激光装置、具备该激光装置的曝光装置以及检查装置

    公开(公告)号:CN104685414B

    公开(公告)日:2017-12-22

    申请号:CN201380050529.8

    申请日:2013-07-31

    Inventor: 徳久章

    Abstract: 激光装置具备:激光发生部(1),具有产生第1波长的激光的第1光源和产生第2波长的激光的第2光源;放大部,对第1波长以及第2波长的激光分别进行放大而输出第1放大光和第2放大光;波长变换部,将第1放大光进行波长变换为第1变换光,从第1变换光和第2放大光通过波长变换来产生输出光,或者,将第1放大光和第2放大光分别进行波长变换为第1变换光和第2变换光,从第1变换光和第2变换光通过波长变换来产生输出光;以及控制部,控制激光发生部的动作,控制部构成为通过控制来自第1光源的激光的输出和来自第2光源的激光的输出的相对定时,在波长变换部中的输出光的产生位置,调节第1变换光和第2放大光的时间上的重叠、或者第1变换光和第2变换光的时间上的重叠,控制输出光的输出状态。

    可调激光器和调谐激光模式的方法

    公开(公告)号:CN106605339A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201580047281.9

    申请日:2015-09-02

    Abstract: 一种可调激光器(100),用于使用至少两个可调梳基于穿过信道波导(108)的至少一个块的光束来调谐激光模式,所述可调激光器包括:频率选择性光复用器(112),所述频率选择性光复用器包括用于接收/传输光的第一端子(110)、信道波导(108)的至少一个块,其中每个信道波导(108)具有反射性涂层的第一尾(101)和第二尾,以及光耦合元件(103),所述光耦合元件将所述第一端子(110)与所述信道波导的至少一个块的所述信道波导(108)的所述第二尾光耦合,每个信道波导(108)具有不同的长度;产生光的广谱的增益元件(105),所述增益元件将所述频率选择性光复用器(112)的所述第一端子(110)与反射元件(106)耦合;耦合到所述增益元件(105)的相位元件(104),其中,所述相位元件(104)用于精调所述激光模式以及用于偏移所述可调激光器的相移;多个光调谐器(102a、102b),每一个光调谐器耦合到所述信道波导(108)的至少一个块的相应多个分支,其中,所述多个光调谐器(102a、102b)用于基于穿过所述信道波导(108)的至少一个块的光束来调谐激光模式。

    光源和记录装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103310811A

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201310062508.X

    申请日:2013-02-27

    Applicant: 索尼公司

    Abstract: 本发明公开了光源和记录装置。其中,该光源包括锁模激光器单元、半导体光放大器、激光器时钟生成单元和调制单元的光源,该锁模激光器单元包括半导体激光器和外部谐振器,并发射具有预定频率的激光束,半导体激光器包括施加反偏电压的可饱和吸收器单元和施加增益电流的增益单元,该半导体光放大器对从锁模激光器单元发射的激光束执行放大调制,当激光束在锁模激光器单元中振荡时,该激光器时钟生成单元基于从可饱和吸收器单元检测到的信号生成与激光束同步的激光器时钟,该调制单元生成与激光器时钟同步的驱动电流,并向半导体光放大器施加驱动电流。

    控制包括可见光源的激光投影系统的方法

    公开(公告)号:CN101904063B

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN200880123055.4

    申请日:2008-11-18

    Inventor: J·高里尔

    Abstract: 本发明的具体实施例一般涉及半导体激光器和激光扫描系统,更具体地涉及用于控制半导体激光器的方案。根据本发明的一个实施例,激光器被配置用于已编码数据的光发射。该光发射的至少一个参数是注入该半导体激光器的增益区(16)的驱动电流I增益和一个或多个附加驱动电流I/V相、I/VDBR的函数。通过向相区(14)施加与驱动电流I增益中的波长恢复部分(tB)同步的移相信号I/VΦ,以使多个腔模在每个波长恢复部分下被移动自由光谱范围的一半,可改变半导体激光器中的模式选择。以此方式,激光器的波长或强度分布中的图案化变化可被破坏,以掩饰否则在激光器的输出中容易识别的图案化缺陷。

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