公开(公告)号：US08608291B2

公开(公告)日：2013-12-17

申请号：US13191558

申请日：2011-07-27

申请人： Yimin Guan ,  Eunki Hong

发明人： Yimin Guan ,  Eunki Hong

IPC分类号： B41J2/045

CPC分类号： B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/314

摘要： A piezoelectric inkjet printhead is monolithically fabricated on a substrate. The printhead includes a plurality of cavities formed into the substrate, piezoelectric actuators disposed over the top of the cavities, a fluidic structure and an ink supply channel. The piezoelectric actuators are formed over the cavities using a sacrificial material which fills the cavities and is removed after the actuators are formed. The fluidic structure defines pressurizing chambers and channels connected to the ink supply channel. The fluidic structure has a plurality of nozzle holes formed on the top surface. The cavities are connected to either a venting channel formed from the backside of the substrate or a venting chamber formed inside the fluidic structures.

摘要翻译： 压电喷墨打印头被单片地制造在基板上。 打印头包括形成在基板中的多个空腔，设置在空腔顶部的压电致动器，流体结构和供墨通道。 使用填充空腔的牺牲材料在空腔上形成压电致动器，并且在致动器形成之后被移除。 流体结构限定了连接到供墨通道的加压室和通道。 流体结构具有形成在顶表面上的多个喷嘴孔。 空腔连接到从基板的背面形成的排气通道或形成在流体结构内部的排气室。

公开(公告)号：US08567927B2

公开(公告)日：2013-10-29

申请号：US13363501

申请日：2012-02-01

申请人： Tetsuya Isshiki

发明人： Tetsuya Isshiki

IPC分类号： B41J2/045 ,  H01L41/04 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  C04B35/495 ,  C04B35/00

CPC分类号： B41J2/161 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

摘要： A piezoelectric device comprises a first electrode, a piezoelectric layer provided above the first electrode, and a second electrode provided above the piezoelectric layer. The piezoelectric layer comprises a mixed crystal containing at least bismuth ferrate and barium titanate. The piezoelectric layer comprises a first piezoelectric layer and a second piezoelectric layer which is disposed between at least one of the first and second electrodes and the first piezoelectric layer. The barium titanate content of the second piezoelectric layer is at least 10 mole percent higher than the barium titanate content of the first piezoelectric layer.

摘要翻译： 压电装置包括第一电极，设置在第一电极上方的压电层和设置在压电层上方的第二电极。 压电层包括至少含有高铁酸铋和钛酸钡的混合晶体。 压电层包括设置在第一和第二电极和第一压电层中的至少一个之间的第一压电层和第二压电层。 第二压电层的钛酸钡含量比第一压电层的钛酸钡含量高至少10摩尔％。

公开(公告)号：US20130256581A1

公开(公告)日：2013-10-03

申请号：US13908660

申请日：2013-06-03

申请人： Fujifilm Corporation

发明人： Tetsu MIYOSHI ,  Tsutomu SASAKI ,  Yukio SAKASHITA

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： H01L41/0805 ,  C08K3/04 ,  C08K3/08 ,  C08K3/24 ,  H01L41/183 ,  H01L41/37 ,  C08L33/22 ,  C08L29/04

摘要： A polymer composite piezoelectric body is obtained by conducting polarization treatment on a composite having piezoelectric particles uniformly mixed by dispersion in a polymer matrix containing cyanoethylated polyvinyl alcohol.

摘要翻译： 通过在具有通过分散体均匀混合的压电颗粒的复合体上进行极化处理而获得聚合物复合压电体，所述聚合物基体含有氰乙基化的聚乙烯醇。

公开(公告)号：US20130250009A1

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：US13848243

申请日：2013-03-21

申请人： Masahiro Ishimori ,  Masaru SHINKAI ,  Satoshi MIZUKAMI ,  Takahiko KURODA

发明人： Masahiro Ishimori ,  Masaru SHINKAI ,  Satoshi MIZUKAMI ,  Takahiko KURODA

IPC分类号： H01L41/08 ,  B41J2/045 ,  H01L41/09

CPC分类号： H01L41/0805 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/29 ,  H01L41/318

摘要： An electromechanical conversion element for converting an electric signal into mechanical displacement or converting mechanical displacement into an electric signal, includes a bottom electrode in which an alumina film, a metal film, and a conductive oxide film are sequentially laminated; an electromechanical conversion film disposed on the conductive oxide film of the bottom electrode; and a top electrode disposed on the electromechanical conversion film, wherein the metal film is solid.

