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公开(公告)号：CN103081059B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201180041935.9
申请日：2011-08-30
申请人： 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/027 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67703 , G05B19/4188 , G05B2219/32395 , G05B2219/32396 , H01L21/02 , H01L21/67727 , Y02P90/04 , Y02P90/24 , Y02P90/28 , Y02P90/86 , Y10T29/41
摘要： 本发明的课题在于与器件制造的变种变量生产弹性对应。本发明是对0.5英寸的晶片进行单晶片处理方式的器件制造方法及装置，其配置多个密闭型的单位处理装置(1)而形成制造生产线，该单位处理装置(1)可搬且优选具有规格化的外形，并对制造工艺中的一个处理工艺进行处理，在该器件的制造单位数比单位处理装置的数量多的情况下，与该器件的处理工艺的顺序对应而将该单位处理装置以流水车间方式配置，在该器件的制造单位数与单位处理装置的数量同等的情况下，将该单位处理装置以按照工序的顺序的大分类而分类配置的分类车间方式配置，另外在制造单位数明显低于工序数的情况下，将该单位处理装置以多单元车间方式配置，该多单元车间方式是按照一个工艺种类而将一台左右的单位处理装置配置在一个单元内且由多个所述单元构成的方式。
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公开(公告)号：CN105374724B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510790429.X
申请日：2011-08-30
申请人： 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/02 , G05B19/00
CPC分类号： H01L21/67703 , G05B19/4188 , G05B2219/32395 , G05B2219/32396 , H01L21/02 , H01L21/67727 , Y02P90/04 , Y02P90/24 , Y02P90/28 , Y02P90/86 , Y10T29/41
摘要： 本发明的课题在于与器件制造的变种变量生产弹性对应。本发明的器件制造系统具有：能够移动的多个单位处理装置，其担任器件制造工艺中的规定的处理工艺且具有密闭型的工艺处理部；密闭型的搬运容器，其收纳晶片；密闭型的晶片进出前室，其安装在各个所述单位处理装置的相同位置，在所述工艺处理部与所述搬运容器之间交接所述晶片，所述器件制造系统的特征在于，所述单位处理装置分别具有相同的外形形状，并且所述晶片进出前室分别具有相同的晶片交接机构和外形形状。
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公开(公告)号：CN105353732A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510735292.8
申请日：2015-11-03
申请人： 成都易禧科技管理发展有限公司
发明人： 林海
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32396
摘要： 开发出一种全自动生产、快速分配和智能输出的超级绿色环保厨房系统装置。是满足一个小区或是四周临近楼房的供餐系统装置中的超级厨房。它是24小时全天候智能化，规模化，标准化，工业化，无菌化，流水线式生产超级厨房；它是垃圾集中处理成饲料和肥料的超级厨房；它是连接无人机配送或是人员配送或是户户通智能管道配送的必备设施，是安装用户享受世界各地的美味佳肴的随叫随到的先决条件。而且开发本超级厨房也是推动餐饮业特别是中餐业发扬光大的原动力。
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公开(公告)号：CN105374724A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510790429.X
申请日：2011-08-30
申请人： 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/02 , G05B19/00
CPC分类号： H01L21/67703 , G05B19/4188 , G05B2219/32395 , G05B2219/32396 , H01L21/02 , H01L21/67727 , Y02P90/04 , Y02P90/24 , Y02P90/28 , Y02P90/86 , Y10T29/41
摘要： 本发明的课题在于与器件制造的变种变量生产弹性对应。本发明的器件制造系统具有：能够移动的多个单位处理装置，其担任器件制造工艺中的规定的处理工艺且具有密闭型的工艺处理部；密闭型的搬运容器，其收纳晶片；密闭型的晶片进出前室，其安装在各个所述单位处理装置的相同位置，在所述工艺处理部与所述搬运容器之间交接所述晶片，所述器件制造系统的特征在于，所述单位处理装置分别具有相同的外形形状，并且所述晶片进出前室分别具有相同的晶片交接机构和外形形状。
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公开(公告)号：CN103081059A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201180041935.9
申请日：2011-08-30
申请人： 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/027 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67703 , G05B19/4188 , G05B2219/32395 , G05B2219/32396 , H01L21/02 , H01L21/67727 , Y02P90/04 , Y02P90/24 , Y02P90/28 , Y02P90/86 , Y10T29/41
摘要： 本发明的课题在于与器件制造的变种变量生产弹性对应。本发明是对0.5英寸的晶片进行单晶片处理方式的器件制造方法及装置，其配置多个密闭型的单位处理装置(1)而形成制造生产线，该单位处理装置(1)可搬且优选具有规格化的外形，并对制造工艺中的一个处理工艺进行处理，在该器件的制造单位数比单位处理装置的数量多的情况下，与该器件的处理工艺的顺序对应而将该单位处理装置以流水车间方式配置，在该器件的制造单位数与单位处理装置的数量同等的情况下，将该单位处理装置以按照工序的顺序的大分类而分类配置的分类车间方式配置，另外在制造单位数明显低于工序数的情况下，将该单位处理装置以多单元车间方式配置，该多单元车间方式是按照一个工艺种类而将一台左右的单位处理装置配置在一个单元内且由多个所述单元构成的方式。
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