公开(公告)号：US07038231B2

公开(公告)日：2006-05-02

申请号：US10835814

申请日：2004-04-30

申请人： Mark W. Hart ,  Christie R. K. Marrian ,  Gary M. McClelland ,  Charles T. Rettner ,  Hermantha K. Wickramasinghe

发明人： Mark W. Hart ,  Christie R. K. Marrian ,  Gary M. McClelland ,  Charles T. Rettner ,  Hermantha K. Wickramasinghe

IPC分类号： H01L47/00

CPC分类号： H01L27/2409 ,  H01L27/2472 ,  H01L45/06 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/126 ,  H01L45/144 ,  H01L45/1675

摘要： A method for fabrication and a structure of a self-aligned (crosspoint) memory device comprises lines (wires) in a first direction and in a second direction. The wires in the first direction are formed using a hard mask material that is resistant to the pre-selected etch processes used for creation of the lines in both the first and the second direction. Consequently, the hard mask material for the lines in the first direction form part of the memory stack.

摘要翻译： 用于制造的方法和自对准（交叉点）存储器件的结构包括在第一方向和第二方向上的线（线）。 使用硬掩模材料形成第一方向上的导线，该硬掩模材料抵抗用于在第一和第二方向上产生线的预选蚀刻工艺。 因此，用于沿第一方向的线的硬掩模材料形成存储器堆叠的一部分。

公开(公告)号：US4747698A

公开(公告)日：1988-05-31

申请号：US858320

申请日：1986-04-30

申请人： Hermantha K. Wickramasinghe ,  Clayton C. Williams

发明人： Hermantha K. Wickramasinghe ,  Clayton C. Williams

IPC分类号： G01B7/34 ,  G01B15/00 ,  G01B15/08 ,  G01B21/20 ,  G01N25/72 ,  G01N37/00 ,  G01Q60/58 ,  G01N25/00

CPC分类号： G01Q60/58 ,  B82Y35/00 ,  G01N25/72 ,  Y10S977/852 ,  Y10S977/867

摘要： Apparatus is provided for investigating surface structures irrespective of the materials involved. A fine scanning tip is heated to a steady state temperature at a location remote from the structure to be investigated. Thereupon, the scanning tip is moved to a position proximate to, but spaced from the structure. At the proximate position, the temperature variation from the steady state temperature is detected. The scanning tip is scanned across the surface sturcture with the aforesaid temperature variation maintained constant. Piezo electric drivers move the scanning tip both transversely of, and parallel to, the surface structure. Feedback control assures the proper transverse positioning of the scanning tip and voltages thereby generated replicate the surface structure to be investigated.

摘要翻译： 提供了用于调查表面结构的装置，而不管涉及的材料如何。 在远离待研究的结构的位置处将精细的扫描尖端加热到稳态温度。 于是，扫描尖端被移动到靠近但与结构隔开的位置。 在接近的位置，检测到来自稳态温度的温度变化。 扫描尖端在表面结构上扫描，上述温度变化保持恒定。 压电电动驱动器将扫描尖端横向并平行于表面结构。 反馈控制确保了扫描尖端的正确的横向定位，从而产生的电压复制了待研究的表面结构。

公开(公告)号：US07394730B2

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：US11584713

申请日：2006-10-19

申请人： Ernesto E. Marinero ,  Hermantha K. Wickramasinghe

发明人： Ernesto E. Marinero ,  Hermantha K. Wickramasinghe

IPC分类号： G11B11/00 ,  B05D5/12

CPC分类号： G11B5/127 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G11B5/656 ,  G11B5/7325 ,  G11B5/74 ,  G11B5/743 ,  G11B5/82 ,  G11B5/855 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1472 ,  G11B2005/0002 ,  G11B2005/0005 ,  G11B2005/0021

摘要： A method for patterning a recording medium selectively thermally couples a recording medium and a heat source to alter a chemical composition of the recording medium. An apparatus for patterning a recording medium has a heat source for generating and directing an incident thermal wave to a recording medium so as to alter a chemical composition of the recording medium, and a controller for coordinating a mutual position of the incident thermal wave and the recording medium for inducing a direct thermal coupling between the recording medium and the heat source.

摘要翻译： 图案化记录介质的方法选择性地热连接记录介质和热源以改变记录介质的化学成分。 用于图案化记录介质的装置具有用于产生并引导入射热波到记录介质以便改变记录介质的化学成分的热源，以及用于协调入射热波的相互位置和 用于引起记录介质和热源之间的直接热耦合的记录介质。

公开(公告)号：US5061070A

公开(公告)日：1991-10-29

申请号：US184639

申请日：1988-04-22

申请人： John S. Batchelder ,  Donald M. DeCain ,  Marc A. Taubenblatt ,  Hermantha K. Wickramasinghe ,  Clayton C. Williams

发明人： John S. Batchelder ,  Donald M. DeCain ,  Marc A. Taubenblatt ,  Hermantha K. Wickramasinghe ,  Clayton C. Williams

IPC分类号： G01N15/14 ,  G01J9/02 ,  G01N15/00 ,  G01N15/02 ,  G01N15/06 ,  G01N21/23 ,  G01N21/45 ,  G01N21/94

CPC分类号： G01N21/45 ,  G01J2009/0261 ,  G01N2015/0011 ,  G01N2015/0053 ,  G01N2015/0238 ,  G01N21/94

摘要： A method and apparatus for monitoring process fluids used in the manufacture of semiconductor components and other microelectronic devices relies upon detection of the phase shift of a pair of optical energy beams encountering a bubble or particle in the fluid. The system distinguishes between bubbles and particles having indices of refraction greater than the surrounding fluid and between different types and sizes of particles.