公开(公告)号：CN106092333A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610571486.3

申请日：2016-07-19

Applicant: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院

Inventor： 杨俊 ,  姬乙雄 ,  汤林龙 ,  冯双龙 ,  周大华 ,  申钧 ,  魏兴战 ,  史浩飞 ,  杜春雷

IPC: G01J5/10

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J2005/103

Abstract: 本发明涉及一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计，包括氮化硅支撑层(5)，所述氮化硅支撑层(5)向上依次为第一碳纳米红外吸收层(4)，热敏感层(3)，第二碳纳米红外吸收层(2)和氮化硅保护层(1)；所述第二碳纳米红外吸收层2和氮化硅保护层(1)构成微测辐射热计的顶部红外吸收层；所述第一碳纳米红外吸收层4和氮化硅支撑层(5)构成微测辐射热计的底部红外吸收层，底部红外吸收层与金属反射层(7)之间通过支撑桥墩(6)形成红外吸收谐振腔(9)；所述金属反射层(7)位于硅衬底(8)之上。该微测辐射热计采用碳纳米材料作为红外吸收增强层，不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度，而且可以实现宽波段红外吸收，器件结构简单，有优异的非制冷红外探测性能。

公开(公告)号：CN107356341A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201710144113.2

申请日：2017-03-10

Applicant: 杭州立昂微电子股份有限公司

Inventor： 刘伟

IPC: G01J5/14 ,  G01J5/12 ,  G01J5/10 ,  H01L35/32

CPC classification number: G01J5/14 ,  G01J5/10 ,  G01J5/12 ,  G01J2005/103 ,  G01J2005/106 ,  G01J2005/123 ,  H01L35/32

Abstract: 本发明公开了一种半导体热电堆红外探测器及制造方法，包括单晶硅衬底，垂直于单晶硅衬底下表面并向上垂直延伸的若干个柱状的热电偶，所述热电偶包括由第一材料构成的第一实心柱和由第二材料构成的第二实心柱，第一实心柱和第二实心柱平行延伸，第一实心柱和第二实心柱之间设有间隔，第一实心柱和第二实心柱外侧均设有第三介质层；每个热电偶的第一实心柱和第二实心柱的顶部均通过伸出单晶硅衬底上表面的第一金属层电连接，各个第一金属层之间和各个第一金属层之上均设有第一介质层，第一介质层上设有红外线吸收膜。本发明具有易于制造，可靠性好的特点。

公开(公告)号：CN106949978A

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201710076923.9

申请日：2017-02-13

Applicant: 清华大学

Inventor： 王喆垚

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/08

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/0806 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/103 ,  G01J2005/106

Abstract: 本发明涉及一种热成像传感器像素单元及其阵列，该像素单元包括：衬底、热量汇聚组件和热吸收组件；热吸收组件位于衬底和热量汇聚组件之间；热量汇聚组件包括聚焦透镜；聚焦透镜内嵌在中空的框架内悬空架设在热吸收组件的上方；热吸收组件包括热吸收板和位于热吸收板表面的温度传感器；热吸收板通过第一支撑架悬空架设在衬底的上方；聚焦透镜用于将热辐射汇聚至热吸收板的表面。本发明实施例提供的技术方案，通过设置悬空的聚焦透镜使物体的热辐射进行汇聚，从而减少了热散射，提高了热吸收的比例，进而提高了检测的准确度。

公开(公告)号：CN107290067A

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201610205677.8

申请日：2016-04-01

Applicant: 上海巨哥电子科技有限公司

Inventor： 陈学枝 ,  沈憧棐

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/02

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/02 ,  G01J2005/103 ,  G01J2005/106

