公开(公告)号：CN107111306A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580070906.3

申请日：2015-12-04

申请人： 赛峰飞机发动机公司

发明人： 奥利维尔·法瑞 ,  阿诺德·凯姆贝弗特 ,  帕斯卡尔·考汀 ,  尼古拉斯·哈杜安 ,  查尔斯·克拉尔特·德·朗加范特

IPC分类号： G05B19/418 ,  G06Q10/06 ,  G06Q50/04

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G06Q10/06 ,  G06Q10/06395 ,  G06Q50/04 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/30

摘要： 本发明涉及一种基于对至少一个表示零件的特征尺寸的统计指标的分析来制造采用设备生产的零件的方法，根据该方法：a)随着时间推移选取多个样本，每个样本包括采用制造设备生产的多个零件；b)测量样本的每个零件的特征尺寸；c)针对所采集的每个样本计算所测量的特征尺寸的均值μ和标准差σ，然后根据所采集的每个样本计算根据公式(I)定义的统计指标值I3C，其中，Ccmax是给制造零件施加的最大定心系数；TS是所测量的特征尺寸的上容差限；TI是所测量的特征尺寸的下容差限；d)将上述针对所采集的样本计算的统计指标值I3C与参考值进行比较以检测可能的偏差；e)根据比较结果，对制造设备的调节参数进行调整以优化统计指标值和参考值之间的偏差来引导用于零件的制造流程。

公开(公告)号：CN105917756A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201580004699.1

申请日：2015-01-27

申请人： 欧姆龙株式会社

发明人： 光田裕一 ,  森弘之 ,  小仓克敏

IPC分类号： H05K13/08 ,  G05B19/418

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32191 ,  H05K13/083 ,  Y02P90/22

摘要： 在生产线上设置有生产设备和检查装置，生产设备具有为了探测本机的动作的异常而监视针对多个观测项目的观测值的功能，检查装置进行由所述生产设备处理后的制品的检査。质量管理装置具有：观测数据获取单元，其获取观测数据，该观测数据记录有在处理各制品时由所述生产设备观测到的各观测项目的观测值；以及不良原因估计单元，所述检査装置在制品中检测到不良的情况下，该不良原因估计单元使用所述观测数据将处理检测到所述不良的不良品时的观测值与处理未检测到所述不良的良品时的观测值进行比较，从而判断能成为所述不良的原因的所述生产设备的动作的异常是否已发生。

公开(公告)号：CN105867331A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201610270848.5

申请日：2016-04-26

申请人： 东莞市上合旺盈印刷有限公司

发明人： 李小平 ,  林奕宏

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： Y02P90/02 ,  G05B19/4183 ,  G05B2219/32191

摘要： 本发明公开了一种适用于手啤机数据采集装置，包括中央服务器、ERP服务系统、数据查询平台、客户端服务平台、信息采集终端、PLC工控机和人机界面。本发明的有益效果是：通过PLC工控机进行计量后将数据通过信息采集终端上传至客户端服务平台，再由客户端服务平台上传至中央服务器，通过ERP服务系统对手啤机的当前产量自动读取，解决了人工计量容易出错的问题；通过信息采集终端将手啤机的产品料号、生产工单号、工厂订单号、原料投入、工单产量、订单数量、缺口数量、机器运行时间、停机时间进行信息采集，将数据通过客户端服务平台上传至中央服务器，通过ERP服务系统对手啤机的各种数据自动读取，实现对手啤机生产情况的及时监控。

公开(公告)号：CN103843124A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280048731.2

申请日：2012-08-30

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： 崔东燮 ,  戴维·天

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B13/04 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/42001 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明可具体实施于一种用于监视并控制例如集成电路制作过程等制造过程中的反馈控制的系统及方法中。过程控制参数可包含通过在硅晶片上操作的光刻扫描仪或步进器所施加的平移、旋转、放大、剂量及焦距。使用覆盖误差来计算所述反馈控制过程中使用的测得参数。统计参数经计算、正规化并绘制在一组共同轴上以一目了然地比较测得参数与过程控制参数以促进疑难参数的检测。还以图表方式比较参数趋势与背景松弛情境。可确定例如EWMAλ等反馈控制参数并将其用作反馈参数以用于精炼基于所述测得参数计算对所述过程控制参数的调整的APC模型。

公开(公告)号：CN101128786B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200680006344.7

申请日：2006-01-27

申请人： 先进微装置公司

发明人： G·弗拉赫 ,  T·夸尔格

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31336 ,  G05B2219/32184 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26

摘要： 本发明提供一种自动化产能控制系统及方法。通过在实体层级(entity level)上收集多个工艺工具的特定工具信息，而可在适度短的时间间隔中在高统计显著性的情形下计算适当的与产能相关的性能特性(performance characteristic)。此外，可将自工具信息得到的所述性能特性与诸如由动态仿真计算提供的参考数据比较，以便根据标准工艺管制机制而识别高性能以及低性能的设备。

