公开(公告)号：US07589452B2

公开(公告)日：2009-09-15

申请号：US11574904

申请日：2005-08-18

申请人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rösler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H03H9/25

CPC分类号： H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

摘要： Elements and methods for forming elements that operate with acoustic waves are disclosed. The element includes a piezoelectric electric substrate that has a first thermal coefficient of expansion, electrically conducting element structures on an upper side of the substrate, a compensation layer on an underside of the substrate, and an SiO2 layer over the element structures.

摘要翻译： 公开了用于形成用声波操作的元件的元件和方法。 元件包括具有第一热膨胀系数的压电基板，在基板的上侧上的导电元件结构，在基板的下侧上的补偿层，以及元件结构上的SiO 2层。

公开(公告)号：US20100134211A1

公开(公告)日：2010-06-03

申请号：US12640097

申请日：2009-12-17

申请人： Werner Ruile ,  Clemens Ruppel

发明人： Werner Ruile ,  Clemens Ruppel

IPC分类号： H03H9/64 ,  H03H9/54

CPC分类号： H03H9/1452 ,  H03H9/02669 ,  H03H9/02685

摘要： A transversal filter operates using surface acoustic waves and has a piezoelectric substrate and an acoustic track that is arranged on the substrate and in which a first transducer and a second transducer are arranged. Each transducer has electrode fingers. A function, which characterizes the weighting of the overlap length of electrode fingers of different polarity in the second transducer, has a half main lobe and at least one side lobe. The amplitude of the lobes decreases monotonally in a direction that points to the first transducer.

摘要翻译： 横向滤波器使用表面声波进行操作，并且具有布置在基板上并且布置有第一换能器和第二换能器的压电基板和声轨。 每个换能器都有电极指。 表征第二换能器中不同极性的电极指的重叠长度的加权的功能具有半主瓣和至少一个旁瓣。 波瓣的振幅在指向第一换能器的方向上单调减小。

公开(公告)号：US07978026B2

公开(公告)日：2011-07-12

申请号：US12640097

申请日：2009-12-17

申请人： Werner Ruile ,  Clemens Ruppel

发明人： Werner Ruile ,  Clemens Ruppel

IPC分类号： H03H9/64 ,  H03H9/145

CPC分类号： H03H9/1452 ,  H03H9/02669 ,  H03H9/02685

摘要： A transversal filter operates using surface acoustic waves and has a piezoelectric substrate and an acoustic track that is arranged on the substrate and in which a first transducer and a second transducer are arranged. Each transducer has electrode fingers. A function, which characterizes the weighting of the overlap length of electrode fingers of different polarity in the second transducer, has a half main lobe and at least one side lobe. The amplitude of the lobes decreases monotonally in a direction that points to the first transducer.

摘要翻译： 横向滤波器使用表面声波进行操作，并且具有布置在基板上并且布置有第一换能器和第二换能器的压电基板和声轨。 每个换能器都有电极指。 表征第二换能器中不同极性的电极指的重叠长度的加权的功能具有半主瓣和至少一个旁瓣。 波瓣的振幅在指向第一换能器的方向上单调减小。

公开(公告)号：US20070296306A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：US11574904

申请日：2005-08-18

申请人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rosler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

发明人： Markus Hauser ,  Ulrich Knauer ,  Anton Leidl ,  Evelyn Riha ,  Gerd Riha ,  Ulrike Rosler ,  Werner Ruile ,  Clemens Ruppel ,  Gerd Scholl ,  Ulrich Wolff

IPC分类号： H03H3/10 ,  H01L41/083 ,  H03H9/02 ,  H03H9/08

CPC分类号： H03H9/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/02984

摘要： Elements and methods for forming elements that operate with acoustic waves are disclosed. The element includes a piezoelectric electric substrate that has a first thermal coefficient of expansion, electrically conducting element structures on an upper side of the substrate, a compensation layer on an underside of the substrate, and an SiO2 layer over the element structures.

摘要翻译： 公开了用于形成用声波操作的元件的元件和方法。 该元件包括具有第一热膨胀系数的压电基片，在该基片的上侧上的导电元件结构，该基片的下侧上的补偿层和一层SiO 2层 元素结构。

公开(公告)号：US08258895B2

公开(公告)日：2012-09-04

申请号：US12094710

申请日：2006-11-15

申请人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler

发明人： Werner Ruile ,  Ulrike Roesler

IPC分类号： H03H9/00

CPC分类号： H03H9/0222

摘要： An electroacoustic component includes a carrier substrate and a piezosubstrate having piezoelectric properties. The electroacoustic component also includes a layer system between the carrier substrate and the piezosubstrate.

摘要翻译： 电声部件包括载体基板和具有压电特性的压电基板。 电声组件还包括在载体衬底和压电衬底之间的层系统。

公开(公告)号：US08110962B2

公开(公告)日：2012-02-07

申请号：US12642357

申请日：2009-12-18

申请人： Christian Bauer ,  Hans Krueger ,  Werner Ruile ,  Alois Stelzl

发明人： Christian Bauer ,  Hans Krueger ,  Werner Ruile ,  Alois Stelzl

IPC分类号： H01L29/84

CPC分类号： H03H9/02866 ,  H03H9/14538

摘要： A MEMS component includes a chip that has a rear side having a low roughness of less than one tenth of the wavelength at the center frequency of an acoustic wave propagating in the component. Metallic structures for scattering bulk acoustic waves are provided on the rear side of the chip and a material of the metallic structures is acoustically matched to a material of the chip.

