公开(公告)号：CN102017052A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200980114872.8

申请日：2009-01-26

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： 简·J·维兰德 ,  伯特·J·坎菲尔贝克 ,  亚历山大·H·V·范维恩 ,  皮特·克鲁伊特 ,  斯蒂杰恩·W·H·K·斯蒂恩布林克

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3007 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/151

摘要： 一种用于带电粒子多子束系统的投影透镜装置(10)，该投影透镜装置包括一个或多个板(12、13、14)和一个或多个投影透镜阵列。各板具有形成于板中的孔径阵列，并且在孔径位置处形成投影透镜。该投影透镜阵列形成了投影透镜系统阵列，各投影透镜系统包括形成于一个或多个投影透镜阵列相应点处的一个或多个投影透镜。以范围在约为板孔径直径的1至3倍的间距布置投影透镜系统，并且各投影透镜系统用于将一个或多个带电粒子子束(21)缩小并聚焦在目标平面上，各投影透镜系统具有约为间距的1至5倍范围内的有效焦距，并且将带电粒子子束缩小至少25倍。

公开(公告)号：CN104662637B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201380049471.5

申请日：2013-06-28

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 奥利佛·V·那莫佛斯奇 ,  沙杜·佩特尔 ,  查理斯·A·泰欧多尔赤克

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/317 ,  H01J37/147

CPC分类号： H01J37/1472 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3171 ,  H01J49/062 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/151 ,  H01Q9/04 ,  Y10T428/2918 ,  Y10T428/292

摘要： 本发明提供一种复合式静电杆与静电透镜。所述复合式静电杆可包括具有长度L及截面积A的本体。所述本体可包括具有第一材料的外部部分以及具有不同于第一材料的第二材料的核心部分，且所述核心部分被所述外部部分包围，其中复合式静电杆的自然频率大于具有长度L及截面积A的石墨杆的自然频率。

公开(公告)号：CN102017053B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN200980114873.2

申请日：2009-02-26

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： M·J-J·威兰 ,  伯特·J·坎菲尔贝克 ,  亚历山大·H·V·范维恩 ,  皮特·克鲁伊特 ,  斯蒂杰恩·W·H·K·斯蒂恩布林克

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/12 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/151

摘要： 一种使用多个子束(21)照射目标(11)的带电粒子多子束系统。该系统包括其中形成有多个孔(18)的第一板(12、13、14)，具有在各孔的位置处形成的多个静电投影透镜系统，使得各电子子束通过相应的投影透镜系统。孔具有充分一致的布局和尺度，使得能够用公共控制电压(V1、V2、V3)将子束聚焦到目标的表面上。优选地，静电投影透镜系统由公共电信号控制，来在不校正单个电子子束的焦点和路径的情况下将电子子束聚焦到表面上。

公开(公告)号：CN106373846A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201611009755.3

申请日：2016-11-16

申请人： 上海华力微电子有限公司

发明人： 时锋 ,  赖朝荣 ,  王智 ,  苏俊铭

IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/1472 ,  H01J2237/151 ,  H01J2237/31705

摘要： 本发明提出一种晶圆高能离子注入机金属污染改善方法，包括下列步骤：由离子源产生离子并经过与镁炉交换电子变为负离子；负离子通过加速后与气体交换电子重新变更为正离子；所述正离子通过加速后，通过能量筛选电磁场筛选出满足注入能量的束流；在所述能量筛选电磁场后增加对束流垂直方向偏转一定角度的电场来消除金属污染。本发明提出的晶圆高能离子注入机金属污染改善方法，通过在能量筛选电磁场后，增加一个对束流垂直偏转方向的电场，筛选出需要的能量源种束流，将不满足能量要求的金属等注入消除，从而降低金属污染。

公开(公告)号：CN103688334A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201180063161.X

申请日：2011-12-12

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 史费特那·瑞都凡诺 ,  彼德·L·凯勒曼 ,  法兰克·辛克莱 ,  罗伯特·C·林德柏格

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/15 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/15 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/151

