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公开(公告)号：CN108168765A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201810043620.1
申请日：2015-01-26
申请人： 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
CPC分类号： G01L9/00 , B81B3/0072 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , G01L9/0044 , G01L9/0072
摘要： 本发明的各实施方式总体上涉及具有改进的集成和优化的封装的传感器结构、系统和方法。在一个实施例中，传感器器件包括：基片；多个不同的、单独的、不接触的支撑元件，彼此间隔开并且布置在基片上，多个支撑元件中的每个支撑元件成圆柱形；以及可移动元件，由多个不同的、单独的、不接触的支撑元件支撑在基片上并且与基片间隔开，其中可移动元件、基片以及多个不同的、单独的、不接触的支撑元件限定腔体，可移动元件能够响应于由传感器器件感测的物理量而偏转进入腔体。上述传感器更容易制造为集成部件并且提供传感器薄膜、薄片或者其它可移动元件的改进的偏转。
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公开(公告)号：CN107003196A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580065965.1
申请日：2015-11-03
申请人： 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人： 武尔费特·德鲁斯 , 尼尔斯·波纳特 , 安德烈亚斯·罗斯贝格 , 埃尔克·施密特 , 英·图安·塔姆
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/0044 , G01L19/145
摘要： 本发明涉及一种压力测量单元(1)，包括：基体(3)，其至少一部分基本为圆柱形；测量膜(2)，其沿着周向接合部以压力密闭方式接合，以在基体(3)和测量膜(2)之间形成测量室(5)；接合装置(12)，其用于接合在所述基体(3)和所述测量膜(2)之间的所述周向接合部(4)。压力测量单元的特征在于，基体(3)和/或测量膜(2)具有基本上阶梯形的凹部(13)，接合装置(12)至少部分地插入所述阶梯形的凹部(13)中，使得在基体(3)和测量膜(2)之间产生最小距离。
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公开(公告)号：CN104246462B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201380016154.3
申请日：2013-03-20
申请人： 麦克罗特尔电子技术股份公司
发明人： 阿西尔·科利亚蒂 , 罗伯托·马伊 , 彼得罗·雷戈廖西 , 安吉洛·马里奥·阿达莫·阿尔伯尼科
CPC分类号： G01L9/0054 , B23K1/0008 , B23K1/0016 , B23K1/19 , C04B37/005 , C04B2237/10 , G01L9/0042 , G01L9/0044 , G01L9/0048 , G01L9/0052 , G01L9/0075 , G01L19/04 , G01L19/06 , G01L19/0618 , H01L41/25
摘要： 一种生产压力传感器(130)的方法，该压力传感器(130)包括由陶瓷材料制成的平坦柔性膜(100)以及由陶瓷材料制成的该平坦柔性膜(100)的平坦刚性支撑件(110)，该方法包括以下步骤：‑在该膜(100)上实现电路(16，18)；‑在该支撑件(110)上实现与外侧的电接触；‑将导电材料沉积在该支撑件(110)上；‑实现该膜(100)和该支撑件(110)之间的电耦合和机械耦接；通过至少一个导电可烧结电连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的电耦合，通过至少一个可烧结机械连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的机械耦接，该可烧结机械连接材料是与该可烧结电连接材料层电绝缘的和/或隔离的，在烧结熔炉中该可烧结电连接材料层和该可烧结机械连接材料层在单个步骤中一起经历回流。
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公开(公告)号：CN104823032B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201380062118.0
申请日：2013-10-29
申请人： 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人： 武尔费特·德鲁斯 , 尼尔斯·波纳特 , 安德烈亚斯·罗斯贝格 , 埃尔克·施密特
CPC分类号： G01L19/06 , G01L9/0044 , G01L19/0618
摘要： 一种压力测量单元(20)具有弹性测量膜述测量膜(21)，并且第二压力可以被施加到在背向所述第一侧的第二侧上。根据所述第一压力和所述第二压力之间的差可偏移所述测量膜。所述测量膜压密地将面向所述膜的第一侧的第一体积与面向所述测量膜的第二侧的第二体积隔离。所述压力测量单元还具有换能器，用于将所述测量膜的压力相关偏移转换为电或光学信号。所述测量膜特征在于，在所述测量膜的平衡状态下，在至少处于径向边缘区域(24)的至少所述测量膜的表面处具有压应力，在所述边缘区域中，在压力加载下在所述测量膜的偏移状态下，发生最大张应力。(21)，其中在第一侧上第一压力可以被施加到所
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公开(公告)号：CN104823032A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062118.0
申请日：2013-10-29
申请人： 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人： 武尔费特·德鲁斯 , 尼尔斯·波纳特 , 安德烈亚斯·罗斯贝格 , 埃尔克·施密特
CPC分类号： G01L19/06 , G01L9/0044 , G01L19/0618
摘要： 一种压力测量单元(20)具有弹性测量膜(21)，其中在第一侧上第一压力可以被施加到所述测量膜(21)，并且第二压力可以被施加到在背向所述第一侧的第二侧上。根据所述第一压力和所述第二压力之间的差可偏移所述测量膜。所述测量膜压密地将面向所述膜的第一侧的第一体积与面向所述测量膜的第二侧的第二体积隔离。所述压力测量单元还具有换能器，用于将所述测量膜的压力相关偏移转换为电或光学信号。所述测量膜特征在于，在所述测量膜的平衡状态下，在至少处于径向边缘区域(24)的至少所述测量膜的表面处具有压应力，在所述边缘区域中，在压力加载下在所述测量膜的偏移状态下，发生最大张应力。
