公开(公告)号：US20060213289A1

公开(公告)日：2006-09-28

申请号：US11089165

申请日：2005-03-24

申请人： Kevin Kjoller ,  Ami Chand ,  Nihat Okulan

发明人： Kevin Kjoller ,  Ami Chand ,  Nihat Okulan

IPC分类号： G01B5/28 ,  G01D21/00

CPC分类号： G01Q60/38 ,  B82Y35/00

摘要： A probe assembly for an instrument and a method of manufacture includes a substrate and a cantilever having a length independent of typical alignment error during fabrication. In one embodiment, the probe assembly includes a buffer section interposed between the substrate and the cantilever. The cantilever extends from the buffer section and a portion of the buffer section extends beyond an edge of the substrate. The portion of the buffer section is more stiff than the cantilever. The corresponding method of producing the probe assembly facilitates batch fabrication without compromising probe performance.

摘要翻译： 用于仪器的探针组件和制造方法包括在制造期间具有独立于典型对准误差的长度的基底和悬臂。 在一个实施例中，探针组件包括介于基底和悬臂之间的缓冲部分。 悬臂从缓冲部分延伸，并且缓冲部分的一部分延伸超过基底的边缘。 缓冲部分的部分比悬臂更硬。 生产探针组件的相应方法有利于批量制作而不损害探针性能。

公开(公告)号：US07370515B2

公开(公告)日：2008-05-13

申请号：US10873064

申请日：2004-06-21

申请人： Nihat Okulan ,  Ami Chand

发明人： Nihat Okulan ,  Ami Chand

IPC分类号： G01B5/28

CPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/10 ,  Y10T29/49004 ,  Y10T29/49007

摘要： Probes for use in a scanning probe microscope and methods of manufacturing such probes. Each probe includes a probe tip having a substantially vertical sidewall formed by an anisotropic etching process and a flared post underlying the probe tip that is formed by an etching process that is not anisotropic. A source gas comprising a bromine-containing gas and an oxygen-containing gas is used to etch the probe tip and flared post of the probe in a batch process. The probe tips may be qualified using any suitable criterion for use by a customer in an atomic force microscope without individual inspection.

摘要翻译： 用于扫描探针显微镜的探针及其制造方法。 每个探针包括具有通过各向异性蚀刻工艺形成的基本上垂直的侧壁的探针尖端和通过不是各向异性的蚀刻工艺形成的探针尖端下方的扩口柱。 使用包含含溴气体和含氧气体的源气体以间歇方式蚀刻探针尖端和探针的扩口柱。 探针尖端可以使用任何合适的标准进行鉴定，供客户在原子力显微镜中使用，无需个人检查。

公开(公告)号：US20050279729A1

公开(公告)日：2005-12-22

申请号：US10873064

申请日：2004-06-21

申请人： Nihat Okulan ,  Ami Chand

发明人： Nihat Okulan ,  Ami Chand

IPC分类号： B82B3/00 ,  C23F1/00 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/16 ,  G12B21/08

CPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/10 ,  Y10T29/49004 ,  Y10T29/49007

摘要： Probes for use in a scanning probe microscope and methods of manufacturing such probes. Each probe includes a probe tip having a substantially vertical sidewall formed by an anisotropic etching process and a flared post underlying the probe tip that is formed by an etching process that is not anisotropic. A source gas comprising a bromine-containing gas and an oxygen-containing gas is used to etch the probe tip and flared post of the probe in a batch process. The probe tips may be qualified using any suitable criterion for use by a customer in an atomic force microscope without individual inspection.

摘要翻译： 用于扫描探针显微镜的探针和制造这种探针的方法。 每个探针包括具有通过各向异性蚀刻工艺形成的基本上垂直的侧壁的探针尖端和通过不是各向异性的蚀刻工艺形成的探针尖端下方的扩口柱。 使用包含含溴气体和含氧气体的源气体以间歇方式蚀刻探针尖端和探针的扩口柱。 探针尖端可以使用任何合适的标准进行鉴定，供客户在原子力显微镜中使用，无需个人检查。

公开(公告)号：US20050252282A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：US10844200

申请日：2004-05-12

申请人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

发明人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

IPC分类号： G01B5/28 ,  G01Q10/00 ,  G01Q40/00 ,  G01Q40/02

CPC分类号： G01Q40/02

摘要： A characterizer for determining the shape of a probe tip for an atomic force microscope and methods of fabricating and using the characterizer. The characterizer includes a micromachined crystalline structure with opposed edges separated by a width suitable for characterizing a dimension of the probe tip. At least one of the opposed edges overhangs an undercut region of the micromachined crystalline structure by an overhang distance that is greater than one third of the width. The probe tip is scanned across the edges of the characterizer for shape determination. The characterizer is formed by serially deep reactive ion etching and anisotropic etching (100) single crystal silicon. The opposed edges may be oxidation sharpened for use in profiling a bottom surface of the probe tip.