Abstract: 本发明公开了一种低时间常数的非制冷红外探测器。本发明的目的是提供一种红外探测器，其包括探测器芯片、封装结构，其中，红外探测器芯片包括读出电路衬底和位于所述读出电路衬底上的一个或多个微桥结构，所述微桥结构包括连接柱、吸热结构、以及连接所述连接柱和吸热结构的绝热梁，其中，所述吸热结构包含薄膜，所述薄膜包括红外吸收材料、热敏材料以及电极材料。所述红外探测器的特征是，所述红外探测器包括经选择的一个或多个特征参量，以使得所述红外探测器的热时间常数小于预定值。与现有技术相比，本发明的红外探测器大幅度提高了红外探测器的有效帧率，在观测高速移动物体时不拖尾，保证了成像质量，提高了红外探测器的效果。

公开(公告)号：CN106092334A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610566514.2

申请日：2016-07-19

Applicant: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院

Inventor： 魏兴战 ,  杨俊 ,  冯双龙 ,  申钧 ,  周大华 ,  汤林龙 ,  史浩飞 ,  杜春雷

IPC: G01J5/20

CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J2005/103 ,  G01J2005/204

Abstract: 本发明涉及一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器，包括第一氮化硅层，所述第一氮化硅层向下依次为第一碳纳米红外吸收层，第二氮化硅层，热敏电阻层和第四氮化硅层；所述第一氮化硅层、第一碳纳米红外吸收层和第二氮化硅层构成红外探测器的宽波段红外吸收复合膜；所述第四氮化硅层和金属反射层之间通过支撑桥墩形成红外吸收谐振腔；所述金属反射层位于硅衬底之上。本发明的红外探测器能够实现宽波段红外吸收增强，从而提高器件的探测灵敏度，器件结构简单，兼容MEMS工艺，适合批量生产。

公开(公告)号：CN105698941A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201610184983.8

申请日：2016-03-29

Applicant: 南京含悦电子工程有限公司

Inventor： 孙经树

IPC: G01J5/10

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J2005/103

Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，尤其是一种基于ZigBee的红外线传感器；包括壳体，所述壳体内安装有基板，所述基板上安装有处理器模块、ZigBee模块、红外线传感器、数据存储电路模块和电源模块，所述红外线传感器通过信号处理电路与ZigBee模块连接，所述ZigBee模块与处理器模块通过天线连接，所述ZigBee模块还连接有数据存储电路模块，所述电源模块还连接有检测电压电路；无需布线，结构简单，设计合理CC2420芯片具有完全集成的压控振荡器，只需天线、16MHz晶体等非常少的外围电路就能在频率为2.4GHz的频段上工作；在电源电路中设计有检测电压电路，保证了基于CC2420的ZigBee传感器能够正常运行，完成信息检测，根据能量存储状态调整自己的工作和通信策略。

公开(公告)号：CN107271053A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710524151.0

申请日：2017-06-30

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 王超 ,  张泽展 ,  胡俊 ,  杨洋 ,  段英 ,  苟学科 ,  王飞 ,  张晨贵 ,  姜晶 ,  王跃明 ,  蒋洪川 ,  丁杰熊 ,  梁静秋 ,  刘先富 ,  石小江

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/58 ,  G01J5/06 ,  G01J5/08 ,  G01J5/00

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/0022 ,  G01J5/0088 ,  G01J5/06 ,  G01J5/08 ,  G01J5/58 ,  G01J2005/0033 ,  G01J2005/103

Abstract: 本发明提供一种用于航空发动机涡轮叶片温度监测的集成光路装置，所述集成光路系统，用于测量涡轮叶片的表面温度，包含三波段测温光路、燃气光谱分析光路、数据采集处理系统和主控制器。被测叶片发出的红外辐射经过本光路系统后分成两部分：第一部分进入三波段测温光路后被光电探测器接收，并经过滤波电路、放大电路处理后由数据采集处理系统分析；第二部红外辐射进入燃气光谱分析光路，分析出燃气的吸收峰，并由切换控制器切换测温光路中滤光片轮的切换。本集发明可提供燃气光谱分析功能，并且根据分析燃气的吸收光谱，根据需要切换测温所用的波段，可避开燃气的吸收峰，减少测量误差，并可根据使用场合，切换滤光镜片，提供单波段、双波段、三波段测温的功能。

