基于芯片控制的电化学沉积彩色薄膜制备方法及装置

    公开(公告)号:CN108091776A

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201711208025.0

    申请日:2017-11-27

    CPC classification number: H01L51/56 H01L27/3244 H01L51/0006

    Abstract: 本发明公开了基于芯片控制的电化学沉积彩色薄膜制备方法及装置,该装置包括芯片控制器以及与芯片控制器连接的显示屏基板,所述显示屏基板包括衬底基板以及设置在衬底基板上的像素电极层,所述像素电极层包含以矩阵形式设置的多个像素电极,多个所述像素电极通过金属引线与芯片控制器连接。该方法包括:将辅助电极和显示屏基板均置于电解液中,然后芯片控制器将电化学沉积信号通过金属引线输入至显示屏基板上的像素电极表面,令像素电极上沉积有薄膜。本发明可精确灵活对显示屏基板上沉积得到的薄膜进行调控,而且成本低,可满足OLED走向高分辨和大尺寸产业化进程的要求。本发明可广泛应用于OLED薄膜制备技术领域中。

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