保护涂层及方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102187490B

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN200980142402.2

    申请日:2009-08-28

    IPC分类号: H01L41/083

    摘要: 本发明提供了一种装置,该装置包括(i)包含第一种金属的具有第一表面的第一层;和(ii)包含与第一层第一表面直接粘结且覆盖至少部分第一层第一表面的第二种金属的氧化物的第二层,其中:(A)所述第一层和所述第二层之间的界面基本致密且具有不规则的形貌;以及(B)当第二种金属在升高的温度下沉积到第一种金属上时,第二种金属能与第一种金属形成合金。所述装置宜通过以下方法形成,该方法包括在第一种金属上形成混合物,例如第一种金属和第二种金属的金属间化合物,随后该金属混合物在升高的温度下被氧化。

    连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法

    公开(公告)号:CN101054261A

    公开(公告)日:2007-10-17

    申请号:CN200710020783.X

    申请日:2007-03-28

    申请人: 徐胜利

    发明人: 徐胜利

    IPC分类号: C03B20/00 C03B5/08 C03B15/14

    摘要: 连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法,其特征在于,将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制而成;原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前,对高纯石英砂进行120-180分钟的预热处理,将高纯石英砂预热至550-650℃,再进行加热熔融;所述的连熔炉钨钼坩埚上部为预热段,下部为熔融段,预热处理在连熔炉钨钼坩埚的预热段内进行;所述钨钼坩埚的直径为330-370mm,高度为1450-1500mm;连熔炉内的熔融温度为2050-2150℃;所述的成形器的直径为190-210mm;连熔炉的料台直径为210-215mm;熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为210-220A,电压为19-20V。该方法提高了产品质量,可生产出大规格石英玻璃管。

    连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法

    公开(公告)号:CN100586882C

    公开(公告)日:2010-02-03

    申请号:CN200710020783.X

    申请日:2007-03-28

    申请人: 徐胜利

    发明人: 徐胜利

    IPC分类号: C03B20/00 C03B5/08 C03B15/14

    摘要: 连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法,其特征在于,将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制而成;原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前,对高纯石英砂进行120-180分钟的预热处理,将高纯石英砂预热至550-650℃,再进行加热熔融;所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段,下部为熔融段,预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行;所述钨钼坩锅的直径为330-370mm,高度为1450-1500mm;连熔炉内的熔融温度为2050-2150℃;所述的成形器的直径为190-210mm;连熔炉的料台直径为210-215mm;熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为210-220A,电压为19-20V。该方法提高了产品质量,可生产出大规格石英玻璃管。