公开(公告)号：CN107063470A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201611076449.1

申请日：2016-11-29

Applicant: 优利斯公司

Inventor： 塞巴斯蒂安·科蒂亚尔 ,  米歇尔·维兰

IPC: G01J5/02 ,  G01J5/20 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/103 ,  G01J2005/106 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明涉及具有高吸收效率和信噪比的悬置测辐射热膜的检测装置。该装置包括：包括读出电路的衬底；基本探测器阵列，每个探测器包括在衬底上方悬置并且通过至少两个电导体连接到读出电路的膜，膜包括分别连接到两个电导体的两个导电电极和电连接两个电极的换能器材料的体积，其中，读出电路被配置为将电刺激施加在膜的两个电极之间并且形成电信号作为对施加的响应。所述体积包括：第一换能器材料的体积，其电连接膜的两个电极并且形成使每个电极至少部分地容纳在其中的封闭外壳的壁；以及第二换能器材料的体积，其电连接两个电极并且容纳在外壳中，第二材料的电阻率小于第一材料的电阻率；且两个换能器材料具有负的电阻率热系数TCR。

公开(公告)号：CN106356445A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610959196.6

申请日：2016-10-28

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 王涛 ,  伍浏权 ,  梁志清 ,  刘子骥 ,  蒋亚东

IPC: H01L37/02 ,  G01J5/12

CPC classification number: H01L37/02 ,  G01J5/12 ,  G01J2005/103 ,  H01L37/025

Abstract: 本发明公开了一种热释电探测器吸收层及其表面金字塔阵列结构的制备方法，涉及热释电探测器电子技术领域。本发明提供的金字塔阵列结构能够解决现有镍铬或其他材质吸收层在红外波段反射率高的问题，通过在现有吸收层表面刻蚀形成由多个微型金字塔单元以m×n方式紧密排列组成金字塔阵列结构，其中，m与n均为正整数，使得红外辐射经过多次反射并逐渐被结构吸收，进而有效降低吸收层对红外辐射的反射率，从而达到提高探测器的电流响应、电压响应以及光电转换效率。该种金字塔阵列结构可以通过制备工艺中的参数对抗反射效果进行调控，并且其制备方法简单、成本低，有利于实现工业化生产，应用于热释电探测器以优化其性能。

公开(公告)号：CN104011519B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201380004514.8

申请日：2013-01-29

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 田里和义 ,  石川元贵 ,  白田敬治 ,  中村贤蔵

IPC: G01J1/02 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20 ,  H01L35/10 ,  H01L35/30 ,  H01L37/02

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/0022 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0803 ,  G01J2005/103 ,  G01J2005/206 ,  G03G15/2039 ,  G03G2215/00772 ,  H01L27/144 ,  H01L37/02 ,  H05K1/0271 ,  H05K1/189 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/09136 ,  H05K2201/09781

Abstract: 本发明提供一种即使在一侧连接有引线，也能够不破坏热平衡而高精度地测定对象物的温度的红外线传感器。本发明的红外线传感器具备：绝缘性薄膜(2)；第1热敏元件(3A)及第2热敏元件(3B)，设置于绝缘性薄膜的一面；连接于第1热敏元件的第1配线膜(4A)及连接于第2热敏元件的第2配线膜(4B)，所述第1配线膜及所述第2配线膜形成于绝缘性薄膜的一面；红外线反射膜(5)，与第2热敏元件对置而设置于绝缘性薄膜的另一面；多个端子电极(6)，设置于绝缘性薄膜的相同的端部侧且连接于对应的第1配线膜和第2配线膜；及热电阻调整膜(7)，设置于绝缘性薄膜的另一面并且与在第1配线膜和第2配线膜中距端子电极的配线距离较长的配线膜的至少一部分对置且由散热性比绝缘性薄膜高的材料形成。