摘要翻译： MEMS部件包括芯片，该芯片的后侧具有小于在部件中传播的声波的中心频率处波长的十分之一的粗糙度。 用于散射体声波的金属结构设置在芯片的后侧，并且金属结构的材料与芯片的材料声学匹配。

公开(公告)号：US20110266917A1

公开(公告)日：2011-11-03

申请号：US12771407

申请日：2010-04-30

申请人： Thomas Metzger ,  Christoph Eggs ,  Werner Ruile

发明人： Thomas Metzger ,  Christoph Eggs ,  Werner Ruile

IPC分类号： H01L41/04 ,  H01L41/22

CPC分类号： H03H9/02228 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02086 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/0514 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/0557 ,  H03H9/582 ,  Y10T29/42

摘要： Guided bulk acoustic wave devices and method for manufacturing guided bulk acoustic wave devices are provided. A guided bulk acoustic wave device includes a resonator structure with a piezoelectric layer, an electrode layer for exciting guided bulk acoustic waves and a wave guide layer. The thickness of the piezoelectric layer is less than or equal to 50 μm.

摘要翻译： 提供引导体声波装置及制造引导体声波装置的方法。 引导体声波器件包括具有压电层的谐振器结构，用于激发被引导的体声波的电极层和波导层。 压电层的厚度小于或等于50μm。

公开(公告)号：US07948333B2

公开(公告)日：2011-05-24

申请号：US12093531

申请日：2006-11-20

申请人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ulrike Roesler

发明人： Werner Ruile ,  Markus Hauser ,  Ulrike Roesler

IPC分类号： H03H9/02 ,  H01L41/08

CPC分类号： H03H9/0222 ,  H03H3/02

摘要： A component working with guided acoustic waves includes a layer system configured to guide waves in a lateral plane. The layer system includes a piezoelectric layer, electrodes on the piezoelectric layer for exciting the wave, a dielectric layer with an acoustic impedance, and an adjustment layer with an acoustic impedance. A ratio of the acoustic impedance of the adjustment layer to the acoustic impedance of the dielectric layer is greater than 1.5.

摘要翻译： 使用引导声波的部件包括被配置为在横向平面中引导波的层系统。 层系统包括压电层，用于激发波的压电层上的电极，具有声阻抗的介电层和具有声阻抗的调节层。 调整层的声阻抗与电介质层的声阻抗之比大于1.5。

公开(公告)号：US20100225201A1

公开(公告)日：2010-09-09

申请号：US12161420

申请日：2007-01-24

申请人： Ulrike Roesler ,  Jaroslaw Konopka ,  Werner Ruile

发明人： Ulrike Roesler ,  Jaroslaw Konopka ,  Werner Ruile

IPC分类号： H01L41/04 ,  H01L41/18 ,  H01L41/053

CPC分类号： H03H9/0222 ,  H03H9/02559

摘要： An electroacoustic component that includes a substrate made of monocrystalline LiNbO3 is disclosed. In the component, a first Euler angle λ of the monocrystalline LiNbO3 is: λ≈0°, a second Euler angle μ of the monocrystalline LiNbO3 is: −74°≦μ≦−52° or 23°≦μ≦36°, and a third Euler angle θ of the monocrystalline LiNbO3 is: θ≈0°.

摘要翻译： 公开了一种包括由单晶LiNbO 3制成的衬底的电声部件。 在该组件中，单晶LiNbO 3的第一欧拉角λ为：λ≈0°，单晶LiNbO 3的第二欧拉角μ为：-74°＆lt; nlE;μ＆nlE; -52°或23°＆nlE;μ＆nlE; 36° ，和第三个欧拉角＆thetas; 的单晶LiNbO3是：＆amp; t;≈0°。

公开(公告)号：US20090255337A1

公开(公告)日：2009-10-15

申请号：US12438251

申请日：2007-08-07

申请人： Werner Ruile ,  Anton Leidl

发明人： Werner Ruile ,  Anton Leidl

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01C19/5698

摘要： A rotating motion sensor includes at least one electroacoustic resonator to stimulate a surface acoustic wave. The at least one electroacoustic resonator is configured so that rotation of the at least one electroacoustic resonator about an axis of rotation causes a change in resonance frequency of the at least one electroacoustic resonator. The at least one electroacoustic resonator includes oscillating structures configured to oscillate in a first direction that is a direction of propagation of the surface acoustic wave and/or a second direction that is transverse to the direction of propagation of the surface acoustic wave.

摘要翻译： 旋转运动传感器包括至少一个电声谐振器以刺激表面声波。 至少一个电声谐振器被配置成使得至少一个电声谐振器围绕旋转轴的旋转引起至少一个电声谐振器的谐振频率的变化。 所述至少一个电声谐振器包括构造成在作为所述表面声波的传播方向的第一方向和/或横向于所述声表面波的传播方向的第二方向振荡的振荡结构。