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公开(公告)号：CN101982864B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201010298752.2
申请日：2010-09-30
申请人： 深圳市金亿帝科技有限公司
发明人： 章年平
CPC分类号： H01G5/16 , A61B5/021 , A61B2562/0214 , A61B2562/0247 , G01L9/0044 , G01L9/0072 , G01L19/148
摘要： 本发明公开了一种可变电容器的可动电极，包括板状的压力感应部和在其径向上设置的弹性形变部，所述压力感应部和弹性形变部连为一体，当所述压力感应部在轴向受力时，所述弹性形变部能够发生相应的形变并使所述压力感应部沿轴向移动。本发明还公开了采用上述可动电极的电极装置、压力传感器及采用该压力传感器的压力计及其制作方法。采用本发明，压力传感器的零件数更少、组装工序更简单、生产效率更高，制造成本更低。
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公开(公告)号：CN103261866A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180060295.6
申请日：2011-11-23
申请人： 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人： 彼得·泽尔德斯 , 安德烈亚斯·罗斯贝格 , 迪特尔·施米特 , 安德烈·贝林格尔
CPC分类号： G01L7/00 , B23K31/02 , G01L9/0044 , G01L9/0075
摘要： 一种制造压力传感器的方法，所述方法包括：提供陶瓷平台、陶瓷测量膜和中间环；通过气相沉积，至少在第一表面的第一表面段上和第二表面的第二表面段上提供活性钎焊材料，其中所述第一表面是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述中间环连接的平台表面、或者是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述平台连接的所述中间环的表面；其中所述第二表面是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述中间环连接的测量膜表面、或是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述测量膜连接的所述中间环的表面；将所述中间环布置在所述测量膜和所述平台之间；和在焊接或钎焊工艺中加热所述活性硬焊料或钎焊料，其中在所述焊接或钎焊工艺期间，所述中间环本质上保持固态。
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公开(公告)号：CN101241031B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200810083218.2
申请日：2002-12-24
申请人： 德怀尔仪器公司
发明人： 特雷斯·J·特罗耶
CPC分类号： G01L19/14 , G01L9/0044 , G01L9/0072
摘要： 一种测量流体压力的压力传感器，该压力传感器包括：第一主体部件；第二主体部件；以及径向张紧的柔性隔膜，该隔膜设置在所述第一主体部件和所述第二主体部件之间，所述第一主体部件和所述隔膜形成第一流体腔室，所述第二主体部件和所述隔膜形成第二流体腔室；所述第一主体部件和所述第二主体部件由具有第一热膨胀系数的第一材料形成，所述隔膜由具有第二热膨胀系数的第二材料形成，其中所述第一热膨胀系数与所述第二热膨胀系数的差不超过2.7×10-6m/m/℃。
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公开(公告)号：CN104470666B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201380036655.8
申请日：2013-06-07
申请人： 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
发明人： 尼尔斯·波纳特 , 安德烈亚斯·罗斯贝格 , 埃尔克·施密特
CPC分类号： G01L9/0072 , B23K1/0008 , B23K1/0016 , B23K1/19 , C04B37/006 , C04B2237/12 , C04B2237/122 , C04B2237/126 , C04B2237/343 , C04B2237/55 , C04B2237/597 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , G01L9/0044 , G01L9/0075 , Y10T403/479
摘要： 本发明涉及一种组件，其包括：利用活性硬焊料或钎焊料(5)的接缝连接的第一陶瓷体和第二陶瓷体(1，2)，其中所述活性硬焊料或钎焊料(5)在连续主体积上均分，所述主体积包括至少50％的所述接缝体积，具有有液相线温度Tl(CM)的平均组成CM。其中，根据本发明，所述接缝的边缘区域具有有液相线温度Tl(CE)的平均组成CE，所述接缝的边缘区域接触所述陶瓷体(1，2)中的至少一个，所述液相线温度Tl(CE)比所述主体积的平均组成CM的液相线温度Tl(CM)高至少20K、优选地至少50K且特别优选地至少100K。
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公开(公告)号：CN107356363A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710323711.6
申请日：2017-05-10
申请人： 哈立德·阿布萨利赫
发明人： 哈立德·阿布萨利赫
CPC分类号： G01L7/022 , A61B2562/0247 , A61B2562/0261 , G01L1/22 , G01L9/00 , G01L9/0044 , G01L9/0051 , G01L11/02 , G01L19/147
摘要： 本发明涉及一种用于测量流体中压力的传感器，传感器的主体(1)包括膜片(2)和周边壁(3)，所述周边壁形成围绕所述膜片并用于支承所述膜片的周边支承件，其特征在于：-膜片和周边壁由一个单体件形成；以及-膜片和周边壁一起形成一个大致呈平面的光滑的前表面(4)，所述前表面用于与所述流体接触。
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