公开(公告)号：CN108469793A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201810282070.9

申请日：2012-08-30

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： 崔东燮 ,  戴维·天

IPC分类号： G05B19/418 ,  G05B13/04

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B13/04 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/42001 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

摘要： 本公开涉及一种检测及校正疑难的先进过程控制参数的方法及系统。本发明可具体实施于一种用于监视并控制例如集成电路制作过程等制造过程中的反馈控制的系统及方法中。过程控制参数可包含通过在硅晶片上操作的光刻扫描仪或步进器所施加的平移、旋转、放大、剂量及焦距。使用覆盖误差来计算所述反馈控制过程中使用的测得参数。统计参数经计算、正规化并绘制在一组共同轴上以一目了然地比较测得参数与过程控制参数以促进疑难参数的检测。还以图表方式比较参数趋势与背景松弛情境。可确定例如EWMAλ等反馈控制参数并将其用作反馈参数以用于精炼基于所述测得参数计算对所述过程控制参数的调整的APC模型。

公开(公告)号：CN103489054B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201310233441.1

申请日：2013-06-13

申请人： 株式会社东芝

发明人： 黄琳婷

IPC分类号： G06Q10/06 ,  G06Q50/04

CPC分类号： G05B23/024 ,  G05B13/02 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G06F17/16 ,  G06F17/18 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明提供电子器件的生产管理装置及生产管理系统。本生产管理装置使用将电子器件的构成要素的制造条件值与制造的构成要素的特性相互关联起来的数据库，生成模型函数，决定第1制造条件值。使用利用决定的第1制造条件值实际形成构成要素时的特性的测定值，计算平方预测误差。在平方预测误差大于基准值时，不修正模型函数而将第1制造条件值作为接下来的电子器件的第2制造条件值。在平方预测误差小于等于基准值时，使用追加了实际形成时的值的数据库来生成第2模型函数，根据第2模型函数决定第2制造条件值。

公开(公告)号：CN105899793A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201480072626.1

申请日：2014-12-24

申请人： 斯奈克玛

发明人： 若斯兰·考帕德 ,  杭-米·特朗

IPC分类号： F02K1/76 ,  G05B23/02

CPC分类号： G07C5/0816 ,  B64D31/06 ,  B64D45/00 ,  B64D2045/0085 ,  F02K1/76 ,  F02K1/763 ,  F05D2260/80 ,  F05D2260/821 ,  F05D2270/64 ,  F05D2270/821 ,  G05B23/024 ,  G05B23/0283 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  Y02P90/22 ,  Y02T50/671

摘要： 本发明涉及一种用于对具有可收起的门的航空器推力反向器进行监控的方法，该推力反向器为具有液压致动器并且配备有开关(3a，4a，5a，3B，4b，5b，Sa，Sb)的推力反向器，这些开关被布置成每个开关返回关于门的位置的信息项，该发动机包括计算机(3)，该计算机被配置为基于由开关返回的信息来测量(E1)开关的位置的代表性参数，其特征在于，该方法包括计算(E2)所测量的参数的一个或多个统计指标以及分析(E3)所计算的一个或多个统计指标的时间进展。本发明还涉及一种用于实现该方法的计算机程序。

公开(公告)号：CN103489054A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201310233441.1

申请日：2013-06-13

申请人： 株式会社东芝

发明人： 黄琳婷

IPC分类号： G06Q10/06 ,  G06Q50/04

CPC分类号： G05B23/024 ,  G05B13/02 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/32179 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G06F17/16 ,  G06F17/18 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/22

摘要： 本发明提供电子器件的生产管理装置及生产管理系统。该生产管理装置使用将电子器件的构成要素的制造条件值与制造的构成要素的特性相互关联起来的数据库，生成模型函数，决定第1制造条件值。使用利用决定的第1制造条件值实际形成构成要素时的特性的测定值，计算平方预测误差。在平方预测误差大于基准值时，不修正模型函数而将第1制造条件值作为接下来的电子器件的第2制造条件值。在平方预测误差小于等于基准值时，使用追加了实际形成时的值的数据库来生成第2模型函数，根据第2模型函数决定第2制造条件值。

公开(公告)号：CN101128786A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200680006344.7

申请日：2006-01-27

申请人： 先进微装置公司

发明人： G·弗拉赫 ,  T·夸尔格

IPC分类号： G05B19/418

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31336 ,  G05B2219/32184 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/32201 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26

摘要： 本发明提供一种自动化产能控制系统及方法。通过在实体层级(entity level)上收集多个工艺工具的特定工具信息，而可在适度短的时间间隔中在高统计显著性的情形下计算适当的与产能相关的性能特性(performance characteristic)。此外，可将自工具信息得到的所述性能特性与诸如由动态仿真计算提供的参考数据比较，以便根据标准工艺管制机制而识别高性能以及低性能的设备。