公开(公告)号：US09802142B2

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：US14043620

申请日：2013-10-01

申请人： Entegris, Inc.

发明人： Marc Brian Laverdiere ,  Hirokazu Kuwabara ,  Koichi Kurata ,  John Paul Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Louis Joseph Barrows, Jr. ,  Kalyan Madhavaram ,  Dmitri Michael Menn ,  John Karl Niermeyer

IPC分类号： B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B25B17/02 ,  F16L19/00 ,  F16L19/02 ,  F16L19/025

CPC分类号： B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

摘要： The present disclosure relates to purification cassettes that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette with tensions members. A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members can divide the media cavity into a plurality of lanes.

公开(公告)号：US20150273365A1

公开(公告)日：2015-10-01

申请号：US14432741

申请日：2013-09-30

申请人： ENTEGRIS, INC.

发明人： Marc Laverdiere ,  Hirokazu Kuwabara ,  Koichi Kurata ,  John P. Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Louis Barrows, JR. ,  Kalyan Madhavaram ,  Dmitri Menn ,  J. Karl Niermeyer ,  Craig Wallace Martland

IPC分类号： B01D29/52 ,  F16L19/025 ,  B01D63/14

CPC分类号： B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

摘要： The present disclosure relates to modular purification systems using removable purifier cassettes for purifying liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A purification system may include a removable purifier cassette having a purifier inlet port and a purifier outlet port, and a manifold assembly. The manifold assembly can include a plurality of connection systems to that provide manifold ports to provide fluid to/from the cassette. In some embodiments, the connection systems may use connection nuts that can provide 360 degrees of thread engagement with less than 360 degrees of rotation.

摘要翻译： 本公开涉及使用可移除净化器盒的模块化净化系统，用于净化液体，包括例如用于半导体制造的液体。 净化系统可以包括具有净化器入口和净化器出口以及歧管组件的可移除净化器盒。 歧管组件可以包括多个连接系统，以提供歧管端口以向/从盒提供流体。 在一些实施例中，连接系统可以使用能够以小于360度旋转提供360度螺纹啮合的连接螺母。

公开(公告)号：US20140091027A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：US14043620

申请日：2013-10-01

申请人： Entegris, Inc.

发明人： Marc Laverdiere ,  Hirokazu Kuwabara ,  Koichi Kurata ,  John P. Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Louis Barrows, JR. ,  Kalyan Madhavaram ,  Dmitri Menn ,  J. Karl Niermeyer

IPC分类号： B01D29/52

CPC分类号： B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

摘要： The present disclosure relates to purification cassettes that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette with tensions members. A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members can divide the media cavity into a plurality of lanes.

摘要翻译： 本公开涉及具有增强特征的净化盒。 一个实施方案涉及具有张力构件的净化盒。 净化系统可以包括限定介质腔的可拆卸盒。 一组张力构件可以跨越第一侧壁和第二侧壁之间。 一组张力构件可将介质腔分成多个通道。

公开(公告)号：US09468872B2

公开(公告)日：2016-10-18

申请号：US14432741

申请日：2013-09-30

申请人： Entegris, Inc.

发明人： Marc Laverdiere ,  Hirokazu Kuwabara ,  Koichi Kurata ,  John P. Puglia ,  Ben Mai Pak Lee ,  Louis Barrows, Jr. ,  Kalyan Madhavaram ,  Dmitri Menn ,  J. Karl Niermeyer ,  Craig Wallace Martland

IPC分类号： B01D29/52 ,  F16L19/02 ,  B25B17/02 ,  F16L19/00 ,  F16L19/025 ,  B01D65/00 ,  B01D63/14

CPC分类号： B01D29/52 ,  B01D63/14 ,  B01D65/00 ,  B01D2313/105 ,  B01D2313/125 ,  B01D2313/13 ,  B01D2313/18 ,  B01D2313/20 ,  B01D2313/21 ,  B01D2313/54 ,  B01D2319/022 ,  B01D2319/04 ,  B25B17/02 ,  F16L19/005 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025 ,  Y10T29/49826

摘要： The present disclosure relates to modular purification systems using removable purifier cassettes for purifying liquids including, for example, liquids used in semiconductor manufacturing. A purification system may include a removable purifier cassette having a purifier inlet port and a purifier outlet port, and a manifold assembly. The manifold assembly can include a plurality of connection systems to that provide manifold ports to provide fluid to/from the cassette. In some embodiments, the connection systems may use connection nuts that can provide 360 degrees of thread engagement with less than 360 degrees of rotation.

摘要翻译： 本公开涉及使用可移除净化器盒的模块化净化系统，用于净化液体，包括例如用于半导体制造的液体。 净化系统可以包括具有净化器入口和净化器出口以及歧管组件的可移除净化器盒。 歧管组件可以包括多个连接系统，以提供歧管端口以向/从盒提供流体。 在一些实施例中，连接系统可以使用能够以小于360度旋转提供360度螺纹啮合的连接螺母。