半导体存储器件及其制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117956791A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202311394727.8

    申请日:2023-10-25

    Inventor: 李升珉

    Abstract: 本发明的半导体存储器件能够实现高性能和高集成度,并且具有在一个外围电路结构上配置包括竖直易失性存储器结构和竖直非易失性存储器结构在内的半导体管芯的效果。所提供的半导体存储器件包括:半导体衬底;后栅极结构,具有圆柱形形状并在半导体衬底上沿竖直方向延伸,并且包括后栅电极层和围绕后栅电极层的后栅极绝缘层;多个半导体图案,每个半导体图案具有围绕后栅极结构的环形水平截面,并且多个半导体图案在竖直方向上彼此间隔开;以及第一导线、第二导线和第三导线,围绕多个半导体图案中的一个半导体图案并在竖直方向上彼此间隔开。

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