 , H01L2224/838 , H01L2225/06513 , H01L2225/06568 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01012 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01056 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/0665 , H01L2924/1461 , H01L2924/15787 , H01L2924/15788 , C08L63/00 , H01L2924/00 , H01L2924/3512 , H01L2924/00014 , H01L2924/05341 , H01L2924/05432 , H01L2924/05442 , H01L2924/05032 , H01L2924/0503 , H01L2924/05042 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299

Abstract: 一种感光性粘合剂组合物，含有(A)具有特定结构单元且在主链的至少一末端具有特定结构的碱溶性聚酰亚胺、(B)特定结构的缩水甘油基胺型环氧化合物、(C)光聚合性化合物和(D)光聚合引发剂，其中，(A)碱溶性聚酰亚胺的玻璃化转变温度为160℃以上。本发明的感光性粘合剂组合物可通过碱性显影液形成图案，曝光后对带凹凸的基板的低温下的热压接性优异，高温时也具有高粘合强度。

2.

发明公开
感光性粘合剂组合物、感光性粘合剂膜和使用它们的半导体装置有权

公开(公告)号：CN102985505A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180033589.X

申请日：2011-06-10

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 松村和行 , 杉本香菜子 , 仁王宏之 , 稻垣力

IPC: C09J179/08 , C09J7/00 , C09J11/06 , C09J163/00 , H01L21/301 , H01L21/60 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18

CPC classification number: G03F7/031 , C08G59/68 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/1053 , C08G73/106 , C08L79/08 , C08L2312/06 , C09J163/00 , H01L21/563 , H01L23/293 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2221/68327 , H01L2224/0401 , H01L2224/05644 , H01L2224/13144 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/274 , H01L2224/27436 , H01L2224/29 , H01L2224/29101 , H01L2224/2919 , H01L2224/2929 , H01L2224/29386 , H01L2224/29388 , H01L2224/73104 , H01L2224/73204 , H01L2224/75 , H01L2224/81204 , H01L2224/83204 , H01L2224/838 , H01L2225/06513 , H01L2225/06568 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01012 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01056 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/0665 , H01L2924/1461 , H01L2924/15787 , H01L2924/15788 , C08L63/00 , H01L2924/00 , H01L2924/3512 , H01L2924/00014 , H01L2924/05341 , H01L2924/05432 , H01L2924/05442 , H01L2924/05032 , H01L2924/0503 , H01L2924/05042 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299

Abstract: 一种感光性粘合剂组合物，含有(A)具有特定结构单元且在主链的至少一末端具有特定结构的碱溶性聚酰亚胺、(B)特定结构的缩水甘油基胺型环氧化合物、(C)光聚合性化合物和(D)光聚合引发剂，其中，(A)碱溶性聚酰亚胺的玻璃化转变温度为160℃以上。本发明的感光性粘合剂组合物可通过碱性显影液形成图案，曝光后对带凹凸的基板的低温下的热压接性优异，高温时也具有高粘合强度。

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