摘要翻译： 一种用于将电信号转换为机械位移或将机械位移转换为电信号的机电转换元件包括：底电极，其中氧化铝膜，金属膜和导电氧化膜依次层叠; 设置在底电极的导电氧化膜上的机电转换膜; 以及设置在所述机电转换膜上的顶部电极，其中所述金属膜是固体的。

公开(公告)号：US20130236730A1

公开(公告)日：2013-09-12

申请号：US13795543

申请日：2013-03-12

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Forderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： Holger Böse ,  Detlev Uhl ,  Raman Rabindranath

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： H01L41/0815 ,  B32B7/02 ,  B32B25/042 ,  B32B25/20 ,  B32B37/02 ,  B32B37/144 ,  B32B2037/243 ,  B32B2250/03 ,  B32B2250/248 ,  B32B2250/40 ,  B32B2307/20 ,  B32B2307/202 ,  B32B2307/204 ,  B32B2307/51 ,  B32B2383/00 ,  B32B2457/00 ,  C08G77/04 ,  C08G77/06 ,  C08G77/12 ,  C08G77/18 ,  C08G77/20 ,  C08G77/24 ,  C08L83/08 ,  C09D183/08 ,  H01B3/46 ,  H01L41/04 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/08 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/083 ,  H01L41/18 ,  H01L41/193 ,  H01L41/27 ,  H01L41/35 ,  H01L41/45 ,  H02N2/00 ,  Y10T428/31663 ,  C08K5/5406 ,  C08K5/56 ,  C08L83/00

摘要： A dielectric elastomer has a film that contains a fluorinated silicone elastomer and has two faces. A coating of a stretchable electrode material is applied to each one of the two faces. The fluorinated silicone elastomer has a modulus of elasticity of maximally 450 kPa. The fluorinated silicone elastomer is a three-dimensionally crosslinked, fluorinated, alkyl group-containing polysiloxane in combination with a fluorinated silicone oil. Alternatively, or in addition, the fluorinated silicone elastomer is a three-dimensional wide-mesh crosslinked, fluorinated, alkyl-group containing polysiloxane whose wide mesh property has been effected by a chain length extension by addition of a chain-shaped silicone molecule containing two Si—H groups to an alkenyl group-containing polysiloxane molecule.

摘要翻译： 介电弹性体具有包含氟化硅酮弹性体并具有两个面的膜。 将可拉伸电极材料的涂层施加到两个面中的每个面上。 氟化硅氧烷弹性体的弹性模量最大为450kPa。 氟化硅氧烷弹性体是与氟化硅油组合的三维交联的含氟烷基的聚硅氧烷。 或者或另外，氟化硅氧烷弹性体是三维宽网状交联，氟化的含烷基的聚硅氧烷，其宽网状特性已经通过加入链状硅氧烷分子进行链长度延伸，所述链状硅氧烷分子含有两个 Si-H基团与含链烯基的聚硅氧烷分子。

公开(公告)号：US20130208054A1

公开(公告)日：2013-08-15

申请号：US13763766

申请日：2013-02-11

申请人： Seiko Epson Corporation

发明人： Tetsuya ISSHIKI

IPC分类号： H01L41/18 ,  B41J2/14 ,  G01N3/42 ,  H01L41/047

CPC分类号： H01L41/18 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  G01N3/42 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

摘要： A liquid ejecting head includes a piezoelectric element including a piezoelectric layer made of a piezoelectric material and an electrode disposed on the piezoelectric layer. The piezoelectric material is such that when a diamond conical indenter having an angle α of 136° between opposite faces is pressed into the piezoelectric layer at a load of 5 gf for 5 seconds to form cracks extending from an indentation, using a micro Vickers hardness meter, the length of the cracks from four corners of the indentation is 15 μm or less.

摘要翻译： 液体喷射头包括压电元件，压电元件包括​​由压电材料制成的压电层和设置在压电层上的电极。 压电材料使得当在相对面之间具有角度α为136°的金刚石锥形压头在5gf的载荷下压入压电层5秒以形成从压痕延伸的裂纹时，使用微维氏硬度计 压痕四角的裂纹长度为15μm以下。

公开(公告)号：US20130200748A1

公开(公告)日：2013-08-08

申请号：US13751845

申请日：2013-01-28

申请人： STANLEY ELECTRIC CO., LTD.

发明人： Susumu NAKAMURA

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/27

CPC分类号： H01L41/0805 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/27 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

摘要： A piezoelectric actuator includes a substrate, an oxide layer formed on the substrate, a Ti0x (0

摘要翻译： 压电致动器包括基板，形成在基板上的氧化物层，形成在氧化物层上的Ti0x（0

公开(公告)号：US20130127293A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：US13748687

申请日：2013-01-24

申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.

发明人： Shinsuke Ikeuchi ,  Kansho Yamamoto

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： H01L41/0805 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/083 ,  C23C14/088 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/22 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

摘要： Provided is a method for producing a piezoelectric thin-film element including a piezoelectric thin-film layer having good surface morphology and high crystallinity. The method includes forming a lower electrode layer on a substrate; forming a piezoelectric thin-film buffer layer on the lower electrode layer at a relatively low film-formation temperature; forming a piezoelectric thin-film layer on the piezoelectric thin-film buffer layer at a film-formation temperature that is higher than the film-formation temperature for the piezoelectric thin-film buffer layer; and forming an upper electrode layer on the piezoelectric thin-film layer.

摘要翻译： 提供一种包括具有良好的表面形态和高结晶度的压电薄膜层的压电薄膜元件的制造方法。 该方法包括在基板上形成下电极层; 在较低的成膜温度下在下电极层上形成压电薄膜缓冲层; 在压电薄膜缓冲层上形成压电薄膜层，其成膜温度高于压电薄膜缓冲层的成膜温度; 以及在所述压电薄膜层上形成上电极层。

公开(公告)号：US08446074B2

公开(公告)日：2013-05-21

申请号：US13636883

申请日：2011-03-24

申请人： Kenji Shibata ,  Kazufumi Suenaga ,  Kazutoshi Watanabe ,  Akira Nomoto ,  Fumimasa Horikiri

发明人： Kenji Shibata ,  Kazufumi Suenaga ,  Kazutoshi Watanabe ,  Akira Nomoto ,  Fumimasa Horikiri

IPC分类号： H01L41/187

CPC分类号： C23C14/025 ,  C23C14/088 ,  C23C14/35 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

摘要： There is provided a piezoelectric thin film element, comprising: a substrate 1; and a piezoelectric thin film 3 having an alkali niobium oxide-based perovskite structure represented by a composition formula (K1-xNax)yNbO3 provided on the substrate 1, wherein a carbon concentration of the piezoelectric thin film 3 is 2×1019/cm3 or less, or a hydrogen concentration of the piezoelectric thin film 3 is 4×1019/cm3 or less.

摘要翻译： 提供了一种压电薄膜元件，包括：基板1; 以及设置在基板1上的由组成式（K1-xNax）yNbO3表示的碱铌氧化物系钙钛矿结构的压电薄膜3，其中压电薄膜3的碳浓度为2×1019 / cm3以下 ，或压电薄膜3的氢浓度为4×1019 / cm3以下。

公开(公告)号：US20130099627A1

公开(公告)日：2013-04-25

申请号：US13644178

申请日：2012-10-03

申请人： FUJIFILM Corporation

发明人： Takamichi FUJII ,  Yoshikazu HISHINUMA

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/277 ,  H01L41/04

CPC分类号： H01L41/0805 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/04 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/277 ,  H01L41/297 ,  H01L41/316

摘要： A piezoelectric device includes: a substrate; a first electrode which is layered over the substrate; a first piezoelectric film which is layered over the first electrode; a metal oxide film which is layered over the first piezoelectric film; a metal film which is layered over the metal oxide film; a second piezoelectric film which is layered over the metal film; and a second electrode which is layered over the second piezoelectric film.

摘要翻译： 压电装置包括：基板; 层叠在所述基板上的第一电极; 层叠在第一电极上的第一压电膜; 层叠在第一压电膜上的金属氧化物膜; 层叠在金属氧化物膜上的金属膜; 层叠在金属膜上的第二压电膜; 以及层叠在第二压电膜上的第二电极。