摘要： 一种在静电透镜(700)中控制带电粒子束偏向的方法，包括建立对称静电透镜组态，所述组态包括在对称于中央射线轨迹(702)的未调整位置(L1)上配置多个电极(714,716)，所述多个电极被施加一组未调整电压，以产生相对对称于中央射线轨迹的场。对应于未调整电压的对称电场被计算。多个下部电极(716)被安排至不对称于中央射线轨迹的调整位置(L2)上。一组调整电压由下部电极得到。其中，所述的一组调整电压在对称电场的各自调整位置上具有一组各自相应的电位。当带电粒子通过时，此组调整电压被施加被于不对称的透镜组态。

公开(公告)号：CN1759465A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN200480006424.3

申请日：2004-03-10

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： 彼得·科瑞特

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/063 ,  H01J3/02

CPC分类号： H01J3/07 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/063 ,  H01J37/12 ,  H01J37/153 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/151 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31774

摘要： 本发明涉及一种用于产生多个带电粒子小波束的装置，其包括一个用于产生发散带电粒子波束的带电粒子源，一个用于折射所述发散带电粒子波束的会聚装置，和一个由多个透镜构成的透镜阵列，其中所述透镜阵列位于所述带电粒子源和所述会聚装置之间。这样，有可能减小会聚装置的像差。

公开(公告)号：CN104823263B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201380061200.1

申请日：2013-10-22

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 常胜武

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/151

摘要： 本发明提供一种处理离子束的装置，其为离子束扫描总成。离子束扫描总成(202，300)包括扫描电极组(314a，314b，316a，316b，318)，扫描电极组界定一间隙(330)以接收离子束或在第一平面(xz‑平面)扫描离子束；以及静电多极透镜系统，包括多个电极(304，306，310，312)，沿部分藉由一对扫描电极所界定的离子束前进路径排列。静电多极透镜系统配置为在垂直于第一平面的方向(y)上改变离子束的形状。本发明的处理离子束的装置能在离子植入系统中形成更均匀的离子束。

公开(公告)号：CN103688334B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201180063161.X

申请日：2011-12-12

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 史费特那·瑞都凡诺 ,  彼德·L·凯勒曼 ,  法兰克·辛克莱 ,  罗伯特·C·林德柏格

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/15 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/15 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/151

摘要： 一种在静电透镜(700)中控制带电粒子束偏向的方法，包括建立对称静电透镜组态，所述组态包括在对称于中央射线轨迹(702)的未调整位置(L1)上配置多个电极(714,716)，所述多个电极被施加一组未调整电压，以产生相对对称于中央射线轨迹的场。对应于未调整电压的对称电场被计算。多个下部电极(716)被安排至不对称于中央射线轨迹的调整位置(L2)上。一组调整电压由下部电极得到。其中，所述的一组调整电压在对称电场的各自调整位置上具有一组各自相应的电位。当带电粒子通过时，此组调整电压被施加被于不对称的透镜组态。

公开(公告)号：CN1759465B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200480006424.3

申请日：2004-03-10

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： 彼得·科瑞特

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/063 ,  H01J3/02

CPC分类号： H01J3/07 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/063 ,  H01J37/12 ,  H01J37/153 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/151 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31774

摘要： 本发明涉及一种用于产生多个带电粒子小波束的装置，其包括一个用于产生发散带电粒子波束的带电粒子源，一个用于折射所述发散带电粒子波束的会聚装置，和一个由多个透镜构成的透镜阵列，其中所述透镜阵列位于所述带电粒子源和所述会聚装置之间。这样，有可能减小会聚装置的像差。

公开(公告)号：CN104823263A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380061200.1

申请日：2013-10-22

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 常胜武

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/151

摘要： 一种离子束扫描总成(202，300)包括扫描电极组(314a，314b，316a，316b，318)，扫描电极组界定一间隙(330)以接收离子束或在第一平面(xz-平面)扫描离子束。静电多极透镜系统，包括多个电极(304，306，310，312)，沿部分藉由一对扫描电极所界定的离子束前进路径排列。静电多极透镜系统经组态以在垂直于第一平面的方向(y)上改变离子束的形状。