发明公开
- 专利标题: 用于测试三维存储器设备的结构和方法
- 专利标题(英): STRUCTURE AND METHOD FOR TESTING THREE-DIMENSIONAL MEMORY DEVICE
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申请号: CN201880005231.8申请日: 2018-03-01
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公开(公告)号: CN110088899A公开(公告)日: 2019-08-02
- 发明人: 金钟俊 , 潘锋 , 李钟硕 , 吕震宇 , 李勇娜 , 宋立东 , 金允哲 , S·W·杨 , S·S-N·杨
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京永新同创知识产权代理有限公司
- 代理商 林锦辉
- 优先权: 201710134368.0 2017.03.08 CN
- 国际申请: PCT/CN2018/077754 2018.03.01
- 国际公布: WO2018/161841 EN 2018.09.13
- 进入国家日期: 2019-06-20
- 主分类号: H01L27/11548
- IPC分类号: H01L27/11548 ; H01L27/11551 ; H01L27/11575 ; H01L27/11578 ; H01L21/66
摘要:
公开了用于测试三维(3D)存储器设备的结构和方法。3D存储器设备(100)包括存储器阵列结构(102)、外围设备结构(104)、与存储器阵列结构(102)的正面和外围设备结构(104)的正面相接触的互连层(106)、以及位于存储器阵列结构(102)的背面并且与存储器阵列结构(102)重叠的导电衬垫。存储器阵列结构(102)包括存储器阵列堆叠(109)、垂直延伸穿过至少一部分存储器阵列堆叠(109)的贯穿阵列接触(TAC)(110)、以及存储器阵列接触(112)。外围设备结构(104)包括测试电路(126)。互连层(106)包括互连结构(116、124)。导电衬垫(108)、TAC(110)、互连结构(116、124)、以及测试电路(126)与存储器阵列接触(112)中的至少一者是电连接的。
公开/授权文献
- CN110088899B 用于测试三维存储器设备的结构和方法 公开/授权日:2020-06-26
IPC分类: