抗卤素等离子体蚀刻的硅晶体
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118511249A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202280088152.4

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 公开了当被暴露于卤素等离子体时能耐受蚀刻的材料的各种组成。该组成包含硅与掺杂剂,硅具有至少6N的纯度(即包含除硅及掺杂剂以外的杂质,且杂质浓度少于1质量ppm)且掺杂剂具有至少4N的纯度(即包含少于100质量ppm的杂质)。掺杂剂可选自由硼、镓、磷、砷、和锑所组成的群组。公开了每一掺杂剂的特定浓度。在这些浓度下,材料被暴露于卤素等离子体时表现出相对低的蚀刻率。此外,在这些浓度下,在晶体生长时不会形成掺杂剂的沉淀物。由该材料所制成的衬底处理室的部件被暴露于衬底处理室中的卤素等离子体时表现出对蚀刻的相对高耐受度。

    一种四英寸锑化镓单晶生长炉
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117737825A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311839311.2

    申请日:2023-12-29

    Abstract: 一种四英寸锑化镓单晶生长炉,涉及单晶生长技术领域,包括生长区和化料区,两个区域使用不同的温场、不同的坩埚,多晶料先在化料区融化,融化的多晶料及覆盖剂会缓慢的流入下部生长区的坩埚内,通过测温点能够了解物料是否全部流入生长区,待纵向温梯和生长区坩埚调整合适后,进行单晶生长。单晶生长结束以后,可以打开生长区,化料区无需打开,避免高温热损失,直接向化料区加热多晶物料和覆盖剂即可进入下一个化料进程中去。在生长区的下石墨保温套筒和多温区石墨加热器下端设置旋转装置,在多晶生长过程中,通过旋转装置驱动下石墨保温套筒和多温区石墨加热器转动,确保横向温场均匀。

    一种掺铊碘化钠晶体的制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117051470A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311050849.5

    申请日:2023-08-21

    Applicant: 燕山大学

    Abstract: 本发明公开了一种掺铊碘化钠晶体的制备方法,属于卤化物闪烁晶体生长制备技术领域,包括两次晶体生长过程,首先使用坩埚下降法进行第一次晶体生长,进行筛选,筛选出合格产品和瑕疵晶体,瑕疵晶体筛选后进行处理,之后使用坩埚下降法进行第二次晶体生长,使用本发明所述方法处理的回收晶体料可以生长2‑4 L大尺寸掺铊碘化钠且晶体内部没有杂质,点缺陷出现的几率更低,原子排列更加紧密,单晶性能更强,充分利用了第一次晶体制备过程中的晶体回收料,使原材料利用率达到80%以上,且第二次生长的大尺寸掺铊碘化钠晶体能量分辨率小于7%,光产额增加8%以上。

    一种基于水平定向凝固法生长晶体的方法

    公开(公告)号:CN113930843B

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202111235905.3

    申请日:2021-10-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于水平定向凝固法生长晶体的方法,本方法采用单晶炉制备,单晶炉炉内依次形成有用于向坩埚内添加原料的备料区、用于熔融原料的熔料区以及晶体生长的生长区,在单晶炉炉外设有与备料区相连通的加料装置,并通过加料装置向坩埚内添加原料,然后水平移动装有原料的坩埚,使坩埚进入熔料区并使原料熔化;然后移动坩埚回到备料区,重复备料区加料和熔料区熔料,直到原料添加到需要的量并熔化,移动坩埚至生长区,即可进行晶体生长。本发明能够有效保证产品成型厚度,保证产品成型质量及利用率。

    一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构

    公开(公告)号:CN112064107A

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN202010953798.7

    申请日:2020-09-11

    Abstract: 本发明公开了一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构,解决了如何完成炉内温度场梯度分布的技术问题。在下炉体内腔(18)中,设置有沿上下竖直方向的下保温筒(20),在上保温筒支撑支架(10)上设置有沿上下竖直方向设置的上保温筒(11),在上保温筒(11)的顶端设置有盖板(12),下保温筒(20)与上保温筒(11)的底端对接在一起,下炉体(1)的炉底板、下保温筒(20)、上保温筒(11)和盖板组成一个封闭的炉内温度场空间,在该封闭的炉内温度场空间内设置有金属均温筒(14)、防爆裂石英筒(15),在驱动轴(23)的顶端设置有石英坩埚支架(22)和石英坩埚(16),实现了大直径碲化汞晶体的生长。

    多掺杂硅锭的制备方法、多掺杂硅锭和硅片

    公开(公告)号:CN110438566A

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201910735093.5

    申请日:2019-08-09

    Abstract: 本发明公开了一种多掺杂硅锭的制备方法、多掺杂硅锭和硅片,该制备方法包括以下步骤:将硅料、硼硅合金、磷硅合金和镓合金混合,得到混合物料,其中混合物料中硅、硼、磷、镓的浓度比为1︰5.1×10-8~1.1×10-6︰6.4×10-10~3.1×10-6︰2.0×10-9~4.2×10-5;所得混合物料进行熔化、再结晶和退火冷却,得到多掺杂硅锭。多掺杂硅锭由上述制备方法制得。硅片由上述多掺杂硅锭制得。本发明制备方法制得的多掺杂硅锭,硼溶度较低,具有电阻率分布均匀性好、少子寿命长等优点,由此制备的太阳电池光电转换效率更高,光致衰减率更低,对于实现太阳电池的广泛应用具有十分重要的意义。

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