摘要翻译： 用于确定原子力显微镜的探针尖端的形状的表征器以及制造和使用该表征器的方法。 表征器包括微加工的晶体结构，其具有由适合于表征探针尖端的尺寸的宽度分开的相对边缘。 相对的边缘中的至少一个通过超过宽度的三分之一的伸出距离伸出微加工结晶结构的底切区域。 探针尖端扫描在表征器的边缘以进行形状确定。 表征器通过串联深反应离子蚀刻和各向异性蚀刻（100）单晶硅形成。 相对的边缘可以被氧化锐化以用于对探针末端的底表面进行成形。

公开(公告)号：US07210330B2

公开(公告)日：2007-05-01

申请号：US11466908

申请日：2006-08-24

申请人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

发明人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

IPC分类号： G01B21/30

CPC分类号： G01Q40/02

摘要： A characterizer for determining the shape of a probe tip for an atomic force microscope and methods of fabricating and using the characterizer. The characterizer includes a micromachined crystalline structure with opposed edges separated by a width suitable for characterizing a dimension of the probe tip. At least one of the opposed edges overhangs an undercut region of the micromachined crystalline structure by an overhang distance that is greater than one third of the width. The probe tip is scanned across the edges of the characterizer for shape determination. The characterizer is formed by serially deep reactive ion etching and anisotropic etching (100) single crystal silicon. The opposed edges may be oxidation sharpened for use in profiling an end or side of the probe tip.

摘要翻译： 用于确定原子力显微镜的探针尖端的形状的表征器以及制造和使用该表征器的方法。 表征器包括微加工的晶体结构，其具有由适合于表征探针尖端的尺寸的宽度分开的相对边缘。 相对的边缘中的至少一个通过超过宽度的三分之一的伸出距离伸出微加工结晶结构的底切区域。 探针尖端扫描在表征器的边缘以进行形状确定。 表征器通过串联深反应离子蚀刻和各向异性蚀刻（100）单晶硅形成。 相对的边缘可以被氧化锐化以用于对探针尖端的端部或侧面进行成形。

公开(公告)号：US20060277972A1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：US11466908

申请日：2006-08-24

申请人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

发明人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

IPC分类号： G01N13/16 ,  G01B5/28 ,  G12B21/08

CPC分类号： G01Q40/02

摘要： A characterizer for determining the shape of a probe tip for an atomic force microscope and methods of fabricating and using the characterizer. The characterizer includes a micromachined crystalline structure with opposed edges separated by a width suitable for characterizing a dimension of the probe tip. At least one of the opposed edges overhangs an undercut region of the micromachined crystalline structure by an overhang distance that is greater than one third of the width. The probe tip is scanned across the edges of the characterizer for shape determination. The characterizer is formed by serially deep reactive ion etching and anisotropic etching (100) single crystal silicon. The opposed edges may be oxidation sharpened for use in profiling an end or side of the probe tip.

摘要翻译： 用于确定原子力显微镜的探针尖端的形状的表征器以及制造和使用该表征器的方法。 表征器包括微加工的晶体结构，其具有由适合于表征探针尖端的尺寸的宽度分开的相对边缘。 相对的边缘中的至少一个通过超过宽度的三分之一的伸出距离伸出微加工结晶结构的底切区域。 探针尖端扫描在表征器的边缘以进行形状确定。 表征器通过串联深反应离子蚀刻和各向异性蚀刻（100）单晶硅形成。 相对的边缘可以被氧化锐化以用于对探针尖端的端部或侧面进行成形。

公开(公告)号：US08857247B2

公开(公告)日：2014-10-14

申请号：US12123363

申请日：2008-05-19

申请人： Kevin J. Kjoller ,  Ami Chand ,  Nihat Okulan

发明人： Kevin J. Kjoller ,  Ami Chand ,  Nihat Okulan

IPC分类号： G01D21/00 ,  G01Q60/38 ,  B82Y35/00

CPC分类号： G01Q60/38 ,  B82Y35/00

摘要： A probe assembly for an instrument and a method of manufacture includes a substrate and a cantilever having a length that is independent of typical alignment error during fabrication. In one embodiment, the probe assembly includes a buffer section interposed between the substrate and the cantilever. The cantilever extends from the buffer section and a portion of the buffer section extends beyond an edge of the substrate. The portion of the buffer section is more stiff than the cantilever. The corresponding method of producing the probe assembly facilitates batch fabrication without compromising probe performance.

摘要翻译： 用于仪器的探针组件和制造方法包括在制造期间具有独立于典型对准误差的长度的衬底和悬臂。 在一个实施例中，探针组件包括介于基底和悬臂之间的缓冲部分。 悬臂从缓冲部分延伸，并且缓冲部分的一部分延伸超过基底的边缘。 缓冲部分的部分比悬臂更硬。 生产探针组件的相应方法有利于批量制作而不损害探针性能。

公开(公告)号：US20080282819A1

公开(公告)日：2008-11-20

申请号：US12123363

申请日：2008-05-19

申请人： Kevin J. Kjoller ,  Ami Chand ,  Nihat Okulan

发明人： Kevin J. Kjoller ,  Ami Chand ,  Nihat Okulan

IPC分类号： G01D21/00 ,  G01B5/28

CPC分类号： G01Q60/38 ,  B82Y35/00

摘要： A probe assembly for an instrument and a method of manufacture includes a substrate and a cantilever having a length that is independent of typical alignment error during fabrication. In one embodiment, the probe assembly includes a buffer section interposed between the substrate and the cantilever. The cantilever extends from the buffer section and a portion of the buffer section extends beyond an edge of the substrate. The portion of the buffer section is more stiff than the cantilever. The corresponding method of producing the probe assembly facilitates batch fabrication without compromising probe performance.

摘要翻译： 用于仪器的探针组件和制造方法包括在制造期间具有独立于典型对准误差的长度的衬底和悬臂。 在一个实施例中，探针组件包括介于基底和悬臂之间的缓冲部分。 悬臂从缓冲部分延伸，并且缓冲部分的一部分延伸超过基底的边缘。 缓冲部分的部分比悬臂更硬。 生产探针组件的相应方法有利于批量制作而不损害探针性能。

公开(公告)号：US07096711B2

公开(公告)日：2006-08-29

申请号：US10844200

申请日：2004-05-12

申请人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

发明人： Ami Chand ,  Nihat Okulan

IPC分类号： G01B21/30

CPC分类号： G01Q40/02

摘要： A characterizer for determining the shape of a probe tip for an atomic force microscope and methods of fabricating and using the characterizer. The characterizer includes a micromachined crystalline structure with opposed edges separated by a width suitable for characterizing a dimension of the probe tip. At least one of the opposed edges overhangs an undercut region of the micromachined crystalline structure by an overhang distance that is greater than one third of the width. The probe tip is scanned across the edges of the characterizer for shape determination. The characterizer is formed by serially deep reactive ion etching and anisotropic etching (100) single crystal silicon. The opposed edges may be oxidation sharpened for use in profiling a bottom surface of the probe tip.

摘要翻译： 用于确定原子力显微镜的探针尖端的形状的表征器以及制造和使用该表征器的方法。 表征器包括微加工的晶体结构，其具有由适合于表征探针尖端的尺寸的宽度分开的相对边缘。 相对的边缘中的至少一个通过超过宽度的三分之一的伸出距离伸出微加工结晶结构的底切区域。 探针尖端扫描在表征器的边缘以进行形状确定。 表征器通过串联深反应离子蚀刻和各向异性蚀刻（100）单晶硅形成。 相对的边缘可以被氧化锐化以用于对探针末端的底表面进行成形。

公开(公告)号：US20060243034A1

公开(公告)日：2006-11-02

申请号：US11382438

申请日：2006-05-09

申请人： Ami Chand ,  Kevin Kjoller ,  Kenneth Babcock ,  Michael Harris

发明人： Ami Chand ,  Kevin Kjoller ,  Kenneth Babcock ,  Michael Harris

IPC分类号： B23Q17/09

CPC分类号： G01Q70/16 ,  G01B5/28 ,  G01D5/26 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04 ,  G01Q10/06 ,  G01Q70/02 ,  G01Q70/08 ,  G01Q80/00

摘要： A method and apparatus for manipulating the surface of a sample including a cantilever, a first tip mounted on the cantilever, and a second tip mounted on the cantilever, the first and the second tip being configured to combine to form an imaging probe and to separate to form a manipulation probe. The first and second tips are configured to form a first position characterized in that the tips combine to form an imaging tip and the first and the second tip are configured to form a second position characterized in that the tips separate to manipulate particles on a surface of a sample. The tips can be configured to form the first position when a voltage is applied across the tips, and preferable extend downwardly from the cantilever substantially perpendicular thereto.

摘要翻译： 一种用于操纵样品表面的方法和装置，包括悬臂，安装在悬臂上的第一尖端和安装在悬臂上的第二尖端，第一和第二尖端构造成组合以形成成像探针并分离 以形成操纵探针。 第一和第二尖端被配置成形成第一位置，其特征在于，所述尖端组合以形成成像尖端，并且所述第一和第二末端被配置成形成第二位置，其特征在于，所述尖端分离以操纵颗粒在 一个样品。 当跨越尖端施加电压时，尖端可被配置成形成第一位置，并且优选地从基本垂直于其的悬臂向下延伸。