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公开(公告)号：CN1584720B
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200410058480.3
申请日：2004-08-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/136 , H01L21/00 , H01L29/786
CPC classification number: H01L29/41733 , H01L27/124
Abstract: 本发明提供了一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法。在基片上形成栅极线，在栅极线上连续沉积栅极绝缘层和半导体层，在半导体层上沉积铬导电层。接着对导电层及半导体层进行光学蚀刻后，沉积钝化层，对钝化层进行光学蚀刻并露出导电层的第一部分和第二部分。接着形成覆盖导电层第一部分的像素电极，同时除去导电层的第二部分，完成由导电层组成的数据线及与像素电极连接的漏极，露出源极及漏极之间的半导体层的一部分。接着在半导体层露出部分之上形成间隔柱。
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公开(公告)号：CN1575525B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN02820938.9
申请日：2002-02-20
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L21/84 , H01L27/12 , G02F1/133
CPC classification number: G02F1/13458 , G02F1/136227 , G02F1/136286 , G02F2001/136236 , H01L27/124 , H01L27/1244 , H01L27/1288 , H01L29/66765
Abstract: 本发明涉及一种制造用于液晶显示器的薄膜晶体管阵列基片的方法。在该方法中，在基片上形成包括栅极线、栅极、和栅极衬垫的横向栅极布线。然后，形成栅极绝缘层，在其上部顺次形成半导体层及欧姆接触层。接着，将导电层沉积在基片上，并制作布线图案形成包括与栅极线交叉的数据线、源极、漏极、和数据衬垫的数据布线。接着，将保护层和有机绝缘层沉积在基片上。将有机绝缘层进行曝光和显像，从而形成分别露出漏极、栅极衬垫、及数据衬垫上部保护层的接触孔。接着，将有机绝缘层作为掩膜蚀刻露出的保护层，露出漏极、栅极衬垫以及数据衬垫。接着，通过固化收缩或回流有机绝缘层，以便在接触区域除去底切结构。在固化步骤之前抛光有机绝缘层。接着，将ITO或IZO沉积在有机绝缘层上，并制作布线图案以形成分别与漏极、栅极衬垫、及数据衬垫连接的像素电极、辅助栅极衬垫及辅助数据衬垫。
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公开(公告)号：CN1584720A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410058480.3
申请日：2004-08-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/136 , H01L21/00 , H01L29/786
CPC classification number: H01L29/41733 , H01L27/124
Abstract: 本发明提供了一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法。在基片上形成栅极线，在栅极线上连续沉积栅极绝缘层和半导体层，在半导体层上沉积铬导电层。接着对导电层及半导体层进行光学蚀刻后，沉积钝化层，对钝化层进行光学蚀刻并露出导电层的第一部分和第二部分。接着形成覆盖导电层第一部分的像素电极，同时除去导电层的第二部分，完成由导电层组成的数据线及与像素电极连接的漏极，露出源极及漏极之间的半导体层的一部分。接着在半导体层露出部分之上形成间隔柱。
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公开(公告)号：CN1575525A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN02820938.9
申请日：2002-02-20
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/786
CPC classification number: G02F1/13458 , G02F1/136227 , G02F1/136286 , G02F2001/136236 , H01L27/124 , H01L27/1244 , H01L27/1288 , H01L29/66765
Abstract: 本发明涉及一种制造用于液晶显示器的薄膜晶体管阵列基片的方法。在该方法中，在基片上形成包括栅极线、栅极、和栅极衬垫的横向栅极布线。然后，形成栅极绝缘层，在其上部顺次形成半导体层及欧姆接触层。接着，将导电层沉积在基片上，并制作布线图案形成包括与栅极线交叉的数据线、源极、漏极、和数据衬垫的数据布线。接着，将保护层和有机绝缘层沉积在基片上。将有机绝缘层进行曝光和显像，从而形成分别露出漏极、栅极衬垫、及数据衬垫上部保护层的接触孔。接着，将有机绝缘层作为掩膜蚀刻露出的保护层，露出漏极、栅极衬垫、以及数据衬垫。接着，通过固化收缩或回流有机绝缘层，以便在接触区域除去底切结构。在固化步骤之前抛光有机绝缘层。接着，将ITO或IZO沉积在有机绝缘层上，并制作布线图案以形成分别与漏极、栅极衬垫、及数据衬垫连接的像素电极、辅助栅极衬垫、及辅助数据衬垫。
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公开(公告)号：CN100424573C
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200410062409.2
申请日：2004-07-02
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/136 , H01L29/786 , H01L21/00
CPC classification number: H01L27/12 , G02F1/13458 , G02F1/136286 , G02F1/1368 , G02F2001/136231 , G02F2001/13629 , H01L27/124 , H01L27/1288
