公开(公告)号：US20150273365A1

公开(公告)日：2015-10-01

申请号：US14432741

申请日：2013-09-30

Applicant: ENTEGRIS, INC.

Inventor： Marc Laverdiere ,  Hirokazu Kuwabara ,  Koichi Kurata ,  John P. Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Louis Barrows, JR. ,  Kalyan Madhavaram ,  Dmitri Menn ,  J. Karl Niermeyer ,  Craig Wallace Martland

IPC: B01D29/52 ,  F16L19/025 ,  B01D63/14

CPC classification number: B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

Abstract: The present disclosure relates to modular purification systems using removable purifier cassettes for purifying liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A purification system may include a removable purifier cassette having a purifier inlet port and a purifier outlet port, and a manifold assembly. The manifold assembly can include a plurality of connection systems to that provide manifold ports to provide fluid to/from the cassette. In some embodiments, the connection systems may use connection nuts that can provide 360 degrees of thread engagement with less than 360 degrees of rotation.

Abstract translation: 本公开涉及使用可移除净化器盒的模块化净化系统，用于净化液体，包括例如用于半导体制造的液体。 净化系统可以包括具有净化器入口和净化器出口以及歧管组件的可移除净化器盒。 歧管组件可以包括多个连接系统，以提供歧管端口以向/从盒提供流体。 在一些实施例中，连接系统可以使用能够以小于360度旋转提供360度螺纹啮合的连接螺母。

公开(公告)号：US20140091027A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：US14043620

申请日：2013-10-01

Applicant: Entegris, Inc.

Inventor： Marc Laverdiere ,  Hirokazu Kuwabara ,  Koichi Kurata ,  John P. Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Louis Barrows, JR. ,  Kalyan Madhavaram ,  Dmitri Menn ,  J. Karl Niermeyer

IPC: B01D29/52

CPC classification number: B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

Abstract: The present disclosure relates to purification cassettes that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette with tensions members. A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members can divide the media cavity into a plurality of lanes.

Abstract translation: 本公开涉及具有增强特征的净化盒。 一个实施方案涉及具有张力构件的净化盒。 净化系统可以包括限定介质腔的可拆卸盒。 一组张力构件可以跨越第一侧壁和第二侧壁之间。 一组张力构件可将介质腔分成多个通道。

公开(公告)号：US09468872B2

公开(公告)日：2016-10-18

申请号：US14432741

申请日：2013-09-30

Applicant: Entegris, Inc.

Inventor： Marc Laverdiere ,  Hirokazu Kuwabara ,  Koichi Kurata ,  John P. Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Louis Barrows, Jr. ,  Kalyan Madhavaram ,  Dmitri Menn ,  J. Karl Niermeyer ,  Craig Wallace Martland

IPC: B01D29/52 ,  F16L19/02 ,  B25B17/02 ,  F16L19/00 ,  F16L19/025 ,  B01D65/00 ,  B01D63/14

CPC classification number: B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

Abstract: The present disclosure relates to modular purification systems using removable purifier cassettes for purifying liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A purification system may include a removable purifier cassette having a purifier inlet port and a purifier outlet port, and a manifold assembly. The manifold assembly can include a plurality of connection systems to that provide manifold ports to provide fluid to/from the cassette. In some embodiments, the connection systems may use connection nuts that can provide 360 degrees of thread engagement with less than 360 degrees of rotation.

Abstract translation: 本公开涉及使用可移除净化器盒的模块化净化系统，用于净化液体，包括例如用于半导体制造的液体。 净化系统可以包括具有净化器入口和净化器出口以及歧管组件的可移除净化器盒。 歧管组件可以包括多个连接系统，以提供歧管端口以向/从盒提供流体。 在一些实施例中，连接系统可以使用能够以小于360度旋转提供360度螺纹啮合的连接螺母。

公开(公告)号：US20150247595A1

公开(公告)日：2015-09-03

申请号：US14432740

申请日：2013-09-30

Applicant: ENTEGRIS, INC.

Inventor： Marc Laverdiere ,  John P. Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Kalyan Madhavaram ,  Craig Wallace Martland ,  Dmitri Menn ,  J. Karl Niermeyer

IPC: F16L19/00

CPC classification number: B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

Abstract: This disclosure relates to connection systems for fluid connections. Even more particularly, some embodiments relate to fluid connections for use with semiconductor manufacturing fluids. The connection system uses a connection nut (110) that seals fluid fittings (112, 114) with less than 360 degrees of rotation of the connection nut by making use of multi-start threads in the nut (110). According to one embodiment, the connection nut creates at least 360 degrees of threaded engagement with less than 360 degrees of rotation. Embodiments further provide connection systems that can seal multiple ports simultaneously.

Abstract translation: 本公开涉及用于流体连接的连接系统。 更具体地，一些实施例涉及用于半导体制造流体的流体连接。 连接系统使用连接螺母（110），其通过使用螺母（110）中的多次启动螺纹来密封具有小于360度旋转的连接螺母的流体配件（112,114）。 根据一个实施例，连接螺母产生小于360度旋转的至少360度的螺纹啮合。 实施例进一步提供可以同时密封多个端口的连接系统。