公开(公告)号：US07989756B2

公开(公告)日：2011-08-02

申请号：US12262115

申请日：2008-10-30

Applicant: Shiang-Lung Koo ,  Yi-Ping Hsin ,  Hideyuki Hashimoto ,  Bausan Yuan ,  Pai-Hsueh Yang

Inventor： Shiang-Lung Koo ,  Yi-Ping Hsin ,  Hideyuki Hashimoto ,  Bausan Yuan ,  Pai-Hsueh Yang

IPC: G02B7/00

CPC classification number: G02B27/646 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/709

Abstract: Disclosed are, inter alia, optical components that include an optical element (e.g., mirror) and at least three active-isolation mounts mounting the optical element to a frame (e.g., optical barrel or optical frame). An active-isolation mount has a non-contacting actuator connecting a respective location on the optical element to the frame and provides movability of the respective location relative to the frame in at least one direction. At least one displacement sensor is associated with each respective location on the optical element. The displacement sensors are sensitive to displacements of the respective locations in at least one respective direction and reference the displacements to an absolute reference. The actuators and sensors are connected to a servo control loop to provide feedback control.

Abstract translation: 特别地，公开了包括光学元件（例如，反射镜）和将光学元件安装到框架（例如，光学镜筒或光学框架）的至少三个主动隔离安装件的光学部件。 主动隔离安装件具有将光学元件上的相应位置连接到框架的非接触致动器，并且在至少一个方向上提供相对于框架的相应位置的可移动性。 至少一个位移传感器与光学元件上的每个相应位置相关联。 位移传感器对至少一个相应方向上各个位置的位移敏感，并将位移引用为绝对参考。 执行器和传感器连接到伺服控制回路以提供反馈控制。

公开(公告)号：US20070211237A1

公开(公告)日：2007-09-13

申请号：US11369493

申请日：2006-03-07

Applicant: Yi-Ping Hsin ,  Hideyuki Hashimoto ,  Jin Nishikawa ,  Bausan Yuan ,  Douglas Watson

Inventor： Yi-Ping Hsin ,  Hideyuki Hashimoto ,  Jin Nishikawa ,  Bausan Yuan ,  Douglas Watson

IPC: G03B27/58

CPC classification number: G03F7/70725

Abstract: A precision assembly (210) for positioning a device (226) includes a stage (260) that retains the device (226), a dual mover assembly (228) that moves the stage (260), and the device (226) along a movement axis (266), a measurement system (222) and a control system (224). The dual mover assembly (228) includes a first mover (262) that moves the stage (260) along the movement axis (266) and a second mover (264) that moves the device (226) along the movement axis (266). The second mover (264) is rigidly coupled to the first mover (262) so that movement of the first mover (262) results in movement of the second mover (264). Further, the total output of the dual mover assembly (228) along the movement axis (266) is equal to the sum of the movement of the first mover (262) and the movement of the second mover (264). The measurement system (222) measures a movement position along the movement axis (266). The control system (224) controls the dual mover assembly (228) utilizing the movement position. The control system (224) is designed to effectively decouple the control of the first mover (262) from the control of the second mover (264). Further, the control system (224) includes a quantization feedforward loop.

Abstract translation: 用于定位设备（226）的精密组件（210）包括保持所述设备（226）的平台（260），使所述平台（260）移动的所述双推进器组件（228），以及沿着 运动轴（266），测量系统（222）和控制系统（224）。 双推动器组件（228）包括沿着移动轴线（266）移动平台（260）的第一移动器（262）和沿着移动轴线（266）移动设备（226）的第二移动器（264）。 第二移动器（264）刚性地联接到第一移动器（262），使得第一移动器（262）的运动导致第二移动器（264）的运动。 此外，沿着移动轴线（266）的双推动器组件（228）的总输出等于第一移动器（262）与第二移动器（264）的运动的总和。 测量系统（222）测量沿着移动轴线（266）的移动位置。 控制系统（224）利用移动位置控制双推动器组件（228）。 控制系统（224）被设计成有效地将第一移动器（262）的控制与第二移动器（264）的控制分离。 此外，控制系统（224）包括量化前馈回路。

公开(公告)号：US07253576B2

公开(公告)日：2007-08-07

申请号：US10819041

申请日：2004-04-05

Applicant: Pai-Hsueh Yang ,  Kazuhiro Hirano ,  Ping-Wei Chang ,  Tim Teng ,  Bausan Yuan

Inventor： Pai-Hsueh Yang ,  Kazuhiro Hirano ,  Ping-Wei Chang ,  Tim Teng ,  Bausan Yuan

IPC: H02P1/00

CPC classification number: H02P25/06

Abstract: A stage assembly (220) for moving a device (200) includes a stage (208), and actuator pair (226) and a control system (224). The actuator pair (226) includes a first actuator (228) that is coupled to the stage (208). The first actuator (228) has a first E core (236) and a first I core (240) that is spaced apart a first gap (g1) from the first E core (236). The control system (224) directs current to the first actuator (228) to move the stage (208). In one embodiment, the amount of current directed to the first actuator (228) is determined utilizing a first parameter (a) that is added to the first gap (g1). The value of the first parameter (a) is determined by experimental testing. Additionally, the amount of current directed to the first actuator (228) can be determined utilizing a second parameter (b) that is added to the first gap (g1). The value of the second parameter (b) is determined by experimental testing.

Abstract translation: 用于移动设备（200）的平台组件（220）包括平台（208）和致动器对（226）和控制系统（224）。 致动器对（226）包括联接到平台（208）的第一致动器（228）。 第一致动器（228）具有第一E型芯（236）和第一I型芯（240），其与第一E型芯（236）间隔开第一间隙（g 1> 1）。 控制系统（224）将电流引导到第一致动器（228）以移动平台（208）。 在一个实施例中，使用添加到第一间隙（g 1> 1）的第一参数（a）来确定引导到第一致动器（228）的电流量。 第一个参数（a）的值由实验测试确定。 另外，可以利用添加到第一间隙（g1> 1）的第二参数（b）来确定引导到第一致动器（228）的电流量。 第二个参数（b）的值由实验测试确定。

公开(公告)号：US07034474B2

公开(公告)日：2006-04-25

申请号：US10775720

申请日：2004-02-09

Applicant: Pai Hsueh Yang ,  Tim Teng ,  Kazuhiro Hirano ,  Bausan Yuan

Inventor： Pai Hsueh Yang ,  Tim Teng ,  Kazuhiro Hirano ,  Bausan Yuan

IPC: H02K41/00

CPC classification number: H02P25/06 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18

Abstract: A stage assembly (220) for moving a device (200) includes a stage (208), an attraction-only type actuator pair (426) that moves the stage (208), and a control system (24). In one embodiment, the actuator pair (426) includes a first electromagnet (436F), a first conductor (438F) and a first target (440F) having a first target surface (442F). The actuator pair also includes a second electromagnet (436S), a second conductor (438S) and a second target (440S) having a second target surface (442S). The first electromagnet (436F) is positioned at a first angle θ1 relative to a first target surface (442F) and the second electromagnet (436S) is positioned at a second angle θ2 relative to the second target surface (442S). The control system (24) directs a first current to one or more of the electromagnets based on at least one of the angles θ1, θ2. Further, one or more electromagnets (436) can include a first measurement point and a second measurement point. The control system (24) can direct current to the actuator pair (426) based on the relative distance between the first and second measurement points and the corresponding target surface (442).

Abstract translation: 用于移动装置（200）的平台组件（220）包括台（208），移动台（208）的仅吸引型致动器对（426）和控制系统（24）。 在一个实施例中，致动器对（426）包括具有第一目标表面（442F）的第一电磁体（436F），第一导体（438F）和第一靶（440F）。 致动器对还包括具有第二目标表面（442S）的第二电磁体（436S），第二导体（438S）和第二靶（440S）。 第一电磁体（436F）相对于第一目标表面（442F）位于第一角度θ1，并且第二电磁体（436S）位于第二角度θ 2 相对于第二目标表面（442S）。 控制系统（24）基于角度θ1，θ2 2中的至少一个将第一电流引导到一个或多个电磁体。 此外，一个或多个电磁体（436）可以包括第一测量点和第二测量点。 控制系统（24）可以基于第一和第二测量点与相应的目标表面（442）之间的相对距离将电流引导到致动器对（426）。

公开(公告)号：US20060033903A1

公开(公告)日：2006-02-16

申请号：US10918182

申请日：2004-08-13

Applicant: Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  W. Novak

Inventor： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  W. Novak

IPC: G03B27/62

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70766

Abstract: Methods and apparatus for providing a stage with a relatively high positioning bandwidth and low transmissibility are disclosed. According to one aspect of the present invention, a method for positioning a stage including providing a first force of a first magnitude to the stage using a primary actuator and providing a second force of a second magnitude to the stage using a secondary actuator. The first force is arranged to cause the stage to translate along a first axis. The secondary actuator is also arranged to cause the stage to translate along the first axis, and has a relatively high positioning bandwidth. The first force is arranged to enable the stage to be relatively coarsely positioned and the second force is arranged to enable the stage to be relatively finely positioned. In one embodiment, the secondary actuator is one of a voice coil motor and a piezoelectric motor.

Abstract translation: 公开了提供具有相对高的定位带宽和低传输性的平台的方法和装置。 根据本发明的一个方面，一种用于定位平台的方法，包括使用主致动器向舞台提供第一幅度的第一力，并使用辅助致动器向舞台提供第二大小的第二力。 第一力布置成使得台架沿着第一轴线平移。 次级致动器还被布置成使得平台沿着第一轴线平移，并且具有相对较高的定位带宽。 第一力被布置成使得台架能够相对粗略地定位，并且第二力被布置成使得台架能够相对精细地定位。 在一个实施例中，次级致动器是音圈电动机和压电电动机之一。

公开(公告)号：US20050197045A1

公开(公告)日：2005-09-08

申请号：US11058099

申请日：2005-02-14

Applicant: W. Novak ,  Douglas Watson ,  Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan

Inventor： W. Novak ,  Douglas Watson ,  Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan

IPC: B24B37/04 ,  B24B41/06 ,  B24B49/00

CPC classification number: B24B37/042 ,  B24B37/005 ,  B24B37/30 ,  B24B41/068

Abstract: An actuator assembly (432) for positioning a pad (48) includes a first actuator assembly (440), a second actuator subassembly (442) and a control system (524). In one embodiment, the first actuator subassembly (440) includes a first core (502), and a conductor (504) secured to the first core (502), and the second actuator subassembly (442) includes a second core (506) spaced apart a component gap (444) from the first core (502). Further, the control system (524) directs current to the conductor (504) to attract the second core (506) to the first core (502). In one embodiment, the amount of current directed to the conductor (504) is calculated without measuring the component gap (444).

Abstract translation: 用于定位垫（48）的致动器组件（432）包括第一致动器组件（440），第二致动器子组件（442）和控制系统（524）。 在一个实施例中，第一致动器子组件（440）包括第一芯（502）和固定到第一芯（502）的导体（504），并且第二致动器子组件（442）包括间隔开的第二芯 从第一芯（502）分离组件间隙（444）。 此外，控制系统（524）将电流引导到导体（504）以将第二芯（506）吸引到第一芯（502）。 在一个实施例中，在不测量部件间隙（444）的情况下，计算导向导体（504）的电流量。

公开(公告)号：US06285438B1

公开(公告)日：2001-09-04

申请号：US09314146

申请日：1999-05-19

Applicant: Andrew J. Hazelton ,  Bausan Yuan

Inventor： Andrew J. Hazelton ,  Bausan Yuan

IPC: G03B2742

CPC classification number: G03F7/70358 ,  G03F7/70725

Abstract: A positioning method in which a system performs operations relative to areas on a substrate by a series of relative movements between the system and substrate scanning exposures. The method includes the steps of disposing a first area relative to a system performing an operation relative to the first area, and moving the substrate from a first position where the first operation relative to the first area has finished to a second position where a second operation relative to a second area is to start, and synchronously moving the system from a third position where the first operation relative to the first area has finished to a fourth position where the second operation relative to the second area is to start. An acceleration of the substrate during movement from the first position to the second position and an acceleration of the system during movement from the third position to the fourth position continually have absolute values greater than zero.

Abstract translation: 一种定位方法，其中系统通过系统和基板扫描曝光之间的一系列相对移动来执行相对于基板上的区域的操作。 该方法包括以下步骤：相对于执行相对于第一区域的操作的系统布置第一区域，以及将基板相对于第一区域的第一操作完成的第一位置移动到第二位置，在第二位置，第二操作 相对于第二区域开始，并且使系统从第一操作相对于第一区域的第三位置完成移动到相对于第二区域的第二操作开始的第四位置。 在从第一位置移动到第二位置期间的基板的加速度以及从第三位置到第四位置的运动期间的系统的加速度连续地具有大于零的绝对值。

公开(公告)号：US09465305B2

公开(公告)日：2016-10-11

申请号：US13101264

申请日：2011-05-05

Applicant: Pai-Hsueh Yang ,  Scott Coakley ,  Michael B. Binnard ,  Kazuhiro Hirano ,  Bausan Yuan ,  Shiang-Lung Koo

Inventor： Pai-Hsueh Yang ,  Scott Coakley ,  Michael B. Binnard ,  Kazuhiro Hirano ,  Bausan Yuan ,  Shiang-Lung Koo

IPC: H02K41/00 ,  G03F7/20 ,  H02P6/00

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70516 ,  G03F7/70775 ,  H02P6/006

Abstract: A method for determining a commutation offset for a mover (250A) of a mover assembly (220C) that moves and positions a stage (220A) relative to a stage base (220B) includes controlling the mover assembly (220C) in a closed loop fashion to maintain the position of the stage (220A) along a first axis and along a second axis with the stage (220A) levitated above the stage base (220B). The method also includes the steps of (i) directing current to a coil array (240) of the mover assembly (220C) so that the mover assembly (220C) imparts a disturbance on the stage (220A); and (ii) evaluating one or more forces generated by the mover assembly (220C) as a result of the disturbance on the stage (220A) created by the mover (250A). Further, a method for generating a compensation map (1402) includes sequentially directing a plurality of excitation signals to the control of the mover assembly (220C) and determining the control commands that result from the plurality of excitation signals.