Abstract: 本发明涉及一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法，包括以下工序：在基片上形成栅极线；在栅极线上连续沉积栅极绝缘层和半导体层；在半导体层上沉积下部导电层和上部导电层；光学蚀刻上部导电层、下部导电层、及半导体层；沉积钝化层；光学蚀刻钝化层露出上部导电层第一部分和第二部分；除去上部导电层第一及第二部分，露出下部导电层第一部分和第二部分；形成覆盖下部导电层第一部分的像素电极；除去下部导电层第二部分，露出半导体层一部分；在半导体层露出部分上形成间隔材料支柱。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100392506C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200410057090.4
申请日：2004-08-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/136 , H01L29/786 , H01L21/00 , G02F1/133
CPC classification number: G02F1/1368 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供了一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法，包括以下工序：在基片上形成栅极线；在栅极线上依次沉积栅极绝缘层和半导体层；在半导体层上依次沉积下层导电薄膜和上层导电薄膜；光蚀刻上层导电薄膜、下层导电薄膜、和半导体层；沉积钝化层；光蚀刻钝化层以露出上层导电薄膜的第一和第二部分；除去上层导电薄膜的第一和第二部分以露出下层导电薄膜的第一和第二部分；形成像素电极和一对分别在下层导电薄膜第一和第二部分上的冗余电极，冗余电极露出下层导电薄膜第二部分的一部分；除去下层导电薄膜第二部分的露出部分以露出半导体层的一部分；以及在半导体层的露出部分上形成柱状隔离物。
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公开(公告)号：CN1982952A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200610172967.3
申请日：2006-11-24
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 全相镇
CPC classification number: G09G3/006 , G02F2001/136254 , G09G3/3406 , G09G2300/04
Abstract: 一种显示基板包括多条栅极线、多条数据线、栅极信号输入单元、第一测试单元以及第一伪开关单元。栅极线沿第一方向延伸。数据线沿与第一方向交叉的第二方向延伸。栅极信号输入单元形成在各条栅极线的第一端以将栅极信号施加于栅极线。第一测试单元形成在各条栅极线与第一端相反的第二端以将第一测试信号施加于栅极线。第一伪开关单元形成在栅极信号输入单元和第一测试单元之间并将第一测试信号传递到栅极线。
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公开(公告)号：CN101246672A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200710166492.1
申请日：2007-11-20
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 全相镇
CPC classification number: G09G3/3677 , G09G2300/0426 , G09G2310/0286 , G09G2310/08 , G09G2320/0223 , G11C19/184
Abstract: 一种显示设备，包括具有第一、第二、第三、和第四栅极驱动器的驱动装置。第一和第二栅极驱动器连接至栅极线并且并列地放置在显示设备的一侧上。第三和第四栅极驱动器连接至栅极线并且并列地放置在显示设备的另一侧上。第一和第三栅极驱动器将栅极信号施加至相同的栅极线，以及第二和第四栅极驱动器将栅极信号施加至相同的栅极线。
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公开(公告)号：CN101201518A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710198617.9
申请日：2007-12-11
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1362 , G02F1/133 , G09G3/36
Abstract: 本发明公开了一种液晶显示器和双栅极驱动电路，其中，信号线的数量由于共享起始脉冲和伪级的输出信号而减少。液晶显示器包括：定时控制器，响应于外部输入信号产生输出使能信号、栅极时钟和单一起始信号；电平移位器，响应于输出使能信号和栅极时钟产生栅极时钟脉冲和栅极时钟条脉冲，并响应于起始信号和栅极时钟产生单一起始脉冲；以及第一栅极驱动电路和第二栅极驱动电路，响应于单一起始脉冲，输出栅极时钟脉冲或栅极时钟条脉冲作为提供给多条栅极线的栅极驱动信号。
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公开(公告)号：CN1580917A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410062409.2
申请日：2004-07-02
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/136 , H01L29/786 , H01L21/00
CPC classification number: H01L27/12 , G02F1/13458 , G02F1/136286 , G02F1/1368 , G02F2001/136231 , G02F2001/13629 , H01L27/124 , H01L27/1288
Abstract: 本发明涉及一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法，包括以下工序：在基片上形成栅极线；在栅极线上连续沉积栅极绝缘层和半导体层；在半导体层上沉积下部导电层和上部导电层；光学蚀刻上部导电层、下部导电层、及半导体层；沉积钝化层；光学蚀刻钝化层露出上部导电层第一部分和第二部分；除去上部导电层第一及第二部分，露出下部导电层第一部分和第二部分；形成覆盖下部导电层第一部分的像素电极；除去下部导电层第二部分，露出半导体层一部分；在半导体层露出部分上形成间隔材料支柱。
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