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    Phase Change Memory Device
    3.
    发明申请
    Phase Change Memory Device 审中-公开
    相变存储器件

    公开(公告)号：US20090230375A1

    公开(公告)日：2009-09-17

    申请号：US12049910

    申请日：2008-03-17

    申请人： Chun-Sheng Liang ,  Tzyh-Cheang Lee ,  Fu-Liang Yang

    发明人： Chun-Sheng Liang ,  Tzyh-Cheang Lee ,  Fu-Liang Yang

    IPC分类号： H01L45/00 ,  H01L21/4763

    CPC分类号： H01L45/144 ,  H01L45/06 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/126 ,  H01L45/148 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/165

    摘要： A semiconductor device is provided which includes a substrate having a dielectric layer formed thereon, a heating element formed in the dielectric layer, a phase change element formed on the heating element, and a conductive element formed on the phase change element. The phase change element includes a substantially amorphous background and an active region, the active region capable of changing phase between amorphous and crystalline.

    摘要翻译： 提供一种半导体器件，其包括其上形成有电介质层的衬底，形成在电介质层中的加热元件，形成在加热元件上的相变元件和形成在相变元件上的导电元件。 相变元件包括基本无定形的背景和有源区域，该有源区域能够改变无定形和晶态之间的相位。

    Phase change memory cell with roundless micro-trenches
    7.
    发明授权
    Phase change memory cell with roundless micro-trenches 有权
    具有圆形微沟槽的相变存储单元

    公开(公告)号：US07642170B2

    公开(公告)日：2010-01-05

    申请号：US11864719

    申请日：2007-09-28

    申请人： Tzyh-Cheang Lee ,  Chun-Sheng Liang ,  Fu-Liang Yang

    发明人： Tzyh-Cheang Lee ,  Chun-Sheng Liang ,  Fu-Liang Yang

    IPC分类号： H01L21/20

    CPC分类号： H01L45/1233 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/06 ,  H01L45/126 ,  H01L45/144 ,  H01L45/1666

    摘要： A method for constructing a phase change memory device includes forming a first dielectric layer on a substrate; forming a first conductive component in the first dielectric layer; forming a second dielectric layer over the first conductive component in the first dielectric layer; forming a conductive crown in the second dielectric layer, the conductive crown being in contact and alignment with the conductive component; depositing a third dielectric layer in the conductive crown; and forming a trench filled with chalcogenic materials having an amorphous phase and a crystalline phase programmable by controlling a temperature thereof to represent logic states, wherein the trench extends across the conductive crown, such that the trench is free from a rounded end portion caused by lithography during fabrication of the phase change memory device.

    摘要翻译： 一种构造相变存储器件的方法包括：在衬底上形成第一电介质层; 在所述第一介电层中形成第一导电组分; 在所述第一介电层中的所述第一导电部件上形成第二电介质层; 在所述第二介电层中形成导电冠，所述导电冠与所述导电部件接触并对齐; 在导电冠中沉积第三电介质层; 并且形成填充有具有非晶相和结晶相的硫化物的沟槽，其可通过控制其温度来表示逻辑状态，其中所述沟槽延伸穿过所述导电冠，使得所述沟槽没有由光刻引起的圆形端部 在相变存储器件的制造过程中。