光学成像写入系统
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102216849B

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN200980137458.9

    申请日:2009-09-11

    IPC分类号: G03B27/62 G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种在光刻制程中处理相邻成像区之间的影像数据的系统及方法。在一实施例中,该光学成像写入系统包含:复数个空间光调制器(SLM)成像单元,其中各该SLM成像单元包含一或多个照明光源、一或多个定线光源、一或多个投影透镜及复数个微镜,该微镜用于将该一或多个照明光源的光投射至相对应的该一或多个投影透镜;及一用以控制该SLM成像单元的控制器,其中当该SLM成像单元于一光刻制程中将光掩膜数据写入基板时,该控制器可分别调整各该SLM成像单元。

    原稿尺寸检测方法,原稿读取装置及图像形成装置

    公开(公告)号:CN1619430A

    公开(公告)日:2005-05-25

    申请号:CN200410095286.2

    申请日:2004-11-22

    IPC分类号: G03G15/00 H04N1/04 G01B11/02

    摘要: 本发明涉及原稿尺寸检测方法,原稿读取装置以及图像形成装置。原稿读取装置包括:原稿台,配置在原稿台下面的点光源阵列照明2b,以扫描车支承点光源阵列照明2b并与原稿台上的原稿发生相对移动的移动装置,接受被照明的原稿的反射光的受光元件。原稿尺寸检测方法根据受光元件内的像素是否对来自原稿的反射光有反应,判定原稿尺寸。将点光源阵列照明2b的点光源元件分割成若干区a-g,沿着点光源阵列照明的长度方向,从与原稿基准侧的最小原稿尺寸相对应的区d朝着最大原稿尺寸侧的区g,按各区顺序反复点亮·熄灭,检测原稿端部。能高分辨率高精度地检测各种大小的原稿尺寸,成本低,电力消耗少。

    竖直的校正工作台机构
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1173224C

    公开(公告)日:2004-10-27

    申请号:CN00106519.X

    申请日:2000-02-29

    发明人: 冈本惇

    IPC分类号: G03B27/53 G03B27/58 H05K3/06

    CPC分类号: G03B27/62

    摘要: 一种用于夹持形成印刷线路板的面板的竖直的校正工作台机构,该机构具有竖直的支承壁,和与支承壁前表面相面对的竖直设置的校正工作台,该工作台的窗口上设有曝光板。该校正工作台借助多个工作台支承部件支承在支承壁上并可在竖直面上移动。每一工作台支承部件包括固定于支承壁上的球状脚轮,该脚轮内有球体,支承部件还包括固定在校正工作台上的接触块。拉伸弹簧迫使接触块的表面和球体相抵靠。工作台移动部件也设置于支承壁和校正工作台之间。每一工作台移动部件包括校正工作台上的接触块和支承壁上的随动辊轮。弹簧迫使随动辊轮抵靠在接触块上。脉冲马达产生校正工作台相对于支承壁的移动。

    光学成像写入系统
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102216849A

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN200980137458.9

    申请日:2009-09-11

    IPC分类号: G03B27/62 G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种在光刻制程中处理相邻成像区之间的影像数据的系统及方法。在一实施例中,该光学成像写入系统包含:复数个空间光调制器(SLM)成像单元,其中各该SLM成像单元包含一或多个照明光源、一或多个定线光源、一或多个投影透镜及复数个微镜,该微镜用于将该一或多个照明光源的光投射至相对应的该一或多个投影透镜;及一用以控制该SLM成像单元的控制器,其中当该SLM成像单元于一光刻制程中将光掩膜数据写入基板时,该控制器可分别调整各该SLM成像单元。

    竖直的校正工作台机构
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1311626A

    公开(公告)日:2001-09-05

    申请号:CN00106519.X

    申请日:2000-02-29

    发明人: 冈本惇

    IPC分类号: H05K3/06 G03F9/00

    CPC分类号: G03B27/62

    摘要: 一种用于夹持形成印刷线路板的面板25的竖直的校正工作台机构21,该机构具有竖直的支承壁43,和与支承壁43前表面相面对的竖直设置的校正工作台33,该工作台的窗口上设有曝光板23。该校正工作台借助多个工作台支承部件35支承在支承壁43上并可在竖直面上移动。每一工作台支承部件35包括固定于支承壁43上的球状脚轮51,该脚轮内有球体51a,支承部件还包括固定在校正工作台33上的接触块53。拉伸弹簧55迫使接触块53的表面和球体相抵靠。工作台移动部件37也设置于支承壁43和校正工作台33之间。每一工作台移动部件37包括校正工作台33上的接触块85和支承壁43上的随动辊轮83。弹簧87迫使随动辊轮83抵靠在接触块85上。脉冲马达71产生校正工作台33相对于支承壁35的移动。