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公开(公告)号：CN105645350A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610120002.3
申请日：2016-03-03
Applicant: 上海大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00015 , B81C1/00023 , B81C1/00222
Abstract: 本发明公开了一种微纳结构的制作装置及方法，它包括直线步进电机(1)、移动平台(2)、可移动挡板(3)、挡板支架(4)、底座(5)、电气控制装置(6)，其方法，是先将载物固定在移动平台(2)上，然后向在未被遮挡载物的表面沉积第一种材料；利用电气控制装置(6)控制直线步进电机(1)带动装在移动平台(2)上的载物向未被遮挡的方向位移，然后再向在未被遮挡的，未沉积的载物表面上沉积第二种材料；取下移动平台(2)的载物，对第一种材料进行剥离处理，剥离后制得微纳结构。本发明能够在载物表面上的指定区域引入材料，提高原材料利用率，无需模板、低成本制作、流程简单、速度快，使得微米结构、纳米结构、纳米电路等结构或器件的复杂成型变得更加简易、精确。
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公开(公告)号：CN106430076A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610605284.6
申请日：2016-07-28
Applicant: 上海集成电路研发中心有限公司
Inventor： 康晓旭
CPC classification number: B81B7/0009 , B81C1/00222 , B81C1/00349 , B81C2201/01 , G01J5/22
Abstract: 本发明提供了一种高填充红外探测器像元结构及其制备方法，包括在硅衬底上形成导电梁结构和导电梁结构上形成红外探测结构；每一层导电沟槽的底部与其下方相邻层的导电沟槽的顶部分别接触连接于一导电梁的两端；其中一层导电沟槽的底部与导电金属区相接触；导电梁结构的最顶层中具有顶层导电沟槽和顶层导电梁；顶层导电梁与红外探测结构相接触连接，使微桥结构位于导电梁结构之上，每一层的导电沟槽和导电梁构成了迂回阶梯状的结构，从而使微桥结构产生的电信号的传输路径呈迂回阶梯状；微桥结构产生的电信号从顶层导电梁传输到顶层导电沟槽的顶部，再传输到顶层导电沟槽的底部，经过多层导电沟槽和导电梁之间的传输，最后传输到导电金属区。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104569369A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510016562.X
申请日：2015-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: G01N33/50 , B81C1/00222 , B81C1/00531 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。
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公开(公告)号：CN109052306A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810765874.4
申请日：2018-07-12
Applicant: 迈瑞迪创新科技有限公司
CPC classification number: H01L27/14669 , B81C1/00 , G01J5/0225 , G01J5/024 , G01J5/046 , G01J5/048 , G01J5/0853 , G01J5/12 , G01J5/16 , G01J2005/123 , H01L27/146 , H01L27/14612 , H01L27/14629 , H01L27/14643 , H01L27/14649 , H01L31/0224 , H01L31/09 , B81B7/02 , B81B7/0006 , B81B7/0009 , B81B2201/0292 , B81C1/00222 , H01L35/325
Abstract: 本发明披露了一设备和形成该设备的方法，即可扩展的热电式红外探测器。该方法包括提供制备有晶体管和传感器区域的衬底。通过以下方法处理衬底：在衬底中形成下传感器腔，用牺牲材料填充下传感器腔，在传感器区域中形成介电膜，在晶体管区域中形成晶体管以及形成微电机械系统(MEMS)组件在传感器区域中的介电膜上。该方法通过形成具有多个层间介电(ILD)层的后段线(BEOL)电介质而继续，该ILD层具有设置在衬底上用于互连设备部件的金属层和通孔层。金属层中的金属线被配置成在下传感器腔上方限定上传感器腔，并且BEOL电介质的第一金属层的金属线被配置为限定MEMS组件的几何形状。
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公开(公告)号：CN104752147A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510136907.5
申请日：2015-03-26
Applicant: 华东理工大学
CPC classification number: H01J49/08 , B81C1/00222 , H01J49/26
Abstract: 本发明提供一种微波微等离子体电子源，所述微等离子体电子源为硅-玻璃双层结构，下层为硅基底，上层为玻璃；所述等离子体腔室、电子加速透镜、电子聚焦透镜、能量过滤器和检测器在硅基底上通过深硅刻蚀工艺形成，再与玻璃键合形成所述微等离子体电子源。所述微波微等离子体电子源，先用高压陶瓷装置给予氩气高电压激励，并采用三开路支节结构的微带谐振器将2.4～2.5GHz频率，1W的微波功率耦合给氩气，形成稳定等离子体，通过电子引出、加速、聚焦系统将电子引出并加速聚焦成目标电子能量；电子引出、加速、聚焦系统的所加持电压决定了通入离子源的电子束能量的大小进一步决定微型质谱仪可检测物质的范围。
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公开(公告)号：CN109502540A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811340894.3
申请日：2018-11-12
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
CPC classification number: B81C1/00222 , B81B7/0009 , B81B7/02 , G01J5/10
Abstract: 基于薄膜体声波谐振器的偏振型红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域，解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低和红外偏振探测器结构和性能均需要提高的问题，包括制备薄膜体声波谐振器；薄膜体声波谐振器上依次制备金属反射层、介质层和金属阵列层；制备读出集成电路衬底；连接读出集成电路衬底和薄膜体声波谐振器；金属阵列层由复数个特性方向一致的金属单元组成。本发明的制备方法具有集成制造、批量生产、成本低廉等优势；利用金属阵列层实现对红外光谱的偏振光吸收和增强吸收，吸收的能量作用于薄膜体声波谐振器上，提高吸收率；制备的红外探测器体积重量小且成本低廉、有传统非制冷红外探测的优点，且响应快速、探测灵敏度高。
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公开(公告)号：CN108692836A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201710942568.9
申请日：2017-10-11
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01L1/14 , G01P15/125
CPC classification number: B81C1/00222 , B81B3/0021 , B81B7/02 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , B81B2207/097 , B81C1/00261 , B81C1/00349 , B81C2201/01 , G01L1/144 , G01L1/148 , G01P15/125
Abstract: 本公开提供了一种包括电容式压力传感器的MEMS器件及其制造方法。该MEMS器件中由半导体材料制成的主体包含腔室以及所述腔室内的第一柱。半导体材料的盖附接到所述主体并形成第一隔膜、第一腔和第一通道。所述腔室在所述盖的侧面封闭。所述第一隔膜、所述第一腔、所述第一通道和所述第一柱形成电容式压力传感器结构。所述第一隔膜布置在所述第一腔和第二面之间，所述第一通道在所述第一腔和第一面之间或所述第一腔和所述第二面之间延伸，所述第一柱向所述第一隔膜延伸并与所述第一隔膜一起构成第一电容器元件的极板。
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