Abstract translation: 用于确定相对于台架（220B）移动和定位平台（220A）的移动器组件（220C）的移动器（250A）的换向偏移的方法包括以闭环方式控制所述动子组件（220C） 以使台架（220A）沿着第一轴线并且沿着第二轴线保持台架（220A）的位置，台架（220A）悬浮在平台底座（220B）上方。 该方法还包括以下步骤：（i）将电流引导到移动器组件（220C）的线圈阵列（240），使得移动器组件（220C）在平台（220A）上施加干扰; 以及（ii）评估由所述移动器组件（220C）产生的由所述移动器（250A）产生的所述平台（220A）上的干扰所产生的一个或多个力。 此外，用于产生补偿图（1402）的方法包括将多个激励信号顺序地引导到移动器组件（220C）的控制，并且确定由多个激励信号产生的控制命令。

公开(公告)号：US20090237793A1

公开(公告)日：2009-09-24

申请号：US12262115

申请日：2008-10-30

Applicant: Shiang-Lung Koo ,  Yi-Ping Hsin ,  Hideyuki Hashimoto ,  Bausan Yuan ,  Pai-Hsueh Yang

Inventor： Shiang-Lung Koo ,  Yi-Ping Hsin ,  Hideyuki Hashimoto ,  Bausan Yuan ,  Pai-Hsueh Yang

IPC: G02B27/64

CPC classification number: G02B27/646 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/709

Abstract: Disclosed are, inter alia, optical components that include an optical element (e.g., mirror) and at least three active-isolation mounts mounting the optical element to a frame (e.g., optical barrel or optical frame). An active-isolation mount has a non-contacting actuator connecting a respective location on the optical element to the frame and provides movability of the respective location relative to the frame in at least one direction. At least one displacement sensor is associated with each respective location on the optical element. The displacement sensors are sensitive to displacements of the respective locations in at least one respective direction and reference the displacements to an absolute reference. The actuators and sensors are connected to a servo control loop to provide feedback control.

Abstract translation: 特别地，公开了包括光学元件（例如，反射镜）和将光学元件安装到框架（例如，光学镜筒或光学框架）的至少三个主动隔离安装件的光学部件。 主动隔离安装件具有将光学元件上的相应位置连接到框架的非接触式致动器，并且在至少一个方向上提供相对于框架的相应位置的可移动性。 至少一个位移传感器与光学元件上的每个相应位置相关联。 位移传感器对至少一个相应方向上各个位置的位移敏感，并将位移引用为绝对参考。 执行器和传感器连接到伺服控制回路以提供反馈控制。

公开(公告)号：US20080068568A1

公开(公告)日：2008-03-20

申请号：US11662330

申请日：2005-07-18

Applicant: Akimitsu Ebihara ,  Martin Lee ,  Bausan Yuan

Inventor： Akimitsu Ebihara ,  Martin Lee ,  Bausan Yuan

IPC: G03B27/42 ,  G03B27/54

CPC classification number: G03F7/709 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891

Abstract: A projection optical device includes a projection optical system which projects an image of a pattern, a support device having a flexible structure to support the projection optical system, and a positioning device having an actuator to position the projection optical system. The projection optical device can include a frame to which one end of the flexible structure is attached. The projection optical system may hang from the frame via the support device, or it may be supported from below by the support device. A projection optical device also can include a liquid supply which supplies a temperature-controlled liquid to a side surface of a projection optical system utilizing gravity to cause the temperature-controlled liquid to flow along the side surface of the projection optical system.

Abstract translation: 投影光学装置包括投影图案的投影光学系统，具有柔性结构的支撑装置以支撑投影光学系统，以及具有用于定位投影光学系统的致动器的定位装置。 投影光学装置可以包括附接有柔性结构的一端的框架。 投影光学系统可以经由支撑装置从框架悬挂，或者可以由支撑装置从下方支撑投影光学系统。 投影光学装置还可以包括液体供应源，其利用重力将温度控制的液体供应到投影光学系统的侧表面，以使温度控制的液体沿着投影光学系统